[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 kn$2_I9  
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A_8UPGh8  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 /Bt+Ov3k  
FfeX;pi  
建模任务 Ch] `@(l  
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"3&bh>#qY  
L=7Y~aL=  
模拟&设置：单平台互操作性 hSl6X3W  
建模技术的单平台互操作性 aXv[~  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ";kwh8wB  
[6ycs[{!  
1 N{unS  
Z=[qaJ{]  
 平面波光源 8;
%F-?  
 微透镜阵列 i1c z+}  
 彩色滤光片(吸收介质) g-C)y 06  
 通过基底传播 Oax6_kmOj  
 探测 QIK;kjr*A3  
#F|q->2`o  
连接建模技术：微透镜 j7
(S
=  
MH0xD  
n_ 3g  
k<Y}BvAYB  
xYLTz8g=  
连接建模技术：彩色滤光片 $D][_I  
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qUSy0SQ/l  
yQ [n7du  
连接建模技术：可编程介质  T)Uhp  
_c z$w5`  
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6

L/`  
连接建模技术：自由空间传播 B4#XQ-  
J4) ?hS  
Jan~Rran  
'NAC4to;;  
连接建模技术：堆栈 WC7ltw2  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 r\j*?m ]  
JS!`eO/8  
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Pb]EpyAW  
 微透镜阵列 nO
m-Yb+F  
 彩色滤光片(吸收介质) h,fC-+H5  
 通过基底传播 IaHu$` v  
 探测 Y00hc8<  
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元件内场分析器：FMM rw }wQP_'  
}m -A #4.  
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模拟结果 t_"]n*zk1  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) lzbAx  
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WbwS!F<au  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) TN=!;SvQU  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &
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3D仿真与结果比较 =,J-D
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3D仿真与结果比较 x>GxyVE  
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