;"1 时间地点 Z4ZR]eD 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
X *fle 苏州黉论教育咨询有限公司
yaw33/iN 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
Aq5@k\[ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
\qA^3L~;5 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
YZHqy++x 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
>7Y6NAwY x$WdW+glZ- 课程简介 aP}%&{iC* 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
yClbM5, 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
NA<6s]Cs. 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
jwW6m@+ nWzGb2Y 课程大纲 'y<<ce* 第一天
!vQDPLBL 1. 基本干涉原理
~|!f6= 干涉发生的条件
U*R 杨氏双缝特性
Q|1X|_hs 2. 典型的干涉仪系统建模
*9?T?S|^$F 光学层析扫描在面型检测中的应用
a=%QckR* 基于涡旋光的干涉测量系统
.o_?n.H'&
激光准直镜的测量
q*36/I 基础Mirau干涉仪的仿真
NU#rv%p Q&A
=JK# "' 第二天
;i,:F`b~ 1. 干涉系统的应用
a#NP69
光学系统部分相干性测试
LqOjVQxz 法布里腔干涉仪分辨
光谱 \~{b;$N} 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
S^/:O.X)c, 全息曝光干涉
{zj<nu 2. 多尺度系统建模仿真
xn`<g|"# 衍射
光栅干涉测量
6lKM5,Oa 阿贝
成像理论
TXDb5ZCzM 单色仪/光谱仪系统仿真
HbUadPr 用于微结构晶圆检测的光学系统
S$egsK"~ 不同轮廓亚
波长光栅的成像
j}devpO 结构光
照明显微镜与STED显微镜
wsg u# as| SPR表面等离子共振效应
1qgzb 3. 摩尔纹系统
?\J.Tv$$$ 摩尔纹检测系统
}ippi6b:r Q&A
0s%rd>3 
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