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摘要 m1\+~*i F,)\\$=, 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 dU<qFxW M[}aQWT$v
? 3'O ^ALR.N+< 设计任务 F?jFFwim m.':5 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 I}!ErV 49Y_ze6L}
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[] 光栅级次分析模块设置 6
h%%? !o{>[ W6y-~ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Kc,=J?Ob g q`S`
'^#=,+ A QGkMT+A +T,Yf/^Fn 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Q"VS;uh.v 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 G Ch]5\ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 J =j6rD 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Oh]RIWL 9irT}e
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SL[ 衍射分束器表面 hALg5.E{T ob(S/t
@5tW*:s B*c@w~E 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 w1 5QqhlK -,Y[`(q
k&dLg5O q wd7vYBc,
KbicP< k&M9Hn2 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Pr_$%x9D t7; ^rk*
`COnb@uD SAUfA5|e 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 6&qT1nF1
薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ~;ZT<eCIA 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 7JL*y\' QH]G>+LI5
_O w]kP=' "u=U@1 ^ 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?VCM@{9 7LZA!3
3{"M N= 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Ku3/xcu:My V#-\ 4`c nbf w7u 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 t,4'\nv*
"'zVwU zh60b{ 设计与评估结果 [e.@Yx_} 相位功能设计 Hi5}s
结构设计 J\fu6Ti TEA评价 hxX-iQya
FMM评估 [:Y`^iR. 高度标度(公差) Dc;zgLLL wB0Ke 通用设置 o+F]80CH 7!r)[2l 4Y!_tZ> 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 <>I4wqqb 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 jDKL}x CgxGvM4 iLR^ V! 纯相位传输设计 /GUbc ckCb)r_
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DXc" R.rxpJ+kU 结构设计 @b2JR^ ^`<
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%TH^ ;c;5O@R}3 l2[{T^ 更深的分析 n)6mfoe •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 trAIh}Dj •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 5uxB)Dx) •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Z<M?_<3 $EUlh^
pjaDtNb B33H,e) 使用TEA进行性能评估 sPoH12?AL KB6'sj
cq-UVk"Gl OEwKT7CX 使用FMM进行性能评估 !b:;O
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 b,MzHx=im %V2A}78
RV{'[8gM SZ )AO8& 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 (I7s[ t;2\(_A
fAHf}j 6OOdVS3\J 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 co-dq\P KMo]J1o
$Lx2!Zy kEr;p{5 VirtualLab Fusion技术 F\U^-/0, Q
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