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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 sPY *2B  
     su6x okt  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 s\QhCS  
     IPmSkK  
    $O"S*)9  
    TY~8`+bJ  
    建模任务 g+Vfd(e  
    AY4ZU CqI  
    ~01 o  
    |S48xsFvq  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wHm{4  
    !9=hUpRN  
    系统建模块 3Tze`Q 9  
    )1ia;6}  
    cmgI,n-o?  
    L4`bGZl55  
    特定位置的Talbot图案 Qr]xj7\@i  
    o`S|  
     N: 'v^0  
    $3>k/*=  
    特定位置的Talbot图案 vaL+@Kq~&  
    4 zuM?Dp  
    >Ia{ZbQV  
    不同位置的Talbot图案 gQaBQq9  
     jL8[;*^G  
     'qcLK>E  
    gTWl];xja  
    不同位置的Talbot图案 +F3@-A  
    *y[i~{7:  
     }~pT saw  
    q<(yNqMKP  
    沿 Z 轴的强度 ~]f+   
    y1R53u`;L  
     ^FNvVbK|`  
    z%cq%P8g  
    VirtualLab Fusion技术 $"&0  
    SA_5..  
     m<L.H33'  
     
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