切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 京东双十一活动红包购物券领取 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 274阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6333
    光币
    25810
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 QIb4ghm,  
     ;$FpxurX  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Zqp<8M2  
     `i"7; _HoV  
    @lO(QpdG  
    XX9u%BZ~  
    建模任务 12olVTuw  
    [t{ed)J  
    Q>QES-.l  
    :~PzTUz  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Vi:<W0:  
    v:xfGA nP  
    系统建模块 gX'nFGqud  
    .29y3}[PO  
    Z\ 1wEGP7{  
    T+knd'2V6  
    特定位置的Talbot图案 lYq/ n&@_1  
    Vmb `%k20'  
     S!JwF&EW  
    n7$2 1*,  
    特定位置的Talbot图案 L2WH-XP=  
    ^6?)EM#  
    wMx# dP4W8  
    不同位置的Talbot图案 Osj/={7g  
    2<X.kM?N{B  
     ? 3'O  
    EWZ?q$  
    不同位置的Talbot图案 ,bU 8S\8  
    z{uRq A G  
     jjTb:Z=.'  
    EZw<)Q   
    沿 Z 轴的强度 pf%B  
    a*T=;P3(I  
     >`S $(f  
    cZFG~n/  
    VirtualLab Fusion技术 .^o3  
    )_-EeH  
     gd=gc<zYP  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表