[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 fD>0  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 \K,piCVViN  
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建模任务 vU|.Gw  
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模拟&设置：单平台互操作性 K% Gbl#  
建模技术的单平台互操作性 C6"bGA  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 XIrNT:h4  
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 平面波光源 GA8cA)]zOD  
 微透镜阵列 wn$:L9"YN  
 彩色滤光片(吸收介质) o}iqLe\  
 通过基底传播 ilyQgEjC  
 探测 "eH~/6A  
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连接建模技术：微透镜 Vu6pl  
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连接建模技术：彩色滤光片 kP6P/F|RcZ  
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连接建模技术：可编程介质 Q)l]TgvSe  
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连接建模技术：自由空间传播 EmDA\9~@R  
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连接建模技术：堆栈 ,]N!I%SI  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 GQ-owH]  
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 微透镜阵列 /WDz;,X  
 彩色滤光片(吸收介质) C/P,W>8  
 通过基底传播 x*#F|N4~',  
 探测 ^"w.v' sL  
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元件内场分析器：FMM Qa,^;hZWS  
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模拟结果 f77uqv(Y  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) B;8YX>r  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Z6&s 6MF  
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3D仿真与结果比较 p[e|N;W8A  
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3D仿真与结果比较 *seKph+'c  
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