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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             .:$(o&  
    E~%n-A  
    6:ettdj  
    kFn/dQ4|  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             %F;BL8d  
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    仿真任务                                                                             dHc\M|HCC  
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    1RRE{]2v#  
    连接建模技术:倾斜光栅 SYCL\b   
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    yLnQ9BXB&  
    可用的微结构建模技术: -s3`mc}*  
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    Xz_WFLq4  
                                                                                     Bf ut mI  
    光栅阶数分析仪 ]r Uj<[O  
    2J7|y\N,  
    !5`MiH  
    h  d3  
    参数变化分析仪                                                                            
    :o s8"  
       @ ^{`!>Vt  
                                                                                 `6Bx8CZ'I  
    >,e^}K}C  
    参数优化                                                                             \SWTP1  
    1Bj.MQ^  
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    #e' >9T  
    优化结果-平均效率 u8Ys2KLpL  
    [G<ga80  
                                                       |N)Ik8  
    m\&|#yq  
    优化结果-对比度 ${f<}  
    m'rDoly"62  
     
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