切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 6.18京东红包优惠券快来领！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 166阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5910
    光币
    23703
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 4|+6a6  
     !_+LmBd G  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 sje}E+{[  
      (-\ ,t  
    h[()!\vBy  
    %@<}z|.4  
    建模任务 ^s@?\v  
    tS2P|fl  
    *iSsGb\M%  
    z3IQPl^  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) MSPzOJQPy  
    )t G`a ;  
    系统建模块 q#v&&]N=  
    )J/,-p  
    <De29'},y  
    6 &% c  
    特定位置的Talbot图案 e_6@oh2s-  
    &~ g||rq  
     YaTJKgi"0  
    <Bc J;X/  
    特定位置的Talbot图案 XVi?- /2  
    V@jR8zv|_  
    uS3 s  
    不同位置的Talbot图案  ]A;zY%>  
    =K#D^c~  
     6Lw34R  
    EEQW$W1@  
    不同位置的Talbot图案 /nEh,<Y)  
    /H+j6*}r  
     ,HXY|fYr  
    Lwgk}!KR  
    沿 Z 轴的强度 -yt[0  
    Q7`}4c)  
     `.+_}.m  
    Pj_2y)^?  
    VirtualLab Fusion技术 ,.u7([SGm  
    ~ ={8b  
     D@tuu]%p  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表