[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 9^u}~e #(  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 %4wEAi$I  
苏州黉论教育咨询有限公司 0q28Ulv9  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 SBy{sbx4&F  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 gR+P!Eow  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 Y\Z6u)  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) uO>x"D5tZ:  
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课程简介 @HzK)%@  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 m@Dra2Cv'@  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 6FYL},.R  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。  Q'ZZQ  
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课程大纲 O{7rIy  
第一天 Jkv!]C  
1. 基本干涉原理 xM=ydRu  
 干涉发生的条件 GEvx<:  
 杨氏双缝特性 Q<NQ9lX  
2. 典型的干涉仪系统建模 #zv&h`gY  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 w~_ycY.e  
 基于涡旋光的干涉测量系统 7+88o:G9  
 激光准直镜的测量 k`#E#1niN  
 基础Mirau干涉仪的仿真 ]- 6q`'?[  
Q&A yEMM@5W)8  
第二天 F Uz1P  
1. 干涉系统的应用 >z~_s6#CP  
 光学系统部分相干性测试 u -)ED  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 S}fQis  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） k.7!)jL7  
 全息曝光干涉 ]cv/dY#  
2. 多尺度系统建模仿真 cNT !}8h^  
 衍射光栅干涉测量 ZeY|JH1  
 阿贝成像理论 ,na}' A@a`  
 单色仪/光谱仪系统仿真 ]#[4eaCg  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 ,{\Ae"{6  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 fs yVu|G  
 结构光照明显微镜与STED显微镜  _X  
 SPR表面等离子共振效应 "Bv V8
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3. 摩尔纹系统 fN@ZJ~F%j  
 摩尔纹检测系统 E=8GSl/Jx  
Q&A