[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             bCdEItcD  
d;:+Xd`  
pUYa1=  
q,^^c
1f  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             e {N8|l  
IBQmm(+v  
仿真任务                                                                             Uj0DX>I  
   i~n>dc YW  
5=.,a5  
_Wk!d3bsx  
连接建模技术:倾斜光栅 rQ;m|@  
)<1M'2  
                                                                     'd|_i6:y&  
9@Cqg5Kx'  
可用的微结构建模技术: O>Xyl4U  
Ue^upx  
1;4TA}'H  
                                                                                 oslrv7EK  
光栅阶数分析仪 W _yVVr  
c+_F nA  
Av_1cvR:  
hoO8s#0ED  
参数变化分析仪                                                                             S3P;@Rm  
   "So+  
                                                                             A>xFNem  
{E@Vh  
参数优化                                                                             iU~oPp[e  
+smPR  
                   SE;Jl[PgcL  
-wW%+wH
 
优化结果-平均效率 n>+M4Z
b  
)<U
NiC  
                                                   hJkIFyQ{j  
0V}%'Ec<e  
优化结果-对比度 /$%apci8  
<Ktx*(D