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摘要 6?US<<MQ # Dgkl 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 )q4nyT>M bL0]Yuh
G] tT=X[ DtGkhq; 设计任务 #<&@-D8 /i@.Xg@: 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 r/NaoIrJV s/~[/2[bnf
<T.R%Jys 9dszn^]T 光栅级次分析模块设置 m^ar:mK@ #LR6wEk ?Y\WSI?i 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Jr2>D= 6z~ [Ay
\?e2qu/ C ;{iTSsb qa~ju\jm. 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 fWfhs}_
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 :Zq?V`+M 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x?0(K=h, 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 u\xrC\Ka ^"/TWl>jB
-Tuk.>i) 衍射分束器表面 p'@z}T?F O7Jp;
@*op5qVw <$uDN].T4 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 vft7-|8T wp~KrUlR
qB$QC ],R\oMYy|P
5>1c4u`x V+0pvgS[ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Ug gg!zA k-s|gC4
O6-';H:I]L +\PLUOk 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ep48 r> 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 yQu/({D 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 <7ag=IgDy |P9)*~\5
)r*F.m{&: /k\)q 光栅级次和可编程光栅分析仪 W Kd:O)J iY sQ:3s
ky]L`w 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 5wvh
@Sc\ \)MzUOZn
G}WY0FC6 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 KUq(&H7 +'[*ikxD=g q8e] {sT'! 设计与评估结果 ?LvxEQ-g 相位功能设计 -"Nvu 结构设计 &)!N5Veb TEA评价 6k37RpgH FMM评估 eVbT<9k 高度标度(公差) e<u~v0rDl ldaT:
er9 通用设置 [NGq$5 R\6dvd F A%BzU5^ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 RM25]hx 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 XzBl }4s 6LT.ng _(@Vf=t 纯相位传输设计 3Z}m5f`t mLHl]xs4
!i{5mc\ `P;3,@
e 结构设计 .36]>8 R++w>5 5A
VW] ,R1q b|.<rV'BTt }?U
#@ h 更深的分析 N;cSR\Ng •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 |Yi_|']# •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 G$lE0_j2{ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 8tT/w5 d&DQ8Gm ^
Nqj5, 9*c |5BvVqn 使用TEA进行性能评估 clT[?8* #\LYo{op/.
s*e1m% <Um 5w1 使用FMM进行性能评估 6ZC~q=my GRgpy
llpgi,-= .7Itbp6=R 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 t1o_x}z4. o<Rrr,
3+vMi[YO ~2XiKY;W? 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 "!o|^nN, qD}O_<_1ym
S<++eu 1(a+| 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 kl5Y{![/&f /8>we`4
}pT>dbZ XiyL563gh VirtualLab Fusion技术 zj;KtgcE 3=^B
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