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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 rn*VL(Yd(  
      :Xr3 3  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 T,@7giQg@  
     (XWs4R.mkb  
    CMUphS-KE  
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    建模任务 wj~8KHan  
    6 VDF@V$E  
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     /t P  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K*RRbtb  
    Ut@)<N  
    系统建模块 zaPR>:r0  
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    特定位置的Talbot图案 i/B"d,=<  
    4}j}8y2)H  
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    特定位置的Talbot图案 <h0ptCB  
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    5J3kQ;5Q?  
    不同位置的Talbot图案 tJ3s#q6  
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    不同位置的Talbot图案 VNPd L  
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    沿 Z 轴的强度 j+seJg<_  
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    VirtualLab Fusion技术 &*~ WK  
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