U'UQ|%5f 时间地点 ,B&fFis 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
O|A_PyW 苏州黉论教育咨询有限公司
]9=h%5Ji> 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
LWsP ya 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
$P7iRM] 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
I-]>d;4. 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
Q(d9n8 !J*,)kRN 课程简介 kL7#W9 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
ffXyc2o 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
{*ZY(6^ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
Ogt]_ 1QZ&Mj^^ 课程大纲 XS0xLt= 第一天
HBys 1. 基本干涉原理
V]c;^ 干涉发生的条件
@\oz4^ 杨氏双缝特性
cWGDee( 2. 典型的干涉仪系统建模
}),w1/#5u8 光学层析扫描在面型检测中的应用
b96%") 基于涡旋光的干涉测量系统
<D&)OxEn\
激光准直镜的测量
iVFkYx%} 基础Mirau干涉仪的仿真
3QSZ ZJ Q&A
DcMJ^=r8O: 第二天
]`g<w# 1. 干涉系统的应用
3Y)PU=
光学系统部分相干性测试
@cRZk`|1n 法布里腔干涉仪分辨
光谱 y~
G.V,0 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
+5.t. d 全息曝光干涉
z|?R/Gf8 2. 多尺度系统建模仿真
+9O5KI?P 衍射
光栅干涉测量
4ww]9J 阿贝
成像理论
0w'j+ 单色仪/光谱仪系统仿真
G
a;.a 用于微结构晶圆检测的光学系统
vvB(r! 不同轮廓亚
波长光栅的成像
&bgvy'p 结构光
照明显微镜与STED显微镜
>U1R.B7f SPR表面等离子共振效应
=.|J!x 3. 摩尔纹系统
T,fI BD: 摩尔纹检测系统
(qn2xrV Q&A
9p 4"r^ 
对此课程感兴趣可以扫码加微联系