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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 Pn[R.u(l  
     @mB*fl?-  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 {[%kn rRJ  
     2En^su$  
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    +)eI8o0#  
    建模任务 ]NrA2i?  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Z} Ld!Byz  
    y6*9, CF  
    系统建模块 3Bk_4n  
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    特定位置的Talbot图案 "}(g3Iy  
    (dh{Gk4=+  
     Vo2{aK;  
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    特定位置的Talbot图案 sAG#M\A6  
    O!7v&$]1  
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    不同位置的Talbot图案 >w~Hq9  
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    不同位置的Talbot图案 mrgieb%  
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    沿 Z 轴的强度 k15B5  
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    VirtualLab Fusion技术 9 J0JSy  
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