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摘要 C6jR=@42Q H}ZQ?uK; 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 aG{$Ic Ef@,hX
=Op+v" Ri)uq\E/# 设计任务 O0huqF$K (Rd$VYuf 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 qP1FJ89H h`Tz5% n
FTf<c0 0*F}o)n/m 光栅级次分析模块设置 :iPym}CE Riry_
rs-,0'z,7 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ub K7B |p XP3xJm3
_O]xey^r 9P WY52! 1m@^E:w 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +TJEG?o 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 :/N+;- 18 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 :iUF7P1I 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 #07!-)Gv d~9!,6XM
0-d>I@j 衍射分束器表面 UE"GJt`I cg{AMeW
z#6?8y2-
QLKK.] 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 9`B$V##-L r ?m6$
<q2?S wvby?MhPY
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?g %' e' 9r"<>i 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) vbG]mMJ )>a B
\jU |(DE kHK0(bYK 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 quxdG>8 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 mY7>(M{ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 m#7*:i&@Y PBjmGwg7
&[[K"aM1 Af(WV>' 光栅级次和可编程光栅分析仪 >QkP7Kb 98XVa\|tl
fS&6 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 2f~($}+* 3G}AH E4 #]Y>KX2HG 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 F>hZ{ E%N2k|%8d_ jM)C4ii.-$ 设计与评估结果 cmwPuK$ 相位功能设计 d^E [|w; 结构设计 GX{XdJD TEA评价 rf&M!d}! FMM评估 ;q>9W,jy 高度标度(公差) s%4M$e ;3eKqr0 通用设置 R9+jW'[K 9LC&6Q5O& 5` D-
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8+Llx 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 f9$xk|2g G\d$x4CVGc $FTO 纯相位传输设计 3>M&D20Z )FN;+"IJ
5&Ts7& . s"KJiQKGM 结构设计 nAJdr*`a,5 OWq'[T4
2S[-$9 "_UdBG 0pb'\lA 更深的分析 qy1F*kY •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 g`^X#-!( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 igL<g •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 72uz<i!&$ Fh|#u:n
SMr13%KN/ u^Ku;RQo 使用TEA进行性能评估 ym,H@~ 75T_Dx(H
p/Sbt/R Cs3^9m6;d 使用FMM进行性能评估 eDI=nSo e> rRTN
3\O|ii ^ >x|z. 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Yj|eji7y J@pb[O L,
RprKm'b8x` ,oxcq?7#4 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 xqXDxJlns )D'^3)FF
o@]So(9f [XRCLi} 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 [3l*F [ xOzzp4
bPD`+:A_ M/?KV9Xk2 VirtualLab Fusion技术 x^|V af IKtB;
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