[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             vdm?d/0(^  
nIjQLx  
Tv$7aVi!  
z6lz*%Yi  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             j0~3[dyqU  
?iX=2-  
仿真任务                                                                             `0i3"06lr  
   v-3zav  
>, E$bm2  
ymZ/(:3_  
连接建模技术:倾斜光栅  J31M:<  
]M(mq`K  
                                                                     <L~xR5  
F}]_/cY7B  
可用的微结构建模技术: `t1$Ew
<  
EKPTDKut  
~TH5>``;gF  
                                                                                 Qs9U&*L  
光栅阶数分析仪 jw[
BtRW  
4w( vR
e  
pq3 A%|  
&=Zg0Q  
参数变化分析仪                                                                             DOVX$N$3  
   ~n^G<iXLp  
                                                                             #( sNk,^Ax  
DME?kh>7  
参数优化                                                                             o0G`Xn  
U"+ ry.3`  
                   uX +<`3O  
51 0XDl~b  
优化结果-平均效率 r`&|)Hx  
n2mw@Ay!  
                                                   9JV 3  
:bRR(sP  
优化结果-对比度 Tud1xq  
h.$__Gs