摘要 Y<qWG 8X Gn&=<q :H 
pT|l "q@ J~}sQ{ 0 由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的
光栅设计来说，面对光栅
参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入
优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
)[wB:kG sD#*W< 仿真任务 /Vdu|k= y7^E`LKK 
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6 D,\hRQ 连接建模技术:倾斜光栅 /#}o19(-d
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j q\Q'9Rl0( 可用的微结构建模技术:
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8Wba Hw_ swKqsN . 光栅阶数分析仪 *47HN7 'C7$,H' 
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参数变化分析仪 18,;2Sr44 CT?4A1[aD 
|_ njN y* *YFQ*sc 参数优化 [nA1WF fM 1 R,SA:L$ 
?t)Mt](" +wp !hk&C5 优化结果-平均效率 w?V;ItcL (<2!^v0.M 
A01PEVd@A f|6 Y 优化结果-对比度 t |P+^SL
j-#h^3l1?
