[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             S9"y@
F <  
|L_g/e1A3  
S4:\`Lo-;  
eR* ]<0=  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             SKc T  
F{H0
%  
仿真任务                                                                             U*R~w5W.[  
   ETWmeMN  
G4exk5  
! ^*;c#  
连接建模技术:倾斜光栅 Fx88R!  
.vOpU4  
                                                                     /DG`Hg  
N13;hB<  
可用的微结构建模技术: ^a#&wW  
`1d`9AS2g  
WPp\sIP  
                                                                                 >/HU
'  
光栅阶数分析仪 *~<]|H5~  
q(ET)xCeD  
::72~'tw  
!q6V@&  
参数变化分析仪                                                                             f({-j%m  
   HAU
TCX  
                                                                             @~U6=(+  
WWs[]zr  
参数优化                                                                             h,6S$,UI  
}Ka.bZS  
                   vb ^!(  
bb:|1D  
优化结果-平均效率 BM$tywC  
M>H^<N}'A  
                                                   L"du"-  
aj'8;E+  
优化结果-对比度 `# M.t);^  
09;'z