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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 V %cU @  
     `[+nz rLkO  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 -;?5<>zZ  
     t7%!~s=,M  
    L|3wG Y9E  
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    建模任务 3ppY@_1  
    O_p:`h:;M  
    `aS9 o]t  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) xwH+Q7O&l  
    s1!_zf_  
    系统建模块 BHwQB2t gc  
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    特定位置的Talbot图案 s68EzFS  
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    d8b'Gjwtw  
    特定位置的Talbot图案 ({cgak  
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    不同位置的Talbot图案 2&W(@wT$  
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    不同位置的Talbot图案 VZ*Q|  
    gz[Ng> D+  
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    沿 Z 轴的强度 qVFz-!6b  
    _c|>m4+X  
     XbJ=lH  
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    VirtualLab Fusion技术 <?P UF,  
    i&^?p|eKa  
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