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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 QWmE:F[M~  
     -F[8 ZiZ  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 h@)U,&  
     -"(*'hD  
    )cf i@-J+#  
    G#iQX`  
    建模任务 D+8d^-:  
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    tz1@s nes  
    fBO/0uW  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) P{L=u74b{x  
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    系统建模块 Gk;YAI  
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    特定位置的Talbot图案 iT@` dEZ .  
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    npP C;KD  
    特定位置的Talbot图案 *0WVrM06?  
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    不同位置的Talbot图案 :\](m64z;  
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    不同位置的Talbot图案 $+gQnI3w  
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    沿 Z 轴的强度 MB}nn&u#  
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    VirtualLab Fusion技术 _S!^=9bJ  
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