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摘要 r 5a OQ +/~;y{G..z 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 niJtgK:H^
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C.;H?So( 设计任务 P>i[X0UnL q'[q] 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 3 ]g|Cwu
}0~4Z)?e3
 dBMr%6tz W~FM^xR?p 光栅级次分析模块设置 mXXU{IwUe - }9a% V0!$k.Wk
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 j UCrj'
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 S
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2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 m_g2 Cep
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 tjTnFP/=
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 fC$(l @O?
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 }grel5lq 衍射分束器表面 0B?t:XU ,
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ^J-\s_)"
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TcM;6h` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Q&A^(z}
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^\oc H|D
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 NP^j5|A*"
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 yz7 X7mAo
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 q71 ~Y:7f 2=/,9ka ~ 光栅级次和可编程光栅分析仪 l OuO~`,J
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 /l&$B
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 oDBv5
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设计与评估结果 M\rZ r3
相位功能设计 AkE(I16Uy~
结构设计 fS#I?!*}
TEA评价 Zt LZW/`
FMM评估 JULns#tx}
高度标度（公差） 9 m`VIB }@H(z 通用设置 -b` O"Ck*
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 lzDA0MPI:
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 'YTSakNJ} a
0+W-#G ziTE*rNJ
纯相位传输设计 ?)V?6"fFP 0hr4}FL8
 b[s=FH]#N f~?4 结构设计 f5o##ia7:
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更深的分析 thK4@C|X4
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 '74*- y d
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 >o,l/# z
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 =Hf`yH\#
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 N,ysv/zq7 @b{I0+li"/ 使用TEA进行性能评估 O'[r,|Q{
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T6M=BkcP 使用FMM进行性能评估 #L`'<ge'g*
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 .hV B)@/ e.VR9O]G 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 i!u:]14>
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 6O\a\z O f.%rpg y 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 uG,*m'x']
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![Ll$L r 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ;%B:1Z
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GMOnp$@H^s VirtualLab Fusion技术 n}L
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