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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 Ej{+U  
     V&g)m.d:n  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 %6N)G!P  
     FN>L7 *,0  
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    ^K"ZJ6?+1  
    建模任务 rykj2/O  
    f&f`J/(  
    JBvk)ogM  
    \FVNXU MU  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;eP_;N5+J  
    CX]RtV!  
    系统建模块 ma1 (EJ/  
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    特定位置的Talbot图案 ed=n``P~}  
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    J0Jr BXCh  
    特定位置的Talbot图案 c5<kbe  
    p?}f|mQS)  
    uL bp.N8  
    不同位置的Talbot图案 zf`5>h|  
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    不同位置的Talbot图案 =Y/}b\9`T  
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    沿 Z 轴的强度 XMomFW_@  
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    VirtualLab Fusion技术 tp7oc_s?.  
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