wv>uT{g# 时间地点 bXoj/zek 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
J]8nbl 苏州黉论教育咨询有限公司
-(FVTWi0 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
41y}n{4n8 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
#/'5N|? 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
A~ugx~S0 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
_5I" %E;S JV|GEn\@N 课程简介 OM!CP'u#{ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
%C*oy$. 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
y0vo-)E]-] 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
Km2ppGLNn K8y/U(@|D 课程大纲 IS0RhtGy/ 第一天
uX*H2"A 1. 基本干涉原理
zR2'xE* 干涉发生的条件
5?),6o); 杨氏双缝特性
)>q.!"B 2. 典型的干涉仪系统建模
6 flc 光学层析扫描在面型检测中的应用
S/CT;M@W 基于涡旋光的干涉测量系统
f/G
YDat
激光准直镜的测量
~ g$Pb[V 基础Mirau干涉仪的仿真
#z{9:o7[- Q&A
*h Ph01 第二天
I^'kt[P'FZ 1. 干涉系统的应用
<7TE[M'
光学系统部分相干性测试
nfck3h 法布里腔干涉仪分辨
光谱 (9x8,f0z 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
W!g'*L/#L 全息曝光干涉
L-[<C/`;t 2. 多尺度系统建模仿真
cCN[c)[c| 衍射
光栅干涉测量
E<;C@B 阿贝
成像理论
Two$wL/ 单色仪/光谱仪系统仿真
afRUBjs 用于微结构晶圆检测的光学系统
=BpX;n< 不同轮廓亚
波长光栅的成像
4J*%$Vxv 结构光
照明显微镜与STED显微镜
VJ P]Jy_ SPR表面等离子共振效应
#imMkvx? 3. 摩尔纹系统
UahFs 摩尔纹检测系统
SlvQ)jw% Q&A
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