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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-10
    摘要 % tS,}ze  
    B"h#C!E  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 hQYL`Dni  
    w65K[l;2  
    d,+Hd2o^X  
    vdAr|4^qB  
    设计任务 T|nDTezr  
    U' H$`$Ov  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 PVe xa|aaX  
    (}Z@R#njH  
    \k.{-nh  
    pMw*9s X  
    光栅级次分析模块设置 dP3CG8w5  
                           nyQ&f'<   
    FHj" nB  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 EMY/~bQW  
    8&GBV_`I  
    _ TiuY  
    8I lunJ  
    s'!Cp=xQF"  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 =bfJ^]R  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 dBYmiF!+  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 /rK}?U  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 HVi'eNgo  
    ??^5;P{yx  
    [%q@]\U$s  
    衍射分束器表面 |:nn>E}ZA/  
    smlpD3?va  
    gH12[Us'`  
    q ?|,O;?  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 YWe{juXSw  
    *Fy2BZH%Q  
    00(on28b  
    <^&ehy:7y  
    z>LUH  
    ]O]4z,n  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Rw"sJ)/  
    6</xL9#/  
    U;YC}r  
    N-G1h?e4  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 * aN  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8[a=OP  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 "sS}N%!  
    ?M8dP%&r  
    j]{_s"O  
    nr95YSH  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 9Vg?{v!yn  
    ,vr? 2k  
    \HqNAE2T  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 F}F&T  
    ~5NXd)2+Ks  
    $mu^G t  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 <`.X$r*  
    nL5cK:  
    vx1c,8  
    设计与评估结果 CNih6R  
    相位功能设计 ?qP7Y nl  
    结构设计 M\o9I  
    TEA评价 o2nv+fy W  
    FMM评估 Q 8T]\6)m  
    高度标度(公差)
    qB~rQPa  
    +NeOSQSj  
    通用设置 /$i.0$L  
    v_BcTzQ0S  
    q8FTi^=Kb  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 aT{_0m$G10  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    J*r*X.  
    ?iw!OoZ`  
    !<j'Ea  
    纯相位传输设计
    02f~En}>6  
    gT3_RUF  
    ' KP@W9j  
    .7Dtm<K#  
    结构设计 6 hw=  
    oQLq&zRH`f  
    lAS#874dE  
    u__9Z:+  
    F0pir(n-  
    更深的分析 ]%hn`ZJ  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 m!gz3u]rN  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Us)Z^s  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 |WQBDB`W  
    }{,^@xdyW  
    ; ^*}#X d  
    u#Pa7_zBj]  
    使用TEA进行性能评估 bk[U/9Z\  
    F5LuSy+v  
    viW!,QQ(S  
    VEH&&@d  
    使用FMM进行性能评估 cL-[ZvyVX  
    `n.5f[wC  
    |EIng0a  
    TCN8a/@z  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ?[VM6- &  
    1A?W:'N  
    ~xbe~$$Q@  
    Gk. ruQW"  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 g%ndvdb m  
    ,MdV;j ~"'  
    i)o2klIkB  
    c%^7!FSg  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 hjU::m,WX  
    }'5MK  
    4qphA9i1  
    5/q}`T9i%7  
    VirtualLab Fusion技术 i#&z2h-b  
    \(3y7D  
    %G3h?3  
     
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