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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 Y$K[@_dv=  
     M\L^ Wf9  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 T*bBw  
     +m]Kj3-z@  
    FI=]K8  
    =&-+{txs  
    建模任务 (-bLP  
    UtzM+7r@  
    @";zM&  
    1 [D,Mu%E  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) y=q iGi[Nc  
    u~7 ,v  
    系统建模块 F\BD7W  
    N^@aO&+A  
    >oasA2S  
    /5&' U!:+  
    特定位置的Talbot图案  WgayH  
    3{FUFx  
     :J~sz)n4  
    >[&Zs3>  
    特定位置的Talbot图案 0hoi=W6AQ  
    $9PscubM4  
    J<27w3bs~p  
    不同位置的Talbot图案 $`'Xb  
    vq;_x  
     M.h8Kr!.  
    '@3Kq\/  
    不同位置的Talbot图案 ;Q8LA",5d  
    *-lw2M9V  
     9TZ4ffXV*  
    v#`7,::  
    沿 Z 轴的强度 t/Y)%N  
    Ow f:Kife  
     ? ht;ZP  
    SO8b~N  
    VirtualLab Fusion技术 "4[8pZO/  
    bS"zp6Di  
     yf@DaIG  
     
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