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摘要 qa}>i&uO \]Z&P,}w 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 D&*LBQ/K NygI67
z/1hqxHl lug}
Uj 设计任务 !*P&Eat h39e)%x1 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 \8"QvC] p(7QAd4
)&.!3y 660 Sl.o,W^ 光栅级次分析模块设置 ^'B-sz{{ fr#Qz{ k!doIMj 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 tF`MT%{Va KzkgWMM
~tNY"{OV# k,X74D+ p`GWhI? 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Zu=kT}aGg 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 feCqbWq: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 >I-g[* 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ]
C,1%( n+quSF)
~JE|f 7 衍射分束器表面 B~_Spp 1D$::{h
GEtbs+ [ g+9v$[! 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 >h[(w @xJCn}`Zj
zKJ.Tj W |yAK@Hl'
h]P/KVqR. QUPf*3Oy 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) hwDXm9 ;\s~%~\
n{{P3f ( 2zeG` 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 `Z8^+AMc 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 tE:X,Lt[ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 tzNaw %\ RH=$h! 5
ss;
5C:*y <~O}6HQ# 光栅级次和可编程光栅分析仪 (H[ M1(9A>|nF
&gWiu9WbS 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 (+x]##Q {~nvs4X !3HsI|$<G 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 q\U4n[Zk F(E<,l2[ H`?*
bG 设计与评估结果 lO_c/o$ 相位功能设计 {Ve
D@ 结构设计 [Gf{f\O
TEA评价 Q!x`M4 FMM评估 @% H8"A 高度标度(公差) _iq2([BpL lJ'trYaq7 通用设置 s<d!+< QnP{$rT Me<du&
T 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 u/#&0_
P 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 2x6<8J8v* .c: )Qli >"bnpYSe 纯相位传输设计 ($:y\,5(9I -^Rb7 g-
+Tp%5+E )ZN(2z 结构设计 U81;7L8 vi<X3G6Xh
p6 <}3m$ .`mtA`N y]J3hKs 更深的分析 `LE^:a:8, •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ;fj9n- •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ^aT;aP^l •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 6QW<RXom |&Au6 3
VOg/VGJ 2J)74SeH 使用TEA进行性能评估 PK_Fx';ke^ VkWO}
[\88@B=jXP QP+c?ct}hF 使用FMM进行性能评估 u\:rY)V *$JB`=Q
pK<%<dIc ^g-Fg>&M 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 j=FMYd8$y 1Jl{1;c
qP qy4V.; O1|B3M[P 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 I'xC+nL@ EZ..^M3
xcw%RUC- y{YXf!AS 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 #>@<n3rq 9jqO/_7R+
gH5CB%) Xm%iPrl D VirtualLab Fusion技术 B'<!k7Ewy a5X`jo
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