切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 190阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6062
    光币
    24463
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 vRkVPkZ6|  
     xWK0p'E0  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Gq=tR`.  
     /'4]"%i%3  
    F4NM q&_  
    %E8HLTEvl  
    建模任务 g '+2bQ  
    BN&eU'Dl]  
    fBb:J+  
    (fYYcpd,k  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <S^Hy&MD>  
    FM=XoMP q  
    系统建模块 i"0*)$ h W  
    WN $KS"b6}  
    j/8q  
    ?7#{#sj  
    特定位置的Talbot图案 Xz?7x0)Z  
    U#x`u|L&6  
     oj=% < a  
    xyP 0haE  
    特定位置的Talbot图案 ov5g`uud  
    !'C8sNs  
    ~Qd|.T  
    不同位置的Talbot图案 S c ijf 9  
    HXN. ,[  
     e6>[ZC  
    ;Kh[6{W  
    不同位置的Talbot图案 G?^w <  
    @X2zIFm  
     -k  }LW4  
    l1.eAs5U  
    沿 Z 轴的强度 _}gfec4o  
    .NJ Ne  
     dUBf.2 ry  
    x6Tpt^N}  
    VirtualLab Fusion技术 g,G{%dGsk  
    fo=@ X>S  
     k$.l^H u  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表