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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 Lfor 0-j  
     ^]HwStn&=  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Qk= w ,`  
     iBCM?RiG  
    /e}k7U,^  
    !jm a --  
    建模任务 D c^d$gh  
    QnqX/vnR  
    .|K5b]na  
    r?$\`,;  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) lWR  
    Y:wds=lA  
    系统建模块 Oe?nX>  
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    特定位置的Talbot图案 |R4](  
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    特定位置的Talbot图案 uBM1;9h  
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    q+ .=f.+Z  
    不同位置的Talbot图案 Y9Pb  
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    不同位置的Talbot图案 ixp%aRRP  
    ~DSle 3  
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    沿 Z 轴的强度 rkD(K G9E  
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    VirtualLab Fusion技术 giPyo"SD  
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