[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 X%Lhu6F  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 n&n WY+GEo  
苏州黉论教育咨询有限公司 (\I9eBm  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 ld7B!_b<  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 _oILZ,  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 \C&[BQ\  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) U
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课程简介 F?Fs x)2k  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 N,4. %|1  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 QMz6syn4u  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 DD?zbN0X  
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课程大纲 K!+IRA@  
第一天 V?zCON  
1. 基本干涉原理 it#,5#Y:  
 干涉发生的条件 O6[4=4L  
 杨氏双缝特性 '|7'dlW  
2. 典型的干涉仪系统建模 }t FRl  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 7:S4 Ur  
 基于涡旋光的干涉测量系统 }<9IH%sgF  
 激光准直镜的测量 0DB8[#i%:  
 基础Mirau干涉仪的仿真 \,ko'48@  
Q&A Bs!F |x(  
第二天 E5+-N  
1. 干涉系统的应用 TpH-_ft  
 光学系统部分相干性测试 $SbgdbX  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 e*!0|#-  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） }ZKG-~  
 全息曝光干涉 KB$SB25m  
2. 多尺度系统建模仿真 Tp[-,3L  
 衍射光栅干涉测量 i>aIuQ`pe  
 阿贝成像理论 xe&w.aBI>  
 单色仪/光谱仪系统仿真 EW~M
,+?  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 +I>V9%%vW_  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 !j8 DCVb  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 A0l-H/
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 SPR表面等离子共振效应 q(9S4F   
3. 摩尔纹系统 xo.k:F  
 摩尔纹检测系统 [a[.tR38e  
Q&A