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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 ) gR=<oa  
     b]gY~cbI8  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 8O1K[sEjui  
     4 c'4*`I  
    7.bN99{xPM  
    NE|[o0On  
    建模任务 1@XgTL4  
    em2_pq9q  
    wHsB,2H  
    !PUp>(  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) rn.\tDeA  
    =FW5Tkw0  
    系统建模块 h7qBp300  
    ?a/n<V '  
    \)m"3yY  
    >CgO<\  
    特定位置的Talbot图案 >{Rb 3Z]  
    +yt6(7V*  
     yZ}d+7T}  
    <M[U#Q~?~e  
    特定位置的Talbot图案 Uz8hANN0_  
    #WE]`zd  
    6!EYrX}rI[  
    不同位置的Talbot图案 oUW<4l  
    INMP"1  
     w\|Ei(  
    gp|1?L 54  
    不同位置的Talbot图案 B94 &elu  
    qg,Nb  
     1(`M~vFDK  
    [EHrIn  
    沿 Z 轴的强度  ?)tK!'  
    e-D4'lu  
     lUh*?l  
    Na!za'qk[o  
    VirtualLab Fusion技术 <6N_at3  
    !}&" W,,0  
     V"d=.Hb>  
     
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