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摘要 uXA}" f2 04Uyr;y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 vMJ_n=Vf GbkDs-
fCO<-L9k$ NJ$Qm.S 设计任务 RO[X#c Kb/qM}jS 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 02:`Joy2D 4 4WyfpTJ*
!b$~Sm) t`eIkq|NxI 光栅级次分析模块设置 OzTR#`oey F+D
e"^As L?Ih; 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 B\ZCJaMb G]Im.x3O-
Wrm3U/>e )2jH&}K v>j<ky 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 @RdNAP_6 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 VEL!-e^X& 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 \SJX;7ST 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 6OtNWbB LF:~&
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P|;v > 衍射分束器表面 TTo?BVBK M@pF[J/
'+GYw$ 16~5 ;u 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 6>'>BamX *oh,Va
& TN.6Hm3 ?'tFTh
!<h-2YF<M 4~d:@Gmk& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) I3ugBLxVC3 A`I1G9s
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&1_I vcP_gJz 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 &}_tALg 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 kWCxc0 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Jg.^h1>x tCj\U+;
W$gjcsv LZJFp@ 光栅级次和可编程光栅分析仪 ny<D1>{90 *M$$%G(4
Lr "V 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 @G|z_ LO%OH
u}] 8xoC9!xt 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 )<5hga][~a y
XCZs HeHo?<>|d 设计与评估结果 $WQm"WAKe 相位功能设计 +4[Je$qYa 结构设计 ji5Nq+S2 TEA评价 }AS3]Lub@ FMM评估 V#~.n;d 高度标度(公差) ?nM]eUAP 6ziBGU#.- 通用设置 <CS,v)4,nH :;&3"- U@}P]'`'f 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 t+Qx-sW 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 -_>E8PhM z
E\~Oa; cfc=a 纯相位传输设计 X09i+/ICK NU3s^ 8\(
iu`B8yI CI|#,^ 结构设计 w!Ii 85:mh\@-G
,,h>_IA .6iJ:A6T 6MQyr2c 更深的分析 3AcDW6x| •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 *3y_FTh8ra •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 9*(uJA •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 G;J!3A;TE af=lzKt*
jf=90eJc 6D4 j];~X 使用TEA进行性能评估 g:&PjKA 58PL@H~@0
M"ZeK4qh ~AcjB( 使用FMM进行性能评估 wqJ1^>TB S\@U3|Q5
A/~^4DR or[! C% 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 %)y-BdSp. ]q|U0(q9
J/c5)IB| 0w6"p>s>c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 JiX-t\V ~ oox;8d4}y
N{K[sXCW 88zK)k{ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Ka8Bed3 2nI^fVR%\
j"vL$h gzp]hh@4 VirtualLab Fusion技术 L ?S#3@Pa T{*!.+E
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