摘要 k:n{AoUc
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i3XtrP"" QV."ZhL5 = 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
Pac ^=|h<q 1!1,{\9% 仿真任务 >yc),]1~ 'R1C-U3w,
0VvY(j:hp P_b5`e0O 连接建模技术:倾斜光栅 iAe"oXK|
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K~ 可用的微结构建模技术:
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参数变化分析仪 @j\;9>I/ }vZfp5Y
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