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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 c$lZ\r"  
     =**Q\ Sl  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 OO'zIC<z  
     ZmycK:f  
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    R](cko=  
    建模任务 0x<G\ l4  
    GHo mk##0E  
    .|Yn[?(  
    y2mSPLw  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 2G<XA  
    H: ;XU  
    系统建模块 ggrkj0  
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    特定位置的Talbot图案 Z$r7Hi  
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     &;`E3$>  
    7z&$\qu2  
    特定位置的Talbot图案 <>Ha<4A =E  
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    g3yZi7b5FU  
    不同位置的Talbot图案 *=!r|UdB.  
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    不同位置的Talbot图案 0P!Fci/t  
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    沿 Z 轴的强度 \zwm:@lG  
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    VirtualLab Fusion技术 D #7q3s  
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