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摘要 * #yF`_p \!ZA#7 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 d i\.*7l? I|X`9
gtKih > ,6 设计任务 oj 8r* \XDiw~0 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 g#S
X$k-O pY&6p~\p
e=Ox~2S GSA+A7sZ 光栅级次分析模块设置 +17!v_4^ 3.Fko<D4jD F|%PiC,,qO 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [* xdILj Ar-Vu{`
L*0YOE%=]
u#6s^
)W Q Xd`P4a 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 N"9^A^w8k 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 'o='Q)Dk 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 #JUh"8N' 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 "6,fIsU l;M,=ctB(
:tWkK$ 衍射分束器表面 F:zmO5L5 y&\4Wr9m
FM]clC;X? 5;`Ot2 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 73qE!(
WUS%4LL(
[3dGHf;miw 4s{=/,f
|AvPg 6AIqoX*p 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &Wy>t8DIK R3g)LnN
=Ti!9_~ 2)BO@]n 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 $uLTYu 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 gX" 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 8Hq4ppC $H*8H`
RIkIE=+6 k7uX!} 光栅级次和可编程光栅分析仪 2K4Xu9-i:b 8{Wl
{?Slo5X| 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 "Lvk?k
)hx _J*l,]}S A}"|_&E 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 nLL2/!'n "%K'~"S#Q, #-%D(=&I 设计与评估结果 +< |