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摘要 vNMndo! )-98pp7~BB 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 ZXCq> ^!Y]l xC3h m B3x 4sKs 建模任务 4LG[i}u.N |l4tR ]><K8N3Z st-
z>} structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) gN,O)@N'd3 D-{;;<nIr` 系统建模块 t0*kL. bQU{)W 1M1|Wp r 6.`9 特定位置的Talbot图案 myq@X(K /
.wO<l=
X8}m
% f ZEyXb 特定位置的Talbot图案 |`T$Iq y4\(ynk pZE}<EX 不同位置的Talbot图案 Yfbo=yk a+HGlj 2>
Y ~TR`y
~Q+E" " 不同位置的Talbot图案 0W_olnZ PO*;V<^
d}RU-uiW .O yzM 沿 Z 轴的强度 |wxAdPe H{)DI(,Y^P
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u C2LM VirtualLab Fusion技术 qjBF]3%t% WyA`V C
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