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摘要 Q=uwmg86 gMHH3^\VH) 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 '\_ic=&u S1$\D!|1
HK2`.'D $?*+P`` 设计任务 ZJR{c 5TE Yd/qcC(& 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 HL 88 v]!|\]
WY*}|R2R I, 光栅级次分析模块设置 *}[@* zQ)[re) <a$cB+t 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 jg%D
G2 Ln`c DZSM
K.X% Q,XD k{@z87+& SxOM@A 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 vP,WV9Q1u 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 [oKB1GkA 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 WZFV8' 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 rbP.N
?YU% (TnYUyFP`
\u)s Zh 衍射分束器表面 q07rWPM
"e t%FS 5
](Sp0t dFFB\|e;0 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 8|J%IE 9k$uo_i'
6fkL@It E"w7/k#3}C
F,lQj7 9ykmz ( 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) @``!P&h $6Ty~.RP5H
nY~CAo/: cFH,fj 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 [9>1e 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 W6\s@)b; 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 B*?v`6 K-#Rm%J+Wy
fE^rTUtn {8JJ$_ 光栅级次和可编程光栅分析仪
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sS+9ly{9J 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 gbSZ-
ej x$A5Ved ^M,Q<HL 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 {v2Q7ZO- "}ZD-O`! l(<o,Uv[` 设计与评估结果 3S <5s} 相位功能设计 o3uv"#
C 结构设计 -4V1s;QUZ TEA评价 ';$2j~ FMM评估 %tpt+N? 高度标度(公差) ob0clJX }l_) d 通用设置
|EF*]qI rL_AqSGAK1 ]Oe#S"-Oo 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 M)-+j{< 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 P'FI'2cN7 $TR[SMj T>L6 X:d 纯相位传输设计 ZpWG bup;4~g
D^f;dT;- `Y$LXF~,Om 结构设计 l tQ:c rK"$@tc
O5e9vQH Jzfzy0$ Bz]64/ 更深的分析 O </< •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 scrNnO[3j •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 cMtkdIO •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 +[D=2&tmk f<y""0L9
\O\onvEa _H%ylAt1j 使用TEA进行性能评估 {?#g*QF|^ YY$K;t{dk
Xhi9\wteYw P\w.:.2 使用FMM进行性能评估 nCYicB Mi:$<fEX
l|\Q~ D!o Tb~(?nY5 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 &Du!*V4A V,&s$eQC
Elm/T]6 Rl$NiY?2 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ZJI|762, X0p=jBye~>
qhiQ!fMQ v{&cgod 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ;|}6\=( pbju;h)O!|
m#DC;(Pn <Gs)~T#' VirtualLab Fusion技术 #*?5 `2Ff2D^ ?
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