[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

R|n  
时间地点 9T;4aP>6j#  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 kzKej"a;  
苏州黉论教育咨询有限公司 `*Yw-HL  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 gYD1A\  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 Ss+F  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 :ZM9lBYh  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ,U3  
eJ99W=  
课程简介 !gve]>M  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 nd]SI;<  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 R3~,&ab  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 >x{("``D0y  
0n{.96r0R  
课程大纲 +b(};(wL  
第一天 Fp/{L  
1. 基本干涉原理 1Z)Et,  
 干涉发生的条件 ?qNU*d  
 杨氏双缝特性 1Ng+mT  
2. 典型的干涉仪系统建模 rZKfb}ANQ  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 <{isWEW9]3  
 基于涡旋光的干涉测量系统 !?nbB2,  
 激光准直镜的测量 au{)5W4~  
 基础Mirau干涉仪的仿真 zY*9M3(X  
Q&A _ocCt XI9  
第二天 Bn7uKa{P  
1. 干涉系统的应用 }T@=I&g;  
 光学系统部分相干性测试 I/`"lAFe  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 U05;qKgkDF  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） A`n>9|R  
 全息曝光干涉 #7i*Diqf9  
2. 多尺度系统建模仿真 /K#k_k  
 衍射光栅干涉测量 VHxBs  
 阿贝成像理论 /W/e%.  
 单色仪/光谱仪系统仿真 =]%JTGdp(  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 6Ijt2c'A}  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 |-Uh3WUE6  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 CRK%^3g  
 SPR表面等离子共振效应 1Cw]~jh  
3. 摩尔纹系统 e$Ksn_wEq  
 摩尔纹检测系统 4j#y?^s  
Q&A