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摘要 |UN0jR [eebIJs 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 IvFxI#.ju d7.}=E.L
(*>%^ C? $^F
L*w 设计任务 | N%?7PZ(
Em?Z 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 h\#\hx >YwvM=b"V
@kCFc} %l4LX~-: 光栅级次分析模块设置 /UP&TyZ &DQyJJ`k 04`2MNfxG 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 N8!V%i? A
dNQS
@N,(82k 4PtRTb0<i3 F7!g+LPc< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 $l05VZ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 TYv'#{ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 @]v}&j7 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 TPjElBh cZB?_[Cp
!6Sr*a*5 衍射分束器表面
n7g}u I$.HG]
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(_h=|VjK(I 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 q~esxp .dA_}
F|+Qi BO zSy^vM;6zf
0, b.;r US5 ]@! 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) SlU?,)J} GM_~2Er]
sIUhk7Cd8 -|K^!G 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ]Sj<1tx7f 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 %.k~L
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 5`Q* tu5g> qb
b#~K> ``X1xiB 光栅级次和可编程光栅分析仪 3K;V3pJ]. #`Af
J,iS<lV_ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 =VC"X ?N i}u,_
} ~Up5 +7k@ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 z):LF< s#Os?Q? 8jBrD1 设计与评估结果 `O+}$wP 相位功能设计 #VM+.75o1 结构设计 ,>
Ya%;h2k TEA评价 {lam],#r FMM评估 %#go9H(K 高度标度(公差) ~F [V xDqJsp=]- 通用设置 -!@]z2uU V^* ];`^ U/}("i![Dy 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 7)RDu,fx 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 =EJ8J;y_f hs;YMUA" wH?]kV8Q 纯相位传输设计 .-Z=Aa> 8'>yB
^;8dl.; Z= +Tw!wR> 结构设计 /1y\EEc oV/:T\Qn=
;B^ 9sr eoj(zY3 =67ab_V 更深的分析 tZXq<k9 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 wC>}9OM •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 p=XEMVqm •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
l;;,[xhq dz6&TdEl
QbJE+m5 xcQD]" 使用TEA进行性能评估 (^HU| uv|RpIv e:
Kj7
?_o{ <`V_H~Z 使用FMM进行性能评估 $x/VO\Z{- 6:Hd `
rff_=(?i n-he|u 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Y=?Tm,z4 ]."t
{i<L<Y(3 *b4W+E 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 +Pc2`,pw| %j o,Gv
J4]tT pu"K cd&sAK" 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 fKbg ? 1f+z[ad&^
V. e30u5 /EW=OZ/ VirtualLab Fusion技术 /g>]J70 kmg/hNtN
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