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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 `]4tJJy$  
     'Esz #@R  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ,qwVDYJ  
     K$c?:?wmo  
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    mbXW$E-&R2  
    建模任务 '}9 %12\^h  
    `{H!V~42  
    nG~^-c+  
    e4<St`K  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) .o)  
    uJU;C.LX  
    系统建模块 G;AJBs>Y}  
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    特定位置的Talbot图案 FW:V<{f  
    V-ONC  
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    ^K0oJg.E  
    特定位置的Talbot图案 iQvqifDmh  
    E=]$nE]b  
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    不同位置的Talbot图案 ^%NjdZuDO  
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    不同位置的Talbot图案 ^C~t)U  
    y4,t=Gq7^  
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    K~A@>~vFb  
    沿 Z 轴的强度 3j\Py'};  
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    }b+$S'`Bv  
    VirtualLab Fusion技术 Qn \=P*j  
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