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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 b,h@.s  
     $Iz*W]B!  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 '< =77yDg  
     -qyhg-k6  
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    7! sR%h5p  
    建模任务 ly9tI-E  
    `@3{}  
    a=_:`S]}  
    6K7DZ96L  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) nQ+$  
    Nb3uDA5R  
    系统建模块 xyzYY}PS  
    V*6o|#  
    3QhQpPk) ,  
    GAP,$xAaW  
    特定位置的Talbot图案 He9Er  
    @6"+x  
     (l+0*o,(  
    QtHK`f>4#n  
    特定位置的Talbot图案 l~ Hu#+O  
    j82x$I*  
    ^#gJf*'UE  
    不同位置的Talbot图案 gT_tR_g  
    -JfqY?Ue_2  
     N(J'h$E  
    #J'V,_ wH  
    不同位置的Talbot图案 ]xxE_B7  
    U6?3 z  
     Og-v][  
    2WUl8?f2Y  
    沿 Z 轴的强度 oM^VtH=>  
    .^xQtnq  
     U! $/'Xi9  
    " M3S  
    VirtualLab Fusion技术 J?Bj=b  
    H krhd   
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