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摘要 cZB?_[Cp cR'l\iv+ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 N`3q54_$ h0m+u}oP_H
5f;6BP h$p]M^Z7 设计任务 gEghDO_G BvQMq5& 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 rC`pTN K/xn4N_UX
muh[wo +rAmy 光栅级次分析模块设置 =35g:fL Q=YIAGK H7{)"P]{f 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Z3C]n,I .|\}]O`
/\L-y,>X PHQ7 RT+pB{Y 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Db:^Omwo 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 yvIeK6 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Fru&-T[ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 V{jQ=<)@e Dj?84y
>:o$h2 衍射分束器表面 |7Dc7p"D Z hqGUb
P 2-^j) #VM+.75o1 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ,>
Ya%;h2k azhilUD8
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hFMJDGCw>Q v2Ft=_*G| 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) o#Gf7.E8 53X i)
9%#u,I d/"%fpp^0G 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 hkpS}*L9o 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 5q^5DH_; 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 3VZ}5 Oj=g;iY
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z> .8%&K0 光栅级次和可编程光栅分析仪 $~3?nib"j EpW89X
X-4(oE 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 :$=]*54`T <lkt'iT=Sz :Bh7mF-1 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 */_$' /qV gB_gjn\ d[F3"b% 设计与评估结果 xe4`D>LUo 相位功能设计 u+;iR/ 结构设计 Nf5zQ@o_y TEA评价 X :#}E7]j FMM评估 <@S'vcO 高度标度(公差) <B
Vx% +xL' LCx 通用设置 01n7ua*XX pP-L{bT o$p]
p9 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 H2S/!Q;K 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 .: Zw6 5_\1f|, 5(>ux@[qI: 纯相位传输设计 FrsXLUY LVaJyI@/>
ms&6N'] .~a.mT 结构设计 /g>]J70 /[qLf:rGI
WCYVon bg" \"a~~Koe /pC60y}O0 更深的分析 :sS4T&@1= •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +ovT?CMo •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 jL{k!V`s •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 j;<s!A#
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sis1Dh9: *`40B6dEr 使用TEA进行性能评估 Obx!>mI^6 mKLWz1GZ
v]'\]U^ m f\tMik< 使用FMM进行性能评估 ~#dfZa& SN 4JX
|&MOus#v !S'!oinV 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 L0R$T=~%) YIs_.CTi
<Zo{D |hW \bies1TBB^ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 w!b;.l 6st^-L
eF(oHn, Uuktq)NU 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !TN)6e7`
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