切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 374阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6569
    光币
    26994
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 Yy4? |wVl  
     (z}q6Lfa  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 7R 40t3  
     6#/Riu%  
    7Ca+Pe}/n,  
    a'LM6A8~x  
    建模任务 #6[7q6{ 4  
    !N4?>[E  
    4uW}.7R'  
    =R08B)yR  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) DK/xHIv8-  
    A9_)}  
    系统建模块 ]%yph3C  
    oC]|ARgQk|  
    `TM[7'  
    N7=L^]  
    特定位置的Talbot图案 MPINxS  
    9rr"q5[  
     ;%r#p v~  
    k%iZ..  
    特定位置的Talbot图案 1C[j:Ly/  
    DwXzmp[qWH  
    w<?v78sT  
    不同位置的Talbot图案 #]ZOi`;  
    gDP\u<2!  
     CU3[{a  
    O`nrXC{  
    不同位置的Talbot图案 `!?SA<a:  
    $V$|"KRcs  
     n3, ?klK  
    :NL.#!>/  
    沿 Z 轴的强度 6~Y-bn"%D5  
    9kcp(  
     zG_e=   
    t_@xzt10y  
    VirtualLab Fusion技术 0*66m:C2  
    WH F>J  
     nwlo,[  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表