1IlOU|4 时间地点 :5F(,Z_ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
gWL`J=DiU 苏州黉论教育咨询有限公司
>=:^N-a 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
{9@u:(<X9 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
d tE"1nR 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
rP}[> 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
w IP4Z^ M~n./wyC 课程简介 K&,";9c 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
*<[zG7+&[ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
z4~p(tl 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
80`$F{xcX N}1yDN 课程大纲 /2
hk 9XM 第一天
d"n"A?nXh 1. 基本干涉原理
8.>himL 干涉发生的条件
gX7R-&[UD 杨氏双缝特性
1+Uem 2. 典型的干涉仪系统建模
[[pt~=0 光学层析扫描在面型检测中的应用
IA{W-RRb 基于涡旋光的干涉测量系统
>t<\zC|~w
激光准直镜的测量
"$aoI Xv 基础Mirau干涉仪的仿真
T:Ovh.$ Q&A
hsT&c| 第二天
A2;6Vz=z 1. 干涉系统的应用
-SfU.XlZl
光学系统部分相干性测试
=LODX29 法布里腔干涉仪分辨
光谱 c&x1aF "B 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
[[w | 全息曝光干涉
G%,
RD}D 2. 多尺度系统建模仿真
9e c},~( 衍射
光栅干涉测量
oH!O{pQK} 阿贝
成像理论
+ ~5P7dh6 单色仪/光谱仪系统仿真
#0hqfs 用于微结构晶圆检测的光学系统
]31=8+D 不同轮廓亚
波长光栅的成像
(KwC,0p 结构光
照明显微镜与STED显微镜
c/ih%xR SPR表面等离子共振效应
x}nBUq: 3. 摩尔纹系统
3Pllxq<n 摩尔纹检测系统
5&h">_j Q&A
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