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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-10
    摘要 kSh( u  
    PiYxk+N  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 7\q~%lDE  
    &8 x-o,  
    6K<K  
    O0y_Lm\  
    设计任务 Ub!(H^zu  
    "w.3Q96r  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 IN G@B#Cl  
    o0vUj  
    t<viX's  
    nj53G67y  
    光栅级次分析模块设置 "FKOaQ%IH  
                           Qz N&>sk"  
    Z)aUt Srf  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 e)O 4^#i  
    $p?aVO  
    J9[r|`gJ(  
    d<N:[Y\4l  
    n=ux5M  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Z/;aT -N  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 9 |vLwQ  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 u-5{U-^_  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 &IB|rw'9  
    > "=>3  
    q%?in+l  
    衍射分束器表面 w)Qp?k d  
    ilx)*Y  
    j ?(&#  
    ]wG{!0pl  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 0s2v'A[\  
    \)?HJ  
    7VFLJr t  
     'CkIz"Wd  
    P(z++A&  
    OH(waKq2I  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) .=jay{  
    pD#rnp>WWt  
    d4c8~L H-  
    ;x@~A^<el  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 m-"w0Rl1T  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ~1vDV>dpE  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 xjj6WED  
    _t #k,;  
    1Z~FCJz  
    ^qD$z=z-  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 ? '{SX9  
    8C9-_Ng`  
    @wNG{Stj  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 (rm?jDm   
    czRFMYE  
    76h ,]xi  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 J,y[[CdH`  
    >_"an~Ss  
    orMwAV  
    设计与评估结果 Q:k}Jl  
    相位功能设计 'op|B@y  
    结构设计 [;) ,\\u,d  
    TEA评价 f5VLw`m}.8  
    FMM评估 U6fgo3RH  
    高度标度(公差)
    GH:jH]u!V  
    S8j{V5R'  
    通用设置 '=8d?aeF  
    C mWgcw1  
    *kDCliL  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Fgh_9S9J  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    UIN<2F_  
    GqaCj^2f  
    ~^fZx5  
    纯相位传输设计
    =QiI :|eRA  
    Ata:^qI  
    Y;^l%ePuW  
    T{ XS")Vw  
    结构设计 k],Q9  
    HjD8u`qQ  
    _ y8Wn}19f  
    Z!zF\<r  
    BdblLUGK#  
    更深的分析 O$j7i:G'5  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 RF4vtQC=  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 CiLg]va   
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 x vl#w  
    l=)xo@6  
    -g Sa_8R  
    }1i`6`y1  
    使用TEA进行性能评估 `yXg{lk  
    {|_M # w~&  
    _w+:Dv~*a  
    V0.vQ/  
    使用FMM进行性能评估 Wk4s reB  
    Tc &z:  
    u^bidd6JRn  
    cyv`B3}  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 {Y=WW7:Qx  
    1&evG-#<:  
    u9GQU  
    j9 4=hJVKi  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?; +1)>{  
    a /l)qB#  
    lN?qp'%H`  
    >j(_[z|v3  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~>Fu5i $i  
    " H&W}N  
    q#ClnG*  
    x_6[P2"PP  
    VirtualLab Fusion技术 lVR~Bh  
    xPk8$1meZM  
    wb5baY9  
     
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