L8QWEFB| 时间地点 .w9LJ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
yLX $SR 苏州黉论教育咨询有限公司
Ic#xz;elM 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
)|F|\6:ne 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
18>cfDh;N 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
;Ba%aaHl 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
n{;j W_\zx<m 课程简介 _/s"VYFZ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
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干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
S\e&xUA;| 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
Z4j6z>q E t;&XIG~ 课程大纲 &_ekA44E 第一天
I &t~o 1. 基本干涉原理
'pdTV:]zA 干涉发生的条件
{m.$EoS 杨氏双缝特性
wHc
my 2. 典型的干涉仪系统建模
$cCC
1=dW 光学层析扫描在面型检测中的应用
\*xB<mq 基于涡旋光的干涉测量系统
~U9K<_U
激光准直镜的测量
&XP(D5lf`B 基础Mirau干涉仪的仿真
Y`|+sND Q&A
|\5^ub,m 第二天
G 6sK3K 1. 干涉系统的应用
`Lf'/q
光学系统部分相干性测试
Aw o)a8e 法布里腔干涉仪分辨
光谱 \hB BG8=& 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
1j<(?MT- 全息曝光干涉
1uw#;3<L 2. 多尺度系统建模仿真
mPV<a&U 衍射
光栅干涉测量
P3$eomX' 阿贝
成像理论
AZtS4]4G) 单色仪/光谱仪系统仿真
E$e7(D 用于微结构晶圆检测的光学系统
`@]s[1?f 不同轮廓亚
波长光栅的成像
Lsmcj{1d 结构光
照明显微镜与STED显微镜
RpHlq SPR表面等离子共振效应
[4Z 31v> 3. 摩尔纹系统
\oQ]=dDCd% 摩尔纹检测系统
H"C'<(4*\ Q&A
+]db- 
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