切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 812阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7208
    光币
    30181
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 `Ei:Z%@7C  
     P$H9  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 g;eoH  
     R^f-j-$o]  
    tj1M1s|a  
    .kqH}{hf  
    建模任务 q(s&2|  
    j&|>Aa${  
    xV\mS+#  
    r^ Mu`*x*  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^fqco9^;  
    2'-!9!C  
    系统建模块 + d289"  
    *1b1phh0/  
    40m>~I^q}  
    \(4kEB2s$  
    特定位置的Talbot图案 Ap)pOD7  
    Mrly(*!U"@  
     grZ?F~P8  
    >0AVs6&;v  
    特定位置的Talbot图案 Z[%vO?,  
    !WgVk7aP`  
    XdV(=PS!a@  
    不同位置的Talbot图案 5tUN'KEbN  
    \sc's7  
     *R_mvJlT  
    ~ \3j{pr  
    不同位置的Talbot图案 5-B %08T  
    7blo<|9  
     iji2gWV}h  
    | HfN<4NL  
    沿 Z 轴的强度 I%'6IpR"d  
    h 7  c  
     Jf3xK"in  
    i"GCm`  
    VirtualLab Fusion技术 #Nv)SCc  
    c 0.? d]  
     %Q.|qyq  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表