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摘要 uy'I#^Bt xxy
(#j$ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 v79k{<Ln WNnB
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s2f6;Yc \:mZ)f3K= 设计任务 pZxuV(QP` p[LPi5 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ,vcg%~- rd_!'pG
[[XbKg`"? tRZA`& 光栅级次分析模块设置 2#jBh 1ze\ U> rbt/b0ET 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 L$zB^lSM &"gQrBa
QJ4=*tX) n9H4~[JiC a>H8,a 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 U0m 5Rc 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 "L9yG: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 zNo>V8B( 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ?9Hs,J P:OI]x4
\cx==[&( 衍射分束器表面 xg.o7-^M ']&rPvkL
<rn26Gfr "?HDv WP=w 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 KD =W(\ o%SD\zk
^[g7B"`K5 5H^"
o+0x1Ct3P A(@VjXl 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) "6t#
Q!ReA{
&_dM2lj{ .|g|X8X 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 U6xs'0 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 %~rXJrK 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 pd\x^F`sk. G~X93J
L ]Y6/Q SL$ bV2T 光栅级次和可编程光栅分析仪 CzfGb4 9#MY(Hr
oYR OGU 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 /'QfLW>6 9g~"Y[ ] 6k+4R< 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 vrX@T?> nXJG4$G GX#SCZ&}C 设计与评估结果 _j sJS<21 相位功能设计 | k?r1dj%O 结构设计 6d{&1-@> TEA评价 5DS'22GW` FMM评估 oD.[T)G? 高度标度(公差) 4S1\5C9 PC)aVr?@@ 通用设置 UAEu.AT s ;2ih)[ vw)lD9-" 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ^_ST#fFS 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 zEy,aa:M FMEW[' 13aj fH 纯相位传输设计 <HB@j}qi ^-2|T__
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)J@`E PHR:BiMZ 结构设计 []l2
`fS# 9D[Jn}E:
jxqKPMf>@% o"j$*o= eufGU)M 更深的分析 ><wYk)0E •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?:DUsg •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 I%M"I0FV •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Xy]Pmt 2+=:pc^
UUR+PfY !g7lJ\B 使用TEA进行性能评估 {'a|$u+ uD4j.%
TD-o-*mO i_f\dkol 使用FMM进行性能评估 Xkp?)x3~X y8j6ttQv=t
l4$Iv: hxZL/_n' 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ybU_x Xe2Zf
6~^ M<E @! {Y9k2 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 H b?0?^# <j}A=SDZ)
Ctx`b[&KXX 8(>2+#exw 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 2D2}
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