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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 C5W>W4EM  
     G^wtE90  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 WKmbNvN^  
     "w_N' -}#  
    9!U@"~yB  
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    建模任务 %zeATM[`  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) uj|BQ`k  
    kforu!C  
    系统建模块 in-C/m#  
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    特定位置的Talbot图案 !@A#=(4R4  
    X|DO~{-au  
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    特定位置的Talbot图案 (08I  
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    不同位置的Talbot图案 =Gk/k}1  
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    不同位置的Talbot图案 Zm ogM7B  
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    沿 Z 轴的强度 ul f2vD  
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    Q&'}BeUbm  
    VirtualLab Fusion技术 clw%B  
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