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摘要 d5`D[,]d =2YXh,i 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ZZ
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q7I!wD9Cff |7Qe{ 设计任务 6
$`l UY .-Qt 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Xc4zUEO9 < FY%QB)h
j<R&?* t*)!BZ 光栅级次分析模块设置 D G|v'# DS_0p|2 a}iP +#; 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 X3~`~J z`p9vlS[
q,> C^p|2b 9aX!<Z QKhGEW~G 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 0M?zotv0# 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 T^{=cx9x9 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 d\zUtcJwC 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ZUvc|5] nPDoK!r'
]re}EB\Rs 衍射分束器表面 c?KIHZ0 itg"dGDk
!R@jbM ML0_Uc3en 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 8n:N#4Dh^ Q- w_@~
suYbD!`( g9=_^^Tg
ddbQFAQQQ =pTTXo 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 2dK:VC4U 6 !N2B[9
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C9 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 H/Rzs$pnv 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8'NT_NPNb 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 OJh MM- 9p1@Lfbj
'&2-{Y [! `m#i|8 光栅级次和可编程光栅分析仪 %;|dEY %$'fq*8b
REh\WgV!u 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 SBdd_Fn f0R+Mz8{ `C$QR
8 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 EWY'E;0@5 jc\y{ I\ Rg+#(y 设计与评估结果 1Dhu5ht 相位功能设计 %|1s9?h7\ 结构设计 JT~Dr KI_ TEA评价 \ H#" FMM评估 _Vf>>tuW 高度标度(公差) vp9wRGd ggm'9| 通用设置 2E`mbT,v& 7%[ YX /k(wb4Hv 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 JIHIKH-# 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 B|8|f(tsSa [LUqF?K& iq^;c syKb 纯相位传输设计 B(5>H2 <M}O&?N
8x
Hs_7oy|P +@H{H2J 4 结构设计 &FJr?hY% -yTIv*y
p )]x,F Hl'AnxE rvK%m_r 更深的分析 xI/8[JW* •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?;.=o?e9 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 M4CC&?6\ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 6V}xgfB o^MoU2c
@8+v6z {"2CI^!/U. 使用TEA进行性能评估 E7_OI7C p=zTY7L
F%af05L[ B#35)QI 使用FMM进行性能评估 -YmIRocx {,Rlq
Cud!JpL LafBf6wds 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 G;/l[mvh, 9sd}Z,l
B7YE+ ;:+2.// 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 e=eip?p ^tI&5S]nE
^U96p0H"T a2kAZCQ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P=\Hi.]% b!`Ze~V
<h}x7y? mZmEE2h VirtualLab Fusion技术 s.n:;8RibP L/I ]
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