[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 rpRyB9  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 1p.c6[9-  
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建模任务 
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模拟&设置：单平台互操作性 ^y/Es2A#t  
建模技术的单平台互操作性 (+|+ELfqW  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ,>-D xS  
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 平面波光源 ] ]U)wg  
 微透镜阵列 wSjDa.?'  
 彩色滤光片(吸收介质) 7~XC_Yc1  
 通过基底传播  :RnUNz  
 探测 ;_bRq:!j;  
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连接建模技术：微透镜 j?N<40z  
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连接建模技术：彩色滤光片 yI: ;+K  
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连接建模技术：可编程介质 01?+j%k=m/  
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连接建模技术：自由空间传播 AO7[SHDZ  
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连接建模技术：堆栈 N#ggT9>X  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 gQPw+0w  
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 微透镜阵列 8%,#TMOg  
 彩色滤光片(吸收介质) j0e,>X8  
 通过基底传播 E2dM0r<]  
 探测 s\;/U|P_  
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元件内场分析器：FMM q!c=f!U?\l  
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模拟结果 C7C4 eW8  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 3=d%WPgQ  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ?0; 2ct  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) t1hQ0B  
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3D仿真与结果比较 _Q1p_sdg  
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3D仿真与结果比较 U 3< 3T  
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