RJ*F>2 时间地点 7t3X`db 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
0 {,h.: 苏州黉论教育咨询有限公司
FT4l$g7" 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
ArL-rJ{} 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
JaFUcpZk$ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
ZYDWv/u 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
!%wdn33" `I{ tZ$iD 课程简介 yp?w3|`4; 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
=1/q)b,p) 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
$W*|~}F/Ap 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
5}7ISNP;f ,02w@we5 课程大纲 P{Lg{I_w.B 第一天
c>rKgx 1. 基本干涉原理
AI~9m-,mE 干涉发生的条件
Ysl9f1>% 杨氏双缝特性
-)6;0 2. 典型的干涉仪系统建模
%i3{TL 光学层析扫描在面型检测中的应用
uR^. 基于涡旋光的干涉测量系统
7dHIW!OA
激光准直镜的测量
w#<p^CS 基础Mirau干涉仪的仿真
?CFoe$M Q&A
H@4/#V|Uy 第二天
i3d y 1. 干涉系统的应用
PK}vh%
光学系统部分相干性测试
N;g$)zCV1 法布里腔干涉仪分辨
光谱 >"b[r 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
3u4:l 全息曝光干涉
0:#7M}U 2. 多尺度系统建模仿真
. wmkj 衍射
光栅干涉测量
S
QSA%B$< 阿贝
成像理论
)gjGG8Ee 单色仪/光谱仪系统仿真
D$mf5G & 用于微结构晶圆检测的光学系统
R~c IT:i 不同轮廓亚
波长光栅的成像
,0h3x$l) 结构光
照明显微镜与STED显微镜
3AvcJ1 SPR表面等离子共振效应
VmYBa( 3. 摩尔纹系统
A-;^~I 摩尔纹检测系统
U&s(1~e\ Q&A
El+Ft.7 
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