[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 WtfOE@h  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 gj,J3x4TK/  
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建模任务 b,R'T+4[  
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模拟&设置：单平台互操作性 `;CU[Ps?]  
建模技术的单平台互操作性 FraW6T}_  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 D!a5#+\C  
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 平面波光源 F^t?*   
 微透镜阵列 @:9fS  
 彩色滤光片(吸收介质) rDX'oP:  
 通过基底传播 BemkCj
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 探测 .Pes{uHg  
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连接建模技术：微透镜 aiZo{j<6  
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连接建模技术：彩色滤光片 zWs*kTtA  
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连接建模技术：可编程介质 p_qm}zp  
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连接建模技术：自由空间传播 p?$G>nkdq  
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连接建模技术：堆栈 #;LMtDaL  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Cz@FZb8  
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 微透镜阵列 `X<`j6zaG  
 彩色滤光片(吸收介质) =Xy`"i{`(  
 通过基底传播 [TK? P0  
 探测 bV$8 >[`  
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元件内场分析器：FMM 6{+_T  
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模拟结果 dxn0HXU  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =Esbeb7P  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 2rO)qjiH  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Vo9>o@FlLM  
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3D仿真与结果比较 ~)wwX:;B_  
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3D仿真与结果比较 E#<7\p>  
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