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摘要 % tS,}ze B"h#C!E 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 hQYL`Dni w65K[l;2
d,+Hd2o^X vdAr|4^qB 设计任务 T|nDTezr U'H$`$Ov 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 PVe
xa|aaX (}Z@R#njH
\k .{-nh pMw*9sX 光栅级次分析模块设置 dP3CG8w5 nyQ&f'< FHj"
nB 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 EMY/~bQW 8&GBV_`I
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TiuY 8IlunJ s'!Cp=xQF" 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 = bfJ^]R 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 dBYmiF!+ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 /rK}?U 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 HVi'eNgo ??^5;P{yx
[%q@]\U$s 衍射分束器表面 |:nn>E}ZA/ smlpD3?va
gH12[Us'` q
?|,O;? 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 YWe{juXSw *Fy2BZH%Q
00(on28b <^&ehy:7y
z>LUH ]O]4z,n 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Rw"sJ) / 6</xL9#/
U;YC}r N-G1h?e4 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 * aN 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8[a=OP 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 "sS}N%! ?M8dP%&r
j]{_s"O nr95YSH 光栅级次和可编程光栅分析仪
9Vg?{v!yn ,vr? 2k
\HqNAE2T 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 F}F&T ~5NXd)2+Ks $mu^G t 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 <`.X$r* nL5cK: vx1c,8 设计与评估结果 CNih6R 相位功能设计 ?qP7Y nl 结构设计 M\o9I TEA评价 o2nv+fyW FMM评估 Q8T]\6)m 高度标度(公差) qB~rQPa +NeOSQSj 通用设置 /$i.0$L
v_BcTzQ0S q8FTi^=Kb 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 aT{_0m$G10 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 J*r*X. ?iw!OoZ` !<j'Ea 纯相位传输设计 02f~En}>6 gT3_RUF
'KP@W9j .7Dtm<K# 结构设计 6hw=
oQLq&zRH`f
lAS#874dE u__9Z:+ F0pir(n- 更深的分析 ]%hn`ZJ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 m!gz3u]rN •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
Us)Z^s •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 |WQBDB`W }{,^@xdyW
; ^*}#Xd u#Pa7_zBj] 使用TEA进行性能评估 bk[U/9Z\ F5LuSy+v
viW!,QQ(S VEH&&@d 使用FMM进行性能评估 cL-[ZvyVX `n.5f[wC
|EIng0a TC N8a/@z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ?[VM6- & 1A?W:'N
~xbe~$$Q@ Gk.
ruQW" 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 g%ndvdb m ,MdV;j~"'
i)o2klIkB c%^7!FSg 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 hjU::m,WX }'5MK
4qphA9i1 5/q}`T9i%7 VirtualLab Fusion技术 i#&z2h-b \(3y7 D
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