[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             O C qI  
FEoH$.4  
{Kdr-aC  
A]x'!qa@=  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             >n!,KUu]  
|~V`Es +j  
仿真任务                                                                             7E4Xvg
+c  
   X.YMb .\<  
Z#Q
)a;RA  
a d,0*(</  
连接建模技术:倾斜光栅 }iu
(-{Z  
!}[cY76_  
                                                                     QAI!/bB  
Tw)"#Y!T  
可用的微结构建模技术: RMrrLT  
moe5H  
-( d,AX  
                                                                                 hp:8e@  
光栅阶数分析仪 ~YYg~6}vV  
!"dn!X  

kVG]zt2  
ww0m1FzX  
参数变化分析仪                                                                             Y$L>tFA  
   }zK/43Vx  
                                                                             =2BB ~\G+  
@qGg=)T  
参数优化                                                                             J&<uP)<  
QqS?
-   
                   s3., N|  
02_37!\  
优化结果-平均效率 e.Y*=P}D  
:zL.dJwa  
                                                   *`(/wE2v]  
KP
T@I3P  
优化结果-对比度 DJm/:td  
XIrNT:h4