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摘要 DO7-=74= qhV,u;\. 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 5nM kd/ 6WA|'|}=
%^a]J"Ydi8 DC?21[60 设计任务 iEiu%T> x r-;,W 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 42b. 7E "bD+/\ z
"%{,T RDUT3H6~ 光栅级次分析模块设置 p+orBw3 7))y}N:p \@Ee9C13 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 +<pVf%u5 N@k3$+ls
TA Ftcs: {V}t'x`4c If~95fy~c 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 C-Nuy1o 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 H"#)&a7 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -h>Z,-DE6 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 \:]DFZ= ! yOX&cZ[
>F/XZC 衍射分束器表面 xU@1!%l@ seu
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?TIV2m^? q}#iV$dAj 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 IZO@V1-m fx<FIj7
d2RnQA 2ubmsbt$
~V @;(_T hdo&\Q2D8 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) J5O.*& @'*eC}\E
W0Ktw6 24//21m 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 wz|DT3"Xs 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 '9 'l=Sh 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ;xfO16fNk 3I|O^
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Y!Drb-U?; 光栅级次和可编程光栅分析仪 >L^xlm%7o doBNghS
S"zk!2@C 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 xZX`%f- `3J':Vh (4~X}: 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 xPt*CB }7.#Dj/r6 ;> DHD*3X 设计与评估结果 8q0I:SJy 相位功能设计 ?{eY\I 结构设计 !K[/L<
Kv TEA评价 N&"QKd l FMM评估 Rv,82iEKs 高度标度(公差) $ADPV,*gG 'f*O#&? 通用设置 s
D_G)c COSTV>s; 6a*83G,k 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 H8&p<= 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 \QGa4_# wZjlHe #1[z;Mk0 纯相位传输设计 B52yaG8C 1fY>>*oP
gXt O*Rfqk l x e`u}[ 结构设计 LKx` v90p <#y*h8IZ@t
!{(ls< tw<P)V\h 3V}(fnv 更深的分析 7Lg7ei2mN7 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 :m Kxa •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ? Vp%=E •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ;'}'5nO=$ m;o4Fu
Iyyo3awc RDJ+QOVKg 使用TEA进行性能评估 b/u8}
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fagM7)x (rcMA>2= 使用FMM进行性能评估 \0?$wIH? 2JZdw
I8u!\F {q,?<zBzu 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 s?c JV` OPuj|%Wgw
T@P!L `\N]wlB2/b 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 E!!
alc{ ,q#2:b<E
q@l(Qol CxDcY 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 (.?ZKL \|%E%Yc
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