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摘要 9BpxbU+L; eub}+~_?[ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 { `Z~T&}~T \2=I//YF
T)%6"rPL3! w &T\8k= 设计任务 z. X
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[B`4I 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 /\<x8BJ q]C_idK=
Q\}-MiI/ yH]Q;X' 光栅级次分析模块设置 < qab\M0W +c!HXX V_, `?>O 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 K?[Vz[-Fc E3Y0@r
3uxf n=E oJ*,a T@{ab1KV 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 G u_\ySV/y 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 $M4Z_zle) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 P_0[spmFU 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 )eT>[['fm v4Rci^ 8
F .Zk};lb 衍射分束器表面 ;+(_stxqV9 DZ\ '7%c
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ee_ 4i{Xs5zk 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 3M+rFB}tS /YUW)?o!^N
QW,:'\G |a"]@W$>
Jn d_cJ ]a pZeOdh 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) J^CAQfcx ilVi
HfhI9f_ x s@iY'11 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 g(X`.0 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 `Mt|+iT$p 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 j;E$7QH[ T%&vq6
%i/|}K z9OpMA 光栅级次和可编程光栅分析仪 jQ'g'c! EVZ1Z
4G' E<ab 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 =H23eOS_# _eq$C=3Ta w0Nm.=I- 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 u6?9#L( E9I08AODS w{dRf!b69 设计与评估结果 Y DHP-0? 相位功能设计 EATVce]T 结构设计 0fBwy/: TEA评价 ~7KH/%Z- FMM评估 N9#xT X 高度标度(公差) RD)Vb$.B: ezL1,GT 通用设置 '"\n,3h b\H&E{Gn|x i.W*Go+ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 -N^Ah_9ek 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 *A8*FX>\F W/,:-R&'> {_*G"A 9 纯相位传输设计 MG.c`t/w kO*\JaD
fPKpV`Hr3 )V>OND 结构设计 W?aP%D"(i 4.wrY6+V
T-STM"~% ]nebL{}5 56c[$ q 更深的分析 yv]|Ce@8A •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 .'H$|"(v •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 L)\<7 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 n!~ $Z/ p.8
!LpjTMYs y0T#Qq 使用TEA进行性能评估 NkNFx<9T vdgK3I
VK*`&D<P i ?M-~EKu 使用FMM进行性能评估 b+ycEs=_ <Fx%P:d
+2eri_p bfncO[Q,? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 gfIS c u";rnj
TW(X#T@Z6I wzxV)1jT 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6la'\l# DBaZ cO(U
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ynudO %{ rb,6 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 {Y2J: x N3\RXXY
sm{0o$\Z =8*ru\L:hr VirtualLab Fusion技术 O:rfDO 3J
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