[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点
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主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 7h#*djef  
苏州黉论教育咨询有限公司 [x{Ai( /T^  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 
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授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 {!&^VXZIT  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 6]|-%  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 3|Y2BAd  
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课程简介 F*-+5nJ&@  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 {YK7';_E*  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 ><xJQeW  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 j8)rz  
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课程大纲 H7 "r^s]D  
第一天 y>>)Yo&|  
1. 基本干涉原理 3gv@JGt7`  
 干涉发生的条件 q.kDx_  
 杨氏双缝特性 37b6w6{D  
2. 典型的干涉仪系统建模 : G'a
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 光学层析扫描在面型检测中的应用 5)C`W]JE  
 基于涡旋光的干涉测量系统 2. q\!V}yQ  
 激光准直镜的测量 0at['zw  
 基础Mirau干涉仪的仿真 m.68ctaa  
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第二天 4I8QM&7  
1. 干涉系统的应用 >rXDLj-e  
 光学系统部分相干性测试 ~"VM_Lz]5  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 = N^Ec[u(l  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） l5nm.i<M  
 全息曝光干涉 JAX`iQd  
2. 多尺度系统建模仿真 Dkg^B@5Xr  
 衍射光栅干涉测量 w<u@L  
 阿贝成像理论 Van=dzG  
 单色仪/光谱仪系统仿真 []G@l. ]W  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 <+UJgB A-  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 uD\rmO{  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 ~ycWcZi>  
 SPR表面等离子共振效应 3el/,v|qj  
3. 摩尔纹系统 3BSZz%va  
 摩尔纹检测系统 i9Eh1A3Y  
Q&A