Aua}.Fl, 时间地点 R@uA4Al 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
$v_&jE 苏州黉论教育咨询有限公司
"Uf1;;b 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
\-Xtbm 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
a~R.">>$ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
0)zJG | 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
BK)<~I 2rC& 课程简介 |Y6;8e`H 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
sZ7,7E|_ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
pyX:$j2R+% 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
7K&Uu3m #l`\'0`. 课程大纲 F+NX
[ 第一天
m8
_yorz 1. 基本干涉原理
Y^DGnx("m 干涉发生的条件
!?).4yr 杨氏双缝特性
Wt@hST 2. 典型的干涉仪系统建模
v>nBdpjXh 光学层析扫描在面型检测中的应用
E
?bqEW( 基于涡旋光的干涉测量系统
.x] pJ9
激光准直镜的测量
:.=j)ljTx 基础Mirau干涉仪的仿真
\ntUxPox. Q&A
Qc!3y>Y=_ 第二天
$;$vcV9* 1. 干涉系统的应用
_iDVd2X"H
光学系统部分相干性测试
T*8S7l 法布里腔干涉仪分辨
光谱 WrRY3X 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
zN;P_@U 全息曝光干涉
br TP}A 2. 多尺度系统建模仿真
N5`z S79W 衍射
光栅干涉测量
'Q7^bF^ 阿贝
成像理论
8lDb<i 单色仪/光谱仪系统仿真
$B<:SuV# 用于微结构晶圆检测的光学系统
0WKS 不同轮廓亚
波长光栅的成像
2 A";oE 结构光
照明显微镜与STED显微镜
f8WI@]1F SPR表面等离子共振效应
9c*B%A8J 3. 摩尔纹系统
MwQ4&z#wh 摩尔纹检测系统
5D<ZtsXE Q&A
x@/:{B 
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