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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 X#ud_+6x  
     )k81  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 KB gFS%-W  
     6h1pPx7zU  
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    E*L5D4Kw  
    建模任务 ksyQ_4^SO  
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     }D!o=Mg^  
    O:#/To'  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) [f]:h Ji  
    -2Dgr\M  
    系统建模块 *56q4\1  
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    特定位置的Talbot图案 BuOe'$F 0t  
    1+xi1w}3a  
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    n]3Z~HoZ  
    特定位置的Talbot图案 e_3B\59k  
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    不同位置的Talbot图案 e+y%M  
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    不同位置的Talbot图案 ogoEtKi  
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    沿 Z 轴的强度 fbkAu  
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    VirtualLab Fusion技术 [o.#$(   
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