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摘要
2%@tnk|@ Pe<VPf9+ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 A5nggg4 n0KpKH<&
Fm`*j/rq QAkK5,`vV. 设计任务 5,Fq:j)MxW 24J c`%7,= 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 OAXA< nM[yBA
cL9gaD$;) $Cz2b/O 光栅级次分析模块设置 hF'VqJS !)bZ.1o ?UsCSJ1V 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 )LGVR3# 5]&sXs
Mt.Cj;h@^[ wV )\M]@ 48:xvTE?N 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 hO"!q;<eS 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 aM~IRLmK 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 T=PqA)Ym 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 2;gvo*k &~*](Ma
j|KDgI<0 衍射分束器表面 9~hW8{# Up@^C"
<tvLKx w"{DLN[Qw 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 L6h<B
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p7QZn.,=u 9"#C%~=+
,7d/KJ^7 sU>IETo 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ^BA
I/WP Bz/ba *
rd7p$e=i PhyIea 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 xX-r<:'tmi 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 kWW2N0~$ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 `df!-\# V/#Ra
e|oMbTZ5m .2&L. 光栅级次和可编程光栅分析仪 XP)^81i| 8&U
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?z>J7 }w*= 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 lJ;Wi sJZ2e6?n rfk{$g 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 x3i}IC ]EKg)E glLVT
i 设计与评估结果 [mzed{p]] 相位功能设计 uE.BB# 结构设计 loIb}8 TEA评价 N# }A9t FMM评估 Lf((
zk:pt 高度标度(公差) a,Pw2Gcid ~B|m"qY{i 通用设置 nF'YG+;|@ Ry>y ^i|R6oO_5 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 4Kch=jt4# 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 /<) Vd m%6VwV7U A'#d:lOA 纯相位传输设计 "}v.>L<P 0Fb];:a
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<H^X 2VRGTx 结构设计 !~|-CF0z= \96\!7$@O
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8 更深的分析 8)>x) T •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 nh4G;qdU •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 d@ K-ZMq •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ]JkEf?;. E[t0b5h
by<@\n2B:U y.A3hV%6b 使用TEA进行性能评估 ~)f^y!PMQ Kn:Ml4[;
}sH[_%) :V.@:x>id 使用FMM进行性能评估 > T* `Y0P l(NQk> w
dJgLS^1E CFh9@Nx 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _;03R{e* GCJ[x n(_
_f0AV;S:vd 0S4BV%7F 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Wa|V~PL+T aG]>{(~cL
d 5yEgc;z ZMQ=D!kT 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 .f_
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Y]SF0:v!n 'O(=Pz VirtualLab Fusion技术 yIL=jzm`7 j"nOxs
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