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摘要 <4Ak$E%" ioZ2J"s 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 nkpQM$FW ]^s4NXf+
f1JvP\I0Q a+MC[aFr 设计任务 }ts?ZR^V, Rq;R{a 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 r!(~Y
A *FO']D
#ujcT%1G \A':}<Rj 光栅级次分析模块设置 g|W~0A@D ;]p#PNQ0 nHA2p`T 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 0O[q6!&] ;v.l<AOE
ZM<1;!i r&^4L M5D,YC3< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
!Qn:PSk 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 a-hF/~84S: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 olh|.9Kdj} 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 z.7 UfLV9 %uQ^mK
N!hp^V<7 衍射分束器表面 IUwY/R9Q yfYAA*S!z
5Pn$@3 R D)dw 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 bE0cW'6r xJ,V!N
SdN|-'qf .0Cpqn,[
jMg Ni@ +i{&"o4} 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 9-9`;Z 7HFw*;
yh} V u 24]O0K 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ZcIwyh(` 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 0YW<>Y`6 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 TqCzpf&&h/ !k Hpw2
u2o6EU` DOf[? vbu 光栅级次和可编程光栅分析仪 <^OGJ}G RfFeAg,]/
c[ga@Vy 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 R$wo{{KX ig3uY# I9TOBn|6 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 t4
$cMf DL<r2h ;
*r5 d+] 设计与评估结果 'lg6<M%#[ 相位功能设计 *=)%T(^ 结构设计 q>f1V3 TEA评价 a'W-& j FMM评估 enE8T3 高度标度(公差) m8#+w0p) Lw1~$rZg 通用设置 e*=N \$ ,,lrF. N'3Vt8o,
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 7l%O:M(\ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 cC b'z1 ^DM^HSm tBp dKJn## 纯相位传输设计 J_<ENs- @'jC>BS8`
m<hR
Lo gVEW*8 结构设计 [$
vAjP q>?uB4>^
]FL=E3U 7J.alV4`/ CZuV{Oh}? 更深的分析 Ws{2+G~ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Tz:mj •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 *C}vy`X •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 R 6ca; cEhwv0f!qS
?1JS*LQ$ [2WJ>2r}6 使用TEA进行性能评估 IhhB^E| T&j_7Q\;vI
$i7iv M\ B A+ 使用FMM进行性能评估 &>XIK8* [yJcM
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W4Tuc:X5 pA&CBXio 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 A|Up>`QH _
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MDM/~Qpj_ oQ{(7.e7) 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 nB[Aw7^|A 8*k#T\
`%SFu y 4j0nF 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 TO ^}z pdUrVmW "'
Yg3Vj= ""|vhgP VirtualLab Fusion技术 .v?Ir) 8!(4;fN$j.
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