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摘要 8^ ;[c .eW}@1+[; 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 !z X`M1J w-[WJ:2.
_ Onsfv YMnG-'^Z 设计任务 gOa'o< M)6_Tal 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 W,YzD&f=uS Z~$=V:EA?
="3Hc=1?R ~f2H@# 光栅级次分析模块设置 V@<tIui$ NFPW#-TF lRnst-inlI 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 q~.\NKc A\lnH5A
+Tde#T&[ L.lmbxn ;PI=jp 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 4p&qH igG 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 }S3m
wp<Y 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 I-4csw<Qy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 vn~DtTp/ O9oVx4=
e{.2*>pH 衍射分束器表面 nX<!n\J T ow]S 3[07
3Z NYR' d~uK/R-KD 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 eI8^T? }8GCOY
&CF74AN# 6T&6N0y+9
15#v|/wI' m!a<\0^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) )7c\wAs qS>P,>C
&6FRw0GX #z-6mRB 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 fyT:I6* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 rPkV=9ull, 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 #JeZA0r5 KWCA9.w4q
AnG/A!G CT3wd?)z` 光栅级次和可编程光栅分析仪 -#j-Zo+< o;M"C[
e(x1w&8dB 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 C0zE<fl k# ZO4 5W>i'6* 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 nsij;C 2!cP[Ck g&O%qX- 设计与评估结果 ^4x(a& 相位功能设计 k]`I3>/L 结构设计 ~EW
(2B{u TEA评价 %A`f>v.7 c FMM评估 x&+/da-E/5 高度标度(公差) 0^*4LM|z 3X89mIDr 通用设置 Uc!}D fBS;~;l $dFEC}1t
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 '{QbjG%<P 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ^;$a_eR .T
L0cf To uXxyw7\W 纯相位传输设计 <<6i6b Dsw(ti`@
aN}yS=(Ff ;t:B:4r(j 结构设计 8k2prv^ ox{)O/aj
i*#Gq6qZq NcZ6!wWdE }=?kf3k 更深的分析 (WCpaC •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 K;,n?Q w •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 :@KWp{ D7 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 W=&\d`><k z^gf@r
hdQ[=PH) Ms=x~o' 使用TEA进行性能评估 <QQgOaS`2 ~#h@.yW^JN
320Wm)u>: ow:c$Zq 使用FMM进行性能评估 36@)a5 15x~[?!
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Z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 7C9qkQ
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2.p7fu h2`W~g_ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 RvZi %) |F-_YR
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6K<e:Y 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P+:FiVj@~ 4>uz'j<
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