[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             #|QA_5  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             Q"s]<MtdS  
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仿真任务                                                                             YS bS.tq  
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连接建模技术:倾斜光栅 #2dH2k\F  
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                                                                     ID~}pEQ  
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可用的微结构建模技术: zwJ\F '  

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                                                                                 4vi[hiV   
光栅阶数分析仪 H}cq|hodn  
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7 &iav2q  
UmLBoy&*  
参数变化分析仪                                                                             t+#vcg,G  
   kA/yL]m^S  
                                                                             hz+c]K  
I&f!>y?,Z  
参数优化                                                                             W.l#@p  
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优化结果-平均效率 pHKc9VC  
YJ}9VY<}1K  
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优化结果-对比度 dN@C)5pm5`  
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