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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 o*sss  
     G<M9 6V  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ;FnU[Q`M#L  
     GFTOP%Tgl  
    qe2@bG%2+F  
    *)D$w_06S  
    建模任务 Dt:NBN  
    TD.t)  
    31 &;3?3>  
    8T5W6Zs1  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vw w>]Z}  
    \N[2-;[3  
    系统建模块 '_B;e=v`  
    >qS2ha  
    x T1MW  
    Xf{ht%b  
    特定位置的Talbot图案 J;*2[o.N  
    !S#K6:  
     g#lMT%  
    8DkZ @}  
    特定位置的Talbot图案 }fZ~HqS2w  
    7* R %zJ  
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    不同位置的Talbot图案 ^GnR1.ux  
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    不同位置的Talbot图案 7G=Q9^J.H  
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     C;0VR  
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    沿 Z 轴的强度 p]rV\,Yss  
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    3}5Ya\x  
    VirtualLab Fusion技术 _0o65?F  
    KM9H<;A  
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