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摘要 !4.^@^L|\ [Et\~'2w8= 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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fTtSx_}3H #UeU:RJ1 设计任务 I[IQFka} R*G>)YH 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 g)6 k?Y $
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7TY"{?~O5 .Tqvy)' 光栅级次分析模块设置 &L`p4AZ %D0Ws9:| /[dAgxL 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 #X_ M 7+r5?h|
k8>^dZub :2gO)
'cD -7VV5W 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ~'\u:Imuo 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 boB{Y 7gO4 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 G"sc;nT 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ]h$TgX IH:Cm5MV
@CUDD{1o 衍射分束器表面 TL:RB)- < T )]|o+G
iPYlTV O~]G(TMs8W 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 XYTcG;_z L KR,CPz
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<L#r6y~H _I5+o\;1 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) HjR<4;2 x"De
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R;2 -/MT- 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 8}@a?QS(& 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 D8XXm lo 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 "!?Ya{ '2oBi6|X
KphEw[4/ SJ@_eir\o 光栅级次和可编程光栅分析仪 Xxw.{2Ji!q LK~0ck7
}1 ^.A84a 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 IW*.B6Hw8
&|*| 8G<.5!f7`N 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Pw.+DA z8MYgn7 -&tiM
v 设计与评估结果 Vd~k4 相位功能设计 <{uIB;P 结构设计 ')<$AMy1 TEA评价 ;Yj&7k1 FMM评估 d a9 *>+[ 高度标度(公差) i[J', +[+Jd)Z 通用设置 p(%x&*)f +__Rk1CVh `BY`ltW 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 1XRVbQt 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 1qF.0 b
L~<~gA Kfl+8UR5= 纯相位传输设计 ysPW<
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D%v yO_k TmiQq'm[b 结构设计 /2 N%Z zFIKB9NUn
2$ =HDwv gE~31:a^ `R^VK-=C 更深的分析 eF@E|kK •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 k@'.d)y0` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 M#m7g4*L ! •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 KNhH4K2iP8 Xqk$[peS
rO GJ%|%( cAS5&T< 使用TEA进行性能评估 ?~Des"F6)1 Lif mYn[
Kkm7L- >Ko )Z&j9W 使用FMM进行性能评估 19 _F\32 W%o){+,
^9i^Ci9 ?}.(k/ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 )d~Mag+ PhQD}|S
;DTNw= {ig@Iy~DT 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 i y 5 c=gUY~Rl
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+_G%tv 1N&U{#4 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 '%,Re-8O +Muyp]_
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