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摘要 j|b$b,rF\ :zpT Gk8Z 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 "kKIv|` jV<5GWq
QJI]@3
Y ^}<]sjmk 设计任务 g9IIC5 q35=_'\W 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 $-\%%n0>6 |:`)sx3@#
ciW;sK8 Qh]k)]+*| 光栅级次分析模块设置 7}(YCZny5 X3y28 %R >VG*La'c 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 BT
f I,r0K]
`*i:z' !.O;SG }$a*XY1 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 <<9|*Tz 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 8/~@3-9EK 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 T
^/\Rr 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Wq<HsJd/
af/0e}-
Ia:M+20n 衍射分束器表面 VY@`) D"{%[;J
s1X?]A Ctk1\quz 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 $]a*ZHd;2& gU?M/i2
d-I=xpB MI`<U:-lP
G%CS1# q{!ft9|K\d 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)
7uzc1}r tNAmA
`J;g~#/k p1IN%*IV+o 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 |WgFLF~k 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 yEVnG`
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傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 GMpg+rK s|R`$+'{
k7 Ne(4P 8]4W@~c 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?O9| 41+@!`z7
HrRw 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 31p7oRzr &b]_#c
O44Fj) 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 |"}rC >+ r4]hcoU k?Njge6@ 设计与评估结果 ];u nR<H 相位功能设计 Lv #}Gm 结构设计 "}0)~,{xB TEA评价 - P4X@s_; FMM评估 j% '~l#nw 高度标度(公差) $-39O3 :6Gf@Z&+ 通用设置 z%$M
IC $Ut1vp1$ GwmYhG<{ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 %KR2Vlh0 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Bey9P)_Of [MeFj!( ~Vc`AcWP 纯相位传输设计 =ibKdPtTh^ d;).| .}P
Yb'%J@T} |gfG\fL3V 结构设计 +rKV*XX@ YOY2K%o
\CYKj_c q oz[x SYgkYR 更深的分析 VzWH9%w •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 mS+sh'VH •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 V :lKF') •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 k
jx<;##R8 X//=OpS`
K>#QC `_3Gb 使用TEA进行性能评估 Ag;Ybk[ I@(3~ Ab
1#|qT7 } ;d= 使用FMM进行性能评估 >Xxi2Vy IJLuu@kRm,
-CTLQyj) (:RYd6i 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 /LG}nY V" KuwM
{-hu""x> ;/!o0:m^I 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ".kH5(: D*g
K, `
u/J1Z>0 *d-JAE 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
L$@qEsO <_SdW 5BF<
jN/snU2\0 Am >b 7Z! VirtualLab Fusion技术 p uW P6`LUyz3
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