VKu|=m2vB 时间地点 y6&o+;I$[ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
OQ+kOE& 苏州黉论教育咨询有限公司
Q#pgl 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
rQ)I 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
R:U!HE8j 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
9^@#Ua 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
KNSMx<GP ; Z2 课程简介 T1uOp5_]B 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
Yq%r\[%* 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
6JD~G\$ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
A>rN.XW e|4U2\&3y 课程大纲 `FByME 第一天
9n;6;K# 1. 基本干涉原理
?zK\!r{ 干涉发生的条件
P]H4!}M 杨氏双缝特性
p5#UH 2. 典型的干涉仪系统建模
@VnK/5opS 光学层析扫描在面型检测中的应用
:U6Q==B$_ 基于涡旋光的干涉测量系统
j=Z;M1
激光准直镜的测量
w%~Mg3| 基础Mirau干涉仪的仿真
m">2XGCn Q&A
j5m]zh5\J= 第二天
bl[2VM7P 1. 干涉系统的应用
^`f qK4<
光学系统部分相干性测试
V BjA$. 法布里腔干涉仪分辨
光谱 Iy@6cd,)S 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
sK7b4gmK 全息曝光干涉
3u4P
[ 2. 多尺度系统建模仿真
_.5ABE 衍射
光栅干涉测量
gZ6tbp,X 阿贝
成像理论
ZX0!BS 单色仪/光谱仪系统仿真
nQd~i0`vB 用于微结构晶圆检测的光学系统
AX6l=jFZx 不同轮廓亚
波长光栅的成像
K*N8Vpz( 结构光
照明显微镜与STED显微镜
BoofJm SPR表面等离子共振效应
/;`-[ 3. 摩尔纹系统
5c1{[ 摩尔纹检测系统
uwu`ms7z 2 Q&A
j~O"=?7!O 
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