切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 322阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 q ]R @:a/  
     ", Rw%_  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 0-MasI&b  
     'FA)LuAok  
    ; dHOH\,:  
    "E[*rnsLN  
    建模任务 2,QApW_Y  
    lo;9sTUHT  
    ;NVTn<Uj  
    r L|BkN  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Pv$"DEXA2  
    ]=XL9MI  
    系统建模块 AeQ&V d|  
    ]( 6vG$\  
    Fu$Gl$qV?%  
    ump:dL5{  
    特定位置的Talbot图案 H.G^!0j;  
    +q?0A^C>  
     EjCzou  
    FHPZQC8  
    特定位置的Talbot图案 {.8)gVBmA  
    uC ;PP=z  
    l8Iy 03H  
    不同位置的Talbot图案 ~=gH7V  
    0lq4   
     F"? *@L  
    Q2WrB+/  
    不同位置的Talbot图案 D7 '0o`|  
    48*pKbbM4  
     iYs?B0*JWK  
    ED_5V@  
    沿 Z 轴的强度 u\Q**m2XP  
    }(I DPaJ  
     &y wY?ox  
    d33Nx)No  
    VirtualLab Fusion技术 `5jB|r/  
    X(q=,^Mp  
     _( /lBf{|  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表