[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

X`J86G)  
时间地点 P&Uj?et"  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 vCXmu_S4^>  
苏州黉论教育咨询有限公司 T0~~0G)k  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 j+rY  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 !^o{}*]Pi  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 nSRNd A  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 9s*QHCB0  
v^)B[e!  
课程简介 
[%O f  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 /4N?v. jf  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 P)#h4|xZ  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 _8!x  
v*&jA8D  
课程大纲 M6bM`wHH>  
第一天 ~KV{m  
1. 基本干涉原理 JPHM+3v  
 干涉发生的条件 "vg.{
 
 杨氏双缝特性 d3Y;BxEz  
2. 典型的干涉仪系统建模 ens]?,`0  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 }+Q4s]  
 基于涡旋光的干涉测量系统 t{QQ;'  
 激光准直镜的测量 G&@dJ &B  
 基础Mirau干涉仪的仿真 JU.!<  
Q&A ; O(Ml}z  
第二天 #oR`_Dm)P  
1. 干涉系统的应用 \<\H1;=.@'  
 光学系统部分相干性测试 H^54o$5  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 ca3SE^  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） 8};kNW^2m  
 全息曝光干涉 =<7z :]  
2. 多尺度系统建模仿真 \yZVn6GVr  
 衍射光栅干涉测量 _/'VD!(MV  
 阿贝成像理论 cy)-Rf
g  
 单色仪/光谱仪系统仿真 z&B9Yu4M7  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 FJ4,|x3v[x  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 QqRF?%7q"q  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 g{i= $xc  
 SPR表面等离子共振效应 fVf:voh  
3. 摩尔纹系统 0kNKt(_  
 摩尔纹检测系统 Kn<+Au_]L  
Q&A