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摘要 a6O <t;& K\59vtga 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ,eWLig
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h92dH 设计任务 :,g]Om^ |~PaCw8-ge 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 6As%<g= 67
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pf%;* Tu5p`p3-j 光栅级次分析模块设置 =;E0PB_w *M_^I)*L M{)&SNI*C 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 s|`wi}"x 7upWM~H^
W/}_ y8q +\)Y,@cw gNc;P[ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Nh}u]<B 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 #dD0vYT&od 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 $G5:/,Q 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 1[$zdv{A _:WNk(
3^xq+{\) 衍射分束器表面 w7&.Uqjf O0s!3hKu
6(uZn= M ?AX:0 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 /oLY\>pD Nu\<Xr8
}`%ks C'R6mz% Q?
&I(\:|`o YbnXAi\y| 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ts}OE ewHs ]V+U
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)45@ DdUw~n, 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 6EO@Xf7, 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 SMJRoK3 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 BG=
J8 oif|X7H;
Cb`, N L F } d 光栅级次和可编程光栅分析仪 )tnbl"0 YOj&1ymBZ
odC"#Rb 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 \7>*ULP ^y KkWB* 9V[}#(f$ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 i3Bpim. ",J&UTUh N)AlQ'Lwx 设计与评估结果 &;)B
qqXc 相位功能设计 `JpFqZ'58 结构设计 ey,f igjd. TEA评价 ,UNk]vd FMM评估 LExm#T` 高度标度(公差) Lo#G. s| ]8DTk! 通用设置 hliO/3g dJ Q K|/ BRskxyL&, 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 UnP<`z# 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 v'b%m8 P=KhR&gwV~ X0-PJ-\aD@ 纯相位传输设计 *w O~RnP }^$1<GT
*Egg*2P;"Q b;5j awG 结构设计 -,T!/E wet[f {c
g,!.`[e'ex iLNUydiS 1[u{y{9 q 更深的分析 (dD7"zQ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 PnInsf%; •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Mj6,VD9L •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 -]Su+/3(, yiI
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czpu^BT;;T <FBBR2 使用TEA进行性能评估 fCF.P"{W" *($,ay$&H
vYb4&VV Sw,*#98 使用FMM进行性能评估 *fIn<Cc 4g8o~JI:v
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.#Q 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
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:i& 9}\|, +~aIT=i3 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 AG9DJ{T 5[jS(1a`c
*AW v Qkx*T9W 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 w43b=7 3en67l
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