切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 394阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6617
    光币
    27234
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 n&4N[Qlv,  
     N{!i=A  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 'ZF{R3Xu  
     @D[_}JE  
    2QcOR4_V  
    b~P`qj[  
    建模任务 QO:!p5^:  
    1s&zMWC  
    ) w5SUb  
    ,2oWWsC7  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tKuwpT1Qc  
    DCO\c9  
    系统建模块 )r?}P1J7  
    Dj?> <@  
    HyQJXw?A:  
    \.{$11P#  
    特定位置的Talbot图案 D/gw .XYL  
    C==hox7b  
     cl3K<'D  
    Qy<P463A(l  
    特定位置的Talbot图案 ?zMHP#i  
    7aRi5  
    Pj^{|U21  
    不同位置的Talbot图案 s\(k<Ks  
    gs[uD5oo<  
     ?=7 cF  
    Ta0|+IYk<  
    不同位置的Talbot图案 ,-LwtePJ0  
    (,\+tr8r8  
      DPxM'7  
    O6 3<AY@  
    沿 Z 轴的强度 qr^3R&z!}  
    CsR$c,8X.  
     ^/>(6>S^M  
    f}ji?p  
    VirtualLab Fusion技术 re?,Wext\  
    =o(5_S.u;  
     XEp{VC@=  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表