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摘要 /EpsJb`kj s{]2~Z^2od 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 =p
lG9 gqi|k6V/
\?X'U: lN-[2vT< 设计任务 ?H.7
WtTC &74*CO9B9 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 w u 'n)]"G|
0R0j7\{ )G">7cg;t 光栅级次分析模块设置 iq!u}# x_ bz=B&YR JN
Ur?+g 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 \D]H>i$ '#fwNbD
~/B[;# )|` #BC pM^r8kIH 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 re `B fN 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Ao:<aX,= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ?oc#$fcQ~ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 *
@QC:1k fs=W(~"
H#LlxD)q 衍射分束器表面 AxOn~fZ! \2K_"5
cTR@
:sm ;3D[[*n9 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 r3hUa4^97 j/FFxlFNL
!P6\-. m R3km1T
)$Erfu f~LM-7!zf} 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) (RL5L=,u ^@&RJa-kb
k365.nc 16p$>a<6 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 d4h,
+OU 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 {M5[gr% 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 whzV7RT #_,
l7q8U
F`3J=AJOJ FTihxC?.L 光栅级次和可编程光栅分析仪 `;@#yyj:_ YB}p`b42L
;JK!dzi} 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 c&Mci"nj0 (mOUbO8 Z?vbe}pUM 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 FK$?8Jp s5s'$|h" 4mG?$kCN 设计与评估结果 \s.c.c*eh; 相位功能设计 BtyBZ8P;e 结构设计 IXmtjRv5 TEA评价 )_bR"!Z FMM评估 FE)L? 高度标度(公差) +=5Dt7/| gCMwmanX 通用设置 eQ}o;vJN A&$oiLc f2sv$#' 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 l>i<J1 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 {jOCz1J /A U&
X Y6|8;2E 纯相位传输设计 l%aiG+z%6} Ol,Tw=?
X0=#e54 >k6RmN 结构设计 (W7cQ> (W<n<sl:-
IT3xX=|b PD$gW`V !,mv 7Yj 更深的分析 >-s\$8En' •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Ie#LZti •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Y5}<7s\UDO •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 7*e7P[LQU vwZrvjP2
*}Al0\q0M L6^Qn%:OTd 使用TEA进行性能评估 :
kVEB<G $e=pdD~
tN'-4<+ r@_`ob RW; 使用FMM进行性能评估 S
C8r. ;:nO5VFOg
SArSi6vF SBnwlM"AN 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 /( /)nYAjk ]j.??'+rg
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Q-h nVqFCBB 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 aZ% C.r9)#G
Rc2| o.'y \:cr2 w'c 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 RO-ABFEi( 0jY#,t?>
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+" Jd ;><9R@0 VirtualLab Fusion技术 KGCm@oy FFH9$>A
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