[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 9c}LG5  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 #Z"N\49  
苏州黉论教育咨询有限公司 K/, B  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 Z=L' [6  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 I`5F&8J{  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 r%&hiobMYs  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Qo0okir  
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课程简介 )Mi#{
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纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 .[+8D
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干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 \V7Hi\)  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 fp:j~a>E  
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课程大纲 Ra;e#)7X  
第一天 2Qc&6-;`  
1. 基本干涉原理 'i%Azzv  
 干涉发生的条件 i6h:%n]Io  
 杨氏双缝特性
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2. 典型的干涉仪系统建模 .Xg%><{~  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 7Aq4YjbX  
 基于涡旋光的干涉测量系统 XqyfeY5t  
 激光准直镜的测量 1Yz1/gFj  
 基础Mirau干涉仪的仿真 u)t1t69T\g  
Q&A YEXJh!X  
第二天 nx $?wxIm  
1. 干涉系统的应用 V}'|a<8kVv  
 光学系统部分相干性测试 c5mv4 MC  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 z,P:i$  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪）  &j2L-)  
 全息曝光干涉 X`.4byqdK  
2. 多尺度系统建模仿真 L_<&oq  
 衍射光栅干涉测量 z }R-J/xr2  
 阿贝成像理论 Q5Y4@  
 单色仪/光谱仪系统仿真 .Uh-Wi[  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 e1[kgp   
 不同轮廓亚波长光栅的成像 7`~h'(k  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 S;Lqx5Cd  
 SPR表面等离子共振效应 kFw3'OZ,  
3. 摩尔纹系统 $B2* x$  
 摩尔纹检测系统 #Ru+|KL  
Q&A