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摘要 d='z^vHK X@Eq5s 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ;=: R| I9*o[Jp5
Fp4?/-] }Bw=2 ~ 设计任务 $D5[12X qyl~*r* 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ^.Q{Aqu#.H $>v^%E;Y4
8B;`9?CI )<G>]IP< 光栅级次分析模块设置 toPA@V +EG.p Y?%MPaN: 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 u~<>jAy %_u*5,w
S1uW`zQ!+_ E#Ynn6 0K>rc1dy 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 QNFA#`H 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 p`gg 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 \sHM[nF0 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 I /3=~;u ;nLQ?eS\
J&^r}6D 衍射分束器表面 1jo.d rsBF\(3b~
]@l~z0^|[_ SZg+5MD;X 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 z QoMHFL3 W()FKP\??!
g-mK(kY4p QC~B8 ]
gv `jeN <<(~'$~,L 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 2t1 WbP1 *Dh.'bB!
;knSn$ aO
"JT 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 51`w.ri 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 9^0 'VRG 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 .)|jBC8|} *bn9j>|iv
h1fJ`WT6, 'Twi
@I 光栅级次和可编程光栅分析仪 5
W(iU DBCL+QHA
dcU|y%k% 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 WSDNTfpI f:7Y F
xFK 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ~SM2W% (4ow0}1 Q
C~~ 设计与评估结果 rC_K
L 相位功能设计 :KX/` 结构设计 1Od:I}@ TEA评价 _?kf9 . FMM评估 q,u>`]} 高度标度(公差) HxZ4t _I{&5V~z 通用设置 l[ @\!;| +6gS] C+5^[V 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #l;Ekjfz 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 MLBZmM ' OFRzz G@ }'H Da M 纯相位传输设计 `9K'I-hv<8 /f%u_ 8pV%
apY m,_ qh.c#t 结构设计 {GWcw<g.B e1<28g
&`>*3m( c
|C12b[ 'c &Bmd40 更深的分析 <V6#)^Or •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +nJ}+|@K •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 oAvJ"JH@i •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ;F5B)&/B *D<sk7
2tWUBt\,g L~mL9[( , 使用TEA进行性能评估 Z@I%ppd 40g&zU-
x,7axx6 PA5g]Tz 使用FMM进行性能评估 .}Zmqz[ H}U&=w'
A<TJ3Jp] 7#g C(&\A 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Fa/i./V2 *=2jteG=3.
eM9~&{m. yS3x)) 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %pwm34 j|[s?YJl
uq 6T|Zm T|{BT!
W1E 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 a:;*"p[R d!gm4hQhl
+Nza@B d rg'? ?rq VirtualLab Fusion技术 T8Khm O hh8UKEM-
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