Ie]k/qw+ Y 时间地点 C=Tq/L w 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
tMiy`CPh 苏州黉论教育咨询有限公司
]iYO}JuX 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
QJy1j~9x 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Bra}HjHO 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
AM0CIRX$ 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
XI+GWNAmJ %"Ia]0 课程简介 M?_7*o]! 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
FnPn#Cv>* 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
w `nm}4M 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
}nRTw2-z z"c,TlVN3 课程大纲 60G(jO14 第一天
A<y]D.Z" 1. 基本干涉原理
,4j^lgJ 干涉发生的条件
D(WdI 杨氏双缝特性
'2Lx>nByk 2. 典型的干涉仪系统建模
tIT/HG_o 光学层析扫描在面型检测中的应用
Urz9S3#\ 基于涡旋光的干涉测量系统
qjsEyro$-
激光准直镜的测量
$|tk?Sps 基础Mirau干涉仪的仿真
,<BV5~T.| Q&A
tM|/OJ7 第二天
9tWpxrig% 1. 干涉系统的应用
PJO.^OsM
光学系统部分相干性测试
t$3B#= 法布里腔干涉仪分辨
光谱 Iqci}G%r 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
Nwo*tb: 全息曝光干涉
rvacCwI 2. 多尺度系统建模仿真
\S_Ae; 衍射
光栅干涉测量
p}Um+I=1 阿贝
成像理论
3a[ LM! 单色仪/光谱仪系统仿真
Ga_Pt8L6 用于微结构晶圆检测的光学系统
Q@uWh: 不同轮廓亚
波长光栅的成像
8!{
}WLwb 结构光
照明显微镜与STED显微镜
CXBFR>" SPR表面等离子共振效应
5@J]#bp0M 3. 摩尔纹系统
Rk-G|52g 摩尔纹检测系统
o!lKP> Q&A
VU1Wr| 
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