p PU 2ar 时间地点 \Gv- sA 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
4j2~"K 苏州黉论教育咨询有限公司
$XtV8 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
4d,qXSKty 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
MX%|hIOpr 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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= 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
~r7DEy|+ IhtmD@H} 课程简介 m3 x!*9h 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
t>fA!K%{ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
})Ix.!p 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
xUV_2n+ $,!dan<eA 课程大纲 KI^ q 5D ? 第一天
+A;n*DF2 1. 基本干涉原理
.oW~:mY 干涉发生的条件
~M|NzK_9 杨氏双缝特性
$L $j
KNwf 2. 典型的干涉仪系统建模
hA$c.jJr.Z 光学层析扫描在面型检测中的应用
_S[Rvb1e 基于涡旋光的干涉测量系统
(Qw`%B
激光准直镜的测量
6tCV{pgm 基础Mirau干涉仪的仿真
%`8KG(F^ Q&A
4'7
v!I9 第二天
P W0q71 1. 干涉系统的应用
u k>q\j
光学系统部分相干性测试
LL6ON
} 法布里腔干涉仪分辨
光谱 6ba2^3GH 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
}Etd#"> 全息曝光干涉
?}!gLp 2. 多尺度系统建模仿真
!IQfeoT 衍射
光栅干涉测量
e%5'(V-y, 阿贝
成像理论
@9
qzn&A 单色仪/光谱仪系统仿真
NG4eEnic!a 用于微结构晶圆检测的光学系统
AOq9v~)z- 不同轮廓亚
波长光栅的成像
o%9Ua9|RR 结构光
照明显微镜与STED显微镜
;RTrRh0v SPR表面等离子共振效应
"m<eHz]D 3. 摩尔纹系统
R
oF 摩尔纹检测系统
/;]B1T7 Q&A
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