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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 kEWC  
     s,ZJ?[/  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 $@q)IK%FDL  
     <1]# E@  
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    |SXMd'<3`Z  
    建模任务 FLY#   
     ' -[  
    ciI;U/V  
    z (rQ6  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) =kohQ d.n  
    ^r73(8{)  
    系统建模块 lKEdpF<  
    a;m-Vu!  
    pm O}m>  
    swuW6p  
    特定位置的Talbot图案 YVZm^@ZVV  
    ?G+v#?A  
     Z2`(UbG}  
    _QfA'32S  
    特定位置的Talbot图案 ~P|YAaFx  
    "YHqls}c  
    R1/ )Yy  
    不同位置的Talbot图案 LJYFz=p "  
    | "DQ^)3Pi  
     VWd=7  
    @v_ )(  
    不同位置的Talbot图案 ^,'!j/w5  
    P-[6xu+]  
     z+&mMP`-  
    $d%m%SZxv  
    沿 Z 轴的强度 >F6'^9|  
    FSd842O  
     V[Fzh\2n  
    B|gyr4]  
    VirtualLab Fusion技术 Gr&5 mniu  
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