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( 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
x2\,n 苏州黉论教育咨询有限公司
hX~d1.]Y 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
x_vaYUl) 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
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bG3 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
I=)u:l c 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
Re{vO&. 3U0>Y%m| , 课程简介 /L8Q[`;. 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
l* =\0 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
MV<2x7S 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
WCc,RI0 x4PA~R 课程大纲 /[iqga= 第一天
YzqUOMAt"V 1. 基本干涉原理
fWKI~/eUY| 干涉发生的条件
RHdcRojF 杨氏双缝特性
ua%$r[ 2. 典型的干涉仪系统建模
+pcpb)VL 光学层析扫描在面型检测中的应用
RjY(MSc 基于涡旋光的干涉测量系统
@-9I<)Z/2
激光准直镜的测量
ykv,>nSXLL 基础Mirau干涉仪的仿真
W *t+!cU/: Q&A
z
%Ty; 第二天
9gFema{U 1. 干涉系统的应用
5J^S-K^r
光学系统部分相干性测试
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`r+ZyM 法布里腔干涉仪分辨
光谱 [%M=nJ{8 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
N,9W18
@ 全息曝光干涉
Fy^=LrH=D 2. 多尺度系统建模仿真
{2EIvKu3: 衍射
光栅干涉测量
2 5DXJb^: 阿贝
成像理论
n
7Mab 单色仪/光谱仪系统仿真
ALVHKL2 用于微结构晶圆检测的光学系统
J3OxM--8" 不同轮廓亚
波长光栅的成像
8LI,'XZ 结构光
照明显微镜与STED显微镜
>YwvM=b"V SPR表面等离子共振效应
@kCFc} 3. 摩尔纹系统
%l4LX~-: 摩尔纹检测系统
\&K{v#g~ Q&A
DlHt#Ob7 
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