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'7_JT 时间地点 *H>rvE.K? 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
{@Mr7*u 苏州黉论教育咨询有限公司
{$*N1$(% 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
E~'mxx~i 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
!vnQ;g5 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
-yYdj1y; 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
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L$m 课程简介 "q@m6fs 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
>DqF>w.1 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
gq?:n.;TY 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
M>8J_{r^ c8RJOc4X 课程大纲 y8Va>ul"U 第一天
=YO ]m< 1. 基本干涉原理
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U(_N*a 干涉发生的条件
\l%xuT 杨氏双缝特性
VFHd2Ea( 2. 典型的干涉仪系统建模
*7BfK(9T 光学层析扫描在面型检测中的应用
Z:;} 基于涡旋光的干涉测量系统
.R9Z$Kbq
激光准直镜的测量
Ucj?$= 基础Mirau干涉仪的仿真
DL]tg[w{ Q&A
{h<D/:^v 第二天
t>"%exdoZ 1. 干涉系统的应用
D28`?B9(
光学系统部分相干性测试
2hE(h 法布里腔干涉仪分辨
光谱 wBPo{ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
a QH6akH 全息曝光干涉
vDy&sgS$< 2. 多尺度系统建模仿真
_;<!8e$C 衍射
光栅干涉测量
==[,;g
x 阿贝
成像理论
6|TSH$w_ 单色仪/光谱仪系统仿真
~MpikBf 用于微结构晶圆检测的光学系统
J
3!~e+wn 不同轮廓亚
波长光栅的成像
l,ENMKA^D 结构光
照明显微镜与STED显微镜
>.h:Y5 SPR表面等离子共振效应
~z,o):q1} 3. 摩尔纹系统
8HF^^Cva 摩尔纹检测系统
L9x-90'q, Q&A
yNTd_XPL 
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