.S>:-j'u 时间地点 CPWe ( 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
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;y N 苏州黉论教育咨询有限公司
ma)Y@Uw M 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
7E*d>:5I 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Sc_#BD. 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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=}m 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
hg_@Ui@[z QCIH1\`jW 课程简介 |_@ '_ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
;N6Euiz 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
{x{e?c! 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
~:~-AXaMT bx`s;r= 课程大纲 J8>y2rAi 第一天
4,"% 1. 基本干涉原理
3e+ Ih2 干涉发生的条件
bq#*XCt# 杨氏双缝特性
Pb4%"9` 2. 典型的干涉仪系统建模
|Byw]\3v 光学层析扫描在面型检测中的应用
r8x<-u4 基于涡旋光的干涉测量系统
ys`"-o[*
激光准直镜的测量
6K501!70g6 基础Mirau干涉仪的仿真
s4uZ; Q&A
'yd<<BM` 第二天
{XAm3's 1. 干涉系统的应用
FGY4 u4y
光学系统部分相干性测试
kXK D>."E* 法布里腔干涉仪分辨
光谱 D=uU:7m 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
5]D"y Ay81 全息曝光干涉
.G8+D%%. 2. 多尺度系统建模仿真
<2@V$$Qg.~ 衍射
光栅干涉测量
N=R|s$,Oy9 阿贝
成像理论
,$BbJQ5 单色仪/光谱仪系统仿真
u
hW@
Y+ 用于微结构晶圆检测的光学系统
jI:5[. Y 不同轮廓亚
波长光栅的成像
VL4ErOoZ 结构光
照明显微镜与STED显微镜
]w ^9qS SPR表面等离子共振效应
s @\UZC 3. 摩尔纹系统
"l0z?u 摩尔纹检测系统
*F7ksLH|q Q&A
(|H1zO 
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