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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 @3*S:;x  
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ExKyjWAJ  
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    建模任务 #M ;j*IBl*  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {Qba`lOkq  
    ~v>3lEGn*  
    系统建模块 @b&_xT  
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    特定位置的Talbot图案 L_`D  
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    特定位置的Talbot图案 vJj}$AlI  
    {[ pzqzL6  
    XOL_vS24  
    不同位置的Talbot图案 B4/\=MXb  
    +v+Dkyf:V  
     s|vx2-Cu]  
    JA09 o(  
    不同位置的Talbot图案 z!G?T(SpA  
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     |mQC-=6t;Y  
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    沿 Z 轴的强度 H0\' ,X  
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     MK.TBv  
    7Y.mp9,  
    VirtualLab Fusion技术 cO8yu`4!e  
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