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摘要 {S9't;%] a\K__NCrX 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 >AtW c
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#!A'6SgbkM eT(/D/jan 设计任务 ^#6"d+lp .Mn_T*F 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 `6R.*hq )td?t.4
N5ph70#y3 .=~-sj@k 光栅级次分析模块设置 tQrF A2F KA[8NPhzZ QU#u5sX A 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 P!6v0ezN 4R c_C0O
Czl4^STiC IInsq FnZMW, P 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Hm>7|! 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Z(|@C(IL0\ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 +#B4Z'nT 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [Iwb7a0p T>~D(4r|pS
cC4 2b2+
衍射分束器表面 x|7vN E=Q he
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y ~PW_, =\QKzQ'BC 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 =7e|e6 !R
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-T,/S^ 5W Z9z-6
We8n20wf< N!W# N$ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) +zl2|' C;m,{MD
Iu)76Y@=5= 5PcN$r"P 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 <n+]\a97* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 #NvL@bH 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 F2N)|C< !vrduOB
nEG+TRZ)\ FFG/v`NM 光栅级次和可编程光栅分析仪 lI)RaiMr= y^ij u(
ycD}7 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 vMlT G*`H2-, TJ5g?#Wul 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ^xNs^wC. "3?N*,U_ ].!^BYNht 设计与评估结果 ?*nFz0cs^ 相位功能设计 C.#\Pz0 结构设计 Miw*L;u@W TEA评价 &|'t>-de, FMM评估 YF4?3K0F:k 高度标度(公差) |_}
LMkU) l>kREfHq!{ 通用设置 %XQ!>BeE H[x$65ND D)_67w|u| 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 yu~o9 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Q4[^JQsR2 'g@Yra&09 lQq&tz, 纯相位传输设计 nZtP!^# KJs/4oR;
rgK:ujzW! Q ,`R-?v 结构设计 JO&~mio SKUri
fDzG5}i Qm >x? G9|w o)N 更深的分析 C3hQT8~ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !Z}d^$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 $GI
jWlAh •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 K.R4.{mo bzC|aUGM
2BGS$$pP }j_2K1NS{ 使用TEA进行性能评估 G%q^8# j}.,|7X
BB .^[:,dA kLfk2A;' i 使用FMM进行性能评估 YTk"'q- *?o`90HHP[
6 o!*bWh je[1>\3W 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;WqWD-C |u@/,x/t
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B~{ *pP&$!bH% 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 YPU*T&~ q-lejVS(g
cN&]JS, >Hd0l L 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 8=T[Y`;x \8}!aTC
Z6S?xfhr'{ f7y3BWOi] VirtualLab Fusion技术 [vV5@nP: cOz/zD
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