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摘要 _F! :(@} XSD"/_ xD 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ? Ozk^#H[
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5dbX%e_OP 设计任务 - $ xKv4 Ar\IZ_Q 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 e!TG< (S
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 kt;}] O2%R ~3L hcU- 光栅级次分析模块设置 UDhwnGTq(l $0S.@wUG Dh*~U :6$g
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 $_4oN(WSz
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 :_W 0Af09
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 J[I"/sdk-
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 oVKsic?
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3(oZZz
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 CUAg{] 衍射分束器表面 K8e4ax
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WM~J,`]J
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 F] dmc,Q
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:w 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) O=4c eE mz
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 F$"MFdc[
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 6!gtve_
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 Kt/+P S
W( ]E04
 < e7<t9 Q]2sj: 光栅级次和可编程光栅分析仪 Pp i- skT
A*-]J=:E {
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 O?4vC5 x
5<:VJC<
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Nv*E .|G
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设计与评估结果 6B!j(R
相位功能设计 Bp=oTC G
结构设计 TCEXa?,L
TEA评价 {8*d;[X50
FMM评估 !?us[f=g%
高度标度（公差） {{4p { .5#t B*H 通用设置 `lV
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 c],frhmyd
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 AD!<%h: J6^Ct &ttv4BC^r
纯相位传输设计 SCt=OdP= iz%A0Z+`bg
 &Curvc1fm zvK5Zx l 结构设计 fEv<W
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ou,=MpXx*
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更深的分析 +=B}R
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 mrLx]o g,
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 tci%=3,)
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 L->f =
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EB h<^:Nn 使用TEA进行性能评估 #( )cG
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<^Q7N 使用FMM进行性能评估 mJDKxgGK
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 {i%x s#0h eE.5zXU3R 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 sG1]A:_<C
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 Jr>S/]" i\Q"a B"r 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 b[[6X
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VirtualLab Fusion技术 ssJDaf79
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