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摘要 _}xd}QW <ABX0U[* 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 zP\7S}p7% w;6bD'.>;
KngTc(^_D 3?I;ovsM 设计任务 ]}|byo as yZe 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 4<dcB@v "Jq8?FoT
I#F!N6; 8.AR.o 光栅级次分析模块设置 W !w, f; dP?Ge} :KJ pk:< 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 l e4?jQQ@L 4`m~FNVS
V"\0Y0 Fb22p6r nfSbM3D]h 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 :}8Z@H!KkY 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
afBE{ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 IYn]U4P.
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 \MC-4Yz 3<?
i':ydDOOHA 衍射分束器表面 XR2~Q)@ }D411228
lGwl1,= _.IxRk)T 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 o8/;;* f"7O "6
>(uZtYM\j L37 Y+C//
0.T4{JS# %VYAd)gC 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 1tTgP+ 4#x5MM
IW 21T m(RXJORI 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 @1.QEyXG 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 B~o\+n 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 {!6/x9> HEA#bd\
_XJ2fA ) t!*+8Q!e 光栅级次和可编程光栅分析仪 qmO6,T-| '!l1=cZD
mxb(<9O 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ~|<WHHN( R\o<7g-| j83p)ido 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 =mA: ctu~v z<H~ItX,n )*4fzo 设计与评估结果 /}Jj 相位功能设计 *K> l*l(f] 结构设计 a=M\MZK> TEA评价 'F>'(XWWQ FMM评估 XGP6L 0j 高度标度(公差) q _-7i X[f=h=| 通用设置 #fT*]NN Cmc3k,t M\yT).>z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 :0s]U_h 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 O'Js} (aD_zG=k5 KII *az 纯相位传输设计 V(Ub!n:j '1M7M(va
D9j3Xu ByCnD 结构设计 035rPT7-2- f=)2f=
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kg* |SyMngIY L!=QR8?@E 更深的分析 76u&EG% •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 FQ=@mjh •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ]Dw]p!@ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 rETRTp0HT Iu$K i
zbq@pj)Qu Mn)@{^ 使用TEA进行性能评估 ~%YBI9$+ OE}*2P/M>
I1PuHf Qs cReB~wk 使用FMM进行性能评估 CiB%B`,N HuOIFv
]xuG&O"SBV $m42:a mM 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 D9z|VIw8 H,b5C_D29
jYe'V#5S# 'nF2aD%A 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ~R(%D-k e o pD5
9(@\&>) =Q.^c.sw 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 s0PrbL%_` :s4p/*f
v8y1b% ]C) 4 VirtualLab Fusion技术 {7)st
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