切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 京东双十一活动红包购物券领取 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 273阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6333
    光币
    25810
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 QWw"K$l  
     G]-%AO{K  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 p5-<P?B  
     };rm3;~ eg  
    3w6&&R9  
    >b>gr OX  
    建模任务 ]U[&uymax  
    +C_*Vs@4  
    zks#EzQ  
    )!eEO [\d  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +`| mJa  
    !R74J=#(  
    系统建模块 i j/o;_  
    z?kd'j`FG  
    _s*! t  
    MKC$;>i  
    特定位置的Talbot图案 kon5+g9q  
    .b,~f  
     E_3r[1l  
    '00J~j~  
    特定位置的Talbot图案 e\r7BW\Y  
    UfKkgq#  
    )Oievu_"|  
    不同位置的Talbot图案 < eQ[kM  
    n+?-�  
     nW GR5*e:  
    @Dj:4  
    不同位置的Talbot图案 ufP Cx|x~  
    @+&'%1  
     ]RD5Ex!K?  
    BC({ EE~R)  
    沿 Z 轴的强度 >S'>!w  
    +_~,86  
     o@3B(j;J`  
    &Mj1CvCv  
    VirtualLab Fusion技术 >A($8=+#x  
    E eB3 }  
     A$@o'Q;he  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表