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摘要 Xa z "! } z'Jsy[s 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 +M j 6.X
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/~LE1^1&U 设计任务 hh;kBv07o P\"kr?jZP 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 \/Y(m4<P
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Du/c `d <`> 光栅级次分析模块设置 U9
iI2$ t{})6 sI,cX#h&Y
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 lm`* x=x
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 }*x1e_m}H
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 n_kwtWX (
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 C Hn clT
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 E '6>3n
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 Vgm*5a6t 衍射分束器表面 OVLVsNg
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :Xw|v2z%3
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Ip8ml0oG 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) LO U P
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ':.Hz]]/A
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 S,5ok0 R
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 eRUdPPq_d
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-.G 7}iv+ rQ 光栅级次和可编程光栅分析仪 =-sTV\
B.N#9u-vW
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 7|}4UXr7y
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 qO{z{@jo55
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MCN>3/81
设计与评估结果 7uR;S:WX
相位功能设计 "0eX/ rY%
结构设计 R+LKa Z
TEA评价 9=>q0D2
FMM评估 [t4v/vQT
高度标度（公差） PVb[E 03 W9SU1{*9 通用设置 :T-DxP/
3)G~ud
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ,`t+X=#
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 F`g(vD > Pb&tWv\ql x2!R&q8U>
纯相位传输设计 *OLqr/ yb =E9\fRGU
 <- I69` /1 OCK= 结构设计 D:T]$<=9
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^xe+(83S2?
更深的分析 K6DN >0sY
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 6n]+(=
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 Gxw1P@<F:
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 6ll!7U(9(
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-8l<5g7 使用TEA进行性能评估 I}P I
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k8D _ 使用FMM进行性能评估 J*;RL`
of B:7
 ,@ '^3u 9nR\7!_ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 [xqV`(vM
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 G80N8L m 7ws<' d7/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 &N^ j
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g* YD gY 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 }Ulxt:}
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