1'o[9- 时间地点 j,.M!q] 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
1b3 a(^^E 苏州黉论教育咨询有限公司
ye.6tlW 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
g[(@@TiG 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
-yf8 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
fn,n'E] 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
`PbY(6CF a<&K^M& 课程简介 oJ4HvrUO 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
Tow=B 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
jc"sPr v5 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
"kP,v&n .z gh,#= 课程大纲 RxqNgun@ 第一天
><}nZ7 1. 基本干涉原理
J!l/.:`6 干涉发生的条件
7*PBJt\ 杨氏双缝特性
M*0^<e~]F 2. 典型的干涉仪系统建模
v/ N[)< 光学层析扫描在面型检测中的应用
e;`(* 基于涡旋光的干涉测量系统
dNgA C){w
激光准直镜的测量
TO.b-
; 基础Mirau干涉仪的仿真
b WNa6x Q&A
(c[u_~ ; 第二天
xfeE D^? 1. 干涉系统的应用
ym|7i9
光学系统部分相干性测试
U,WMP<5& 法布里腔干涉仪分辨
光谱 HF*0 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
NfClR HpVc 全息曝光干涉
sm`c9[E 2. 多尺度系统建模仿真
kf'(u..G 衍射
光栅干涉测量
3WP\MM 阿贝
成像理论
7n#-3#_mG 单色仪/光谱仪系统仿真
$0 .6No_| 用于微结构晶圆检测的光学系统
/ugWl99.W 不同轮廓亚
波长光栅的成像
08xo_Oysq 结构光
照明显微镜与STED显微镜
:%h1Q>F SPR表面等离子共振效应
P*!`AWn 3. 摩尔纹系统
~2k.x*$ 摩尔纹检测系统
rNk'W, FU Q&A
\(pwHNSafk 
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