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摘要 V.wqZ {G a<]B B$~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 0ZQ' _g|% *%KKNT'*
+l=r#JF bI|2@HV2 设计任务 YJ(*wByM #97h6m? 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 u4Em%:Xj :_M;E"9R
B c2p(z4 _HhbIU 光栅级次分析模块设置 Nan[< M:5b4$Qh< }MUn/ [x 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 +**!@uY BC'llD
OT&k.!= wj[$9UJb Rb3V^;i 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ExRe:^yU\ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 k%^lF?_0I 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 A=Ss6-Je 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 )&
u5IA( r1fGJv1!o
S;]*) i,v 衍射分束器表面 Hr$QLtr /rSH"$
[V:\\$ LY-2sa#B$- 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ^wS5>lf7p "--t e
/> 4"~q) 0@AAulRl
"W(Q%1!Wi 0T46sm r 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) kY'T{Sm1^ I[n^{8gz
ES40?o*]x ;t+ub8 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 [|l?2j\ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 m>SErxU(z 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 |.wEm;Bz B 2ec@]uD`
Ag@; 9Vf1Xz 光栅级次和可编程光栅分析仪 xCtmXo ;V<fB/S.=+
":_vK}5 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 _/O25% l W2.qhY 5 /@|/^vld 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 a+Ac[> S%`0'lzzj (64yg 设计与评估结果 p ]d]QMu 相位功能设计 'e6WDC1Am( 结构设计 +a*tO@HG TEA评价 <qGu7y" FMM评估 $1v&azM. 高度标度(公差) R+CM`4CD 3$X'Y]5a 通用设置 -{ZWo:,r~q B7!3-1<k> \<g*8?yFs 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 a1@Y3MQ;i 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 x*/S*!vx\ xt*u4% x7$}8LZ"B 纯相位传输设计 =%/)m:f!^ p|]\P%,\
]9@F~) f&
CBU 结构设计 o]opdw gg8Uo G
$*?,#ta KY~-;0x rOVVL%@QqJ 更深的分析 `*shF9.\C •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ukUGvK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 @mfEKU! •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 /gG"v5] JeE;V![
yNTK . [W7CXZDd 使用TEA进行性能评估 GN2Sn`; G
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gN"7be&J T~='5iy| 使用FMM进行性能评估 a0#J9O_ GmP@;[H"
c??mL4$'N (UxW; 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Pjc
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e r%+V8o 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 {Ja!~N;3 - RU=z!{
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