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摘要 Tz 2<# pLR sp&)1?!M 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 2:D1<z6RQ CsW*E,|xyP
3&vUR(10 ]2'{W]m 设计任务 2_#Vw&v +]N PxUa 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 %.n 7+ sXm,y$\m
@qWes@ Z|dng6ck 光栅级次分析模块设置 F!qt#Sw!\ Ex3V[v+D( kpt0spp 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
C#x9RW ]U,f}T"e
vW:XM0 {Tym# ZsikI@? 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +x"cWOg 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Lv`NS+fX 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 f;PvXq<7" 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 >"q~9b
A 7L\kna<
tZn=[X~Vw@ 衍射分束器表面 %knPeo& W2\Q-4D
><Z`)}f G~;hD-D~. 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Sxw%6Va]p 4,pS C
yxU??#v|g "mm|0PUJ
'aoHNZfxw V=g<3R& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) eTp}*'$p gAWrn^2L5
U~e^ ,awp)@VG7 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^7l^/GSO 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 0aS&!"o! 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 `]xot8 L?c7M}vV
&J~%Nt :jp4 !0w 光栅级次和可编程光栅分析仪 M!ra3Y iqj
ZC80
:6Q`! in 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ADa'(#+6 4&c7^ 4w~ 8v)PDO~D}A 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 cNd2XQB9= &sRjs r ]cC4%in 设计与评估结果 q3s
+?& 相位功能设计 m8|&z{ 结构设计 #iot.alNA TEA评价 *&vySyt FMM评估 +'NiuN 高度标度(公差) G'>z~I]6S %7$oig\wE 通用设置 \5wC&|WEB ;-koMD!2F u$Za hN! 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 <A,G:&d~ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 EQ j2:9f jR^>xp; ]c8O"4n
n 纯相位传输设计 Q7]VB p4 p?X`f#
kS$HIOt823 myj^c>1Iz 结构设计 '42P=vzo 90pk
Y( D@B|"'m # Z*nc0C a%-P^M;a2 更深的分析 'S
f •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 pEjA*6v|, •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 [p+h b •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~?pF'3q TT429
LW;UL}av FshQ OFW 使用TEA进行性能评估 od- 0wJN-m Ah2%LXdHA
VvwQz#S )p MZ5|+X 使用FMM进行性能评估 }31z
35 ~67L
|4i,Vkfhe -4JdKO 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 VY'#>k}} :B=p%C
]FLuiC 2'"$Y' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 t/,k{5lX )T6+}
'iN8JO> wovWEtVBU 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 0;Y_@UVj OC'cP[$ _
@|&P#wd.u FU0&EO VirtualLab Fusion技术 }6P]32d q_8qowu"
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