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摘要 U3+A MVnB }7Jp :. qk 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 BCBU b qw2)v*Fn
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+fwvi&a zhjJ>d%w 设计任务 Rf?%Tv0\ PF67z]<o 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 @.1Qs`pt ng
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[aHlu[, <"A#Eok|4 光栅级次分析模块设置 6&mWIk^VC 0Gx*'B= NZfd_? 3 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 H) cQO?B s.KOBNCFa
u]0!|Jd0 l@#b;M/ 8:<1|]] 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 #r(a~ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Zikm?(J 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 8;0^'Qr8 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 xY+A]Up|w 4rm87/u*0
QY=QQG 衍射分束器表面 ]o `4Z" RW)k_#%=
QU,?}w'?d >pnz_MQ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 B6uf;Yc GajI\_o
T%w(P ^qk *5^ze+:
GV=V^Fl . N4s$.` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) v >NTh IQ#So]9~Y
sv@}x[L .N&QW
` 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 hl}dgp(( 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 vRxL&8`& 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 y^3,X_0 IG>>j}
)2/b$i,JKk I ;l`VtD 光栅级次和可编程光栅分析仪 6B
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}WoX9M; 1 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 /1U,+g^O> r!>es;R8 %uF:) 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 aL{EkiR E#m76]vkCU V.+DP 设计与评估结果 \A~4\um 相位功能设计 ;wfH^2HxE) 结构设计 XNy:0C TEA评价 PVS\, FMM评估 Ogn,1nm% 高度标度(公差) O'Vh{JHf P~;<o!f 通用设置 ~rp.jd 0l N <ja6Ac nsy!p5o 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 zp}yiE!bl 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 J*/$ywI Ti /;|lP@ k:@a[qnY 纯相位传输设计 l^)o'YS y Uzy;#q
'Wd3`4V$ 9(V=Ubj 结构设计 }Z<D^Z~w (8+.#1!*
'cWlY3%t PpI+@:p[ &:IfhS 更深的分析 9N`+ O •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Fa Qu$q •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 _gis+f/8h •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Z:W')Nd( g9RzzE!
sqgD?:@J 9CgXc5 使用TEA进行性能评估 =P@M&Yy' ayB=|*Q"
dfYYyE WMt&8W5 使用FMM进行性能评估 .N'%hh k
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qJe&jLZa 4+Li)A:4. 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 w-{#6/<kI5 v]UU&Jq8U
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| &VtWSq-) 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 )eIz{Mdp= GFSlYG
Xuz8"b5^Zx N?Z+zN&P 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 a,F8+
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7N-CtQnv , 4h!"c VirtualLab Fusion技术 R(n0!h4 v ](G?L9b
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