%((F}9_6 时间地点 @{@x2'-A 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
8'Xpx+v 苏州黉论教育咨询有限公司
93kSBF# 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
@za?<G>!'e 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Dgj`_yd 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
{[hV['Awv 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
$Etf'. 0h^upB#p 课程简介 U;i:k%Bzy 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
K*'(;1AiW 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
t&mw@bj 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
{O5;V/00} F&lWO!4 课程大纲 7Nh6 ` 第一天
vs{i2!^ 1. 基本干涉原理
ZWG$MFEjl 干涉发生的条件
Y{1IRP?S 杨氏双缝特性
|n=m8X 2. 典型的干涉仪系统建模
Z=z'j8z3 光学层析扫描在面型检测中的应用
Za jQ B 基于涡旋光的干涉测量系统
IJD'0/R'c
激光准直镜的测量
nrUrMnlg 基础Mirau干涉仪的仿真
8 fVI33 Q&A
`dMOBYV 第二天
.Ig`v 1. 干涉系统的应用
YMIDV-
光学系统部分相干性测试
F04`MY" 法布里腔干涉仪分辨
光谱 4M i*bN, 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
o83HR[ 全息曝光干涉
@0A0\2 2. 多尺度系统建模仿真
rxI?|}4 衍射
光栅干涉测量
FxKH?Rl 阿贝
成像理论
"#rlL^9v 单色仪/光谱仪系统仿真
<&8cq@< 用于微结构晶圆检测的光学系统
@_FL,AC&m 不同轮廓亚
波长光栅的成像
-tF5$pb' 结构光
照明显微镜与STED显微镜
D(~6h,=m SPR表面等离子共振效应
/]>&OSV 3. 摩尔纹系统
r@e_cD]
M 摩尔纹检测系统
G( nT.\ Q&A
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