3;F up4!4} 时间地点 O% 8>siU 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
kL"Y>@H 苏州黉论教育咨询有限公司
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}[}P 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
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授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
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1=]. 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
vngn^2 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
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*x 课程简介 IHv>V9yiG 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
:"gu=u! 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
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* 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
OlM3G^1e1 pYh\l.@qf 课程大纲 03gYl0B 第一天
QBjvbWoIG( 1. 基本干涉原理
T@d4NF# 干涉发生的条件
wQYW5X 杨氏双缝特性
]Xg7XY 2. 典型的干涉仪系统建模
Iz8gZ:rd0 光学层析扫描在面型检测中的应用
%[on.Q'1]2 基于涡旋光的干涉测量系统
KebC$g@W
激光准直镜的测量
\7G.anY 基础Mirau干涉仪的仿真
~0rvrDDg Q&A
MH=Ld=i 第二天
9yp'-RKjw 1. 干涉系统的应用
*2
~"%"C
光学系统部分相干性测试
5C-XQS1 法布里腔干涉仪分辨
光谱 $V;0z~&!' 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
q^6l`JJ 全息曝光干涉
x5b .^75p$ 2. 多尺度系统建模仿真
3*N0oc^m 衍射
光栅干涉测量
(#nB90E{* 阿贝
成像理论
W!JEl|] 单色仪/光谱仪系统仿真
Lc0=5]D 用于微结构晶圆检测的光学系统
@_
Tq>tOr& 不同轮廓亚
波长光栅的成像
0qL.Rnt 结构光
照明显微镜与STED显微镜
n@J>,K_B SPR表面等离子共振效应
,3W,M=j) 3. 摩尔纹系统
NG?g( 摩尔纹检测系统
V!QC.D< Q&A
.@psW0T% 
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