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摘要 vP @\" *Ud=x^JxO 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ~bnyk%S
o Gzw9E.Hk
`iZ){JfAH y{k65dk- 设计任务 6cVJu%<V G5!J9@Yi 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 'Z}3XVZEN J-U5_>S
!l|fzS8g ZFFKv 光栅级次分析模块设置 A8T75?lL( #O,;3S SCq:jI 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 1@<PcQBp (`)ZR%i
Gv\:Agi Yj{-|2YzL
HE{JiAf 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 {7Qj+e^ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 lK"m|Z 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -
U Elu4n& 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Hpj7EaMZ_ X6-;vnlKN
iyJx~: 衍射分束器表面 aESlbH ,k |QuOrCh
K'f`}y9 ]rS:#LK 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 cUj^aT pm E]c0+rh~
*o}7&Hw#9f :x[SV^fw[
]9lR:V
sw c1sVdM}| 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) }Hy4^2B :v B9z
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]w1 )F'r-I%Hi 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >!3r7LgK 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 " 7g\X$ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 z]HaE|j}S CNl @8&R
F S!D Y|nC_7&Bv 光栅级次和可编程光栅分析仪 |
{Tq/ t|?eNKVV9'
ngOGo = 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 P^^WViVX ;:1o|>mX 7-VP)|L#G 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 \\P*w$c ksy]t| JXQh$hs 设计与评估结果 zGtv(gwk 相位功能设计 ?+G
/5,e 结构设计 w&x$RP TEA评价 v(P5)R, FMM评估 821;; ]H 高度标度(公差) YB]{gm2 R q`j|tY 通用设置 8}K4M( |ngv{g D}~uxw;[^ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ![&9\aH 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 m[qW)N:w >4&0j'z"
6PT"9vR`) 纯相位传输设计 4 u=v opgNt o6$
nLY(%):(P Gz:ell$ 结构设计 |f3 :9(p :B~m^5
9`td_qh bD`h/jYv (*Z:ByA 更深的分析 'x<o{Hi"\B •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 [LM9^*sG2V •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 PZihC
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 @_0tq { NH<~BC]I
.u:aX$t+ Ff1!+P, 使用TEA进行性能评估 ]OV}yD2p RMHJI6?LB
zy`T!
$ qIwsK\^p 使用FMM进行性能评估 ;)q"X>FMZe rgF4 W8
d:{}0hmxI _&N}.y)+t 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 fZb}- uyvjo)T
W<:x4gBa QzxEkTc; 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Nx"|10gC o ~M=o:^nH
o37D~V; A<+1:@0 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 .Nk5W%7]= |nBs(>b
o,RiAtdk K[S)e!\. VirtualLab Fusion技术
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