\8 I>^4t'/ 时间地点 ~;pv&s5} 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
0^27grU> 苏州黉论教育咨询有限公司
vw'`t6 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
<}^W9>u< 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
\;b)qB 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
-]uN16\ F 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
2rr}5i)r| {u1Rc/Lw 课程简介 $SP*hkU 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
1b6ox6 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
t:|+U:! > 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
UP@a
?w q66+x) 课程大纲 1>doa1 第一天
f-V8/ 1. 基本干涉原理
?Q~6\xA 干涉发生的条件
1lxsj{>U 杨氏双缝特性
a!;]9}u7 2. 典型的干涉仪系统建模
XYKWOrkQqa 光学层析扫描在面型检测中的应用
"]j GCo>9 基于涡旋光的干涉测量系统
2^Tj@P7
激光准直镜的测量
2 us-s 基础Mirau干涉仪的仿真
W.xlS
ZEB Q&A
:?Xd&u0){ 第二天
<eObQ[mQ 1. 干涉系统的应用
+&W%]KEh
光学系统部分相干性测试
{|}tp<:2 法布里腔干涉仪分辨
光谱 _L6WbRu| 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
reyN5n~4U 全息曝光干涉
lF:gQ]oc 2. 多尺度系统建模仿真
n\nC.|_G@ 衍射
光栅干涉测量
o8:K6y 阿贝
成像理论
Fb<r~2 单色仪/光谱仪系统仿真
Y4%Bx8 用于微结构晶圆检测的光学系统
#xqeCX4p 不同轮廓亚
波长光栅的成像
idm!6] 结构光
照明显微镜与STED显微镜
<p48?+K9 SPR表面等离子共振效应
:q V}v2 3. 摩尔纹系统
N0@&eX|$i4 摩尔纹检测系统
@quNVx(y Q&A
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