切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 319阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 }4{fQ`HT  
     8-lOB  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 v9D22,K-  
     J%jB?2 1:o  
    2{Chu85   
    &E4 0* (C  
    建模任务 mCWhUBghR  
    "n: %E  
    RiTa \  
    =Me5ft w  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) yY&3p1AxW]  
    sU!6hk  
    系统建模块 C-?%uF  
    9Li%KOY  
    1$2D O  
    NFr:y<0>z  
    特定位置的Talbot图案 A 5+rd{k/  
    h8Xg`C\  
     |hO~X~P  
    AxZD-|.  
    特定位置的Talbot图案 g1UGd  
    \(PohwWWo  
    )' hH^(Yu  
    不同位置的Talbot图案 D!oc>K$B  
    &%2*Wu;  
     LFZ iPu  
    cDoo*  
    不同位置的Talbot图案 if)Y9:{r^  
    2o9$4{}rG  
     WH$e2[+Y  
    ZKz,|+X0G  
    沿 Z 轴的强度 r,]#b[:.s|  
    1Fe^Qb5G  
     Y9=(zOqv  
    P1U*g!  
    VirtualLab Fusion技术 `$YP<CJeq  
    4#(ZNP  
     {Rear 2  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表