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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 ):hz /vZ  
     Dti-*LB1  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 <2@t ~ 9  
     b+:mV7eX  
    MVzj7~+  
    [r>hK ZU2  
    建模任务 9\?&u_ U"  
     ,d/$!Yf  
    2m*ugBO;  
    u q 9mq"  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !NNPg?Y  
    Tx&H1  
    系统建模块 MHWc~@R  
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    L|APXy]>  
    特定位置的Talbot图案 W (TTsnnx  
    6 [XaIco=C  
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    n1|]ji[c  
    特定位置的Talbot图案 >DY/CcG\P  
    wT+60X'  
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    不同位置的Talbot图案 w7~]c,$y.  
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    不同位置的Talbot图案 < q(i(%  
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    沿 Z 轴的强度 (:~_#BA  
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    VirtualLab Fusion技术 as 3uz  
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