[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

hTDK[4e  
时间地点 ?+]=|hN  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 .\ Ijq!  
苏州黉论教育咨询有限公司 ?c#s}IH  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 vhBW1/w&F  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 yCxYFi  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 E0ED[d,  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) [lzd'  
~P|;Y<?3  
课程简介 $7q3[skH  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 Bve|+c6W  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 4\n ~  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 bv4umL /  
flCT]ZR  
课程大纲 x?L[*N_ml  
第一天 c{=;lT  
1. 基本干涉原理 ">[#Ops-;$  
 干涉发生的条件 av'm$I|O  
 杨氏双缝特性 M`Q$-#E:  
2. 典型的干涉仪系统建模 (4FVemgy  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 e"hfeNphz  
 基于涡旋光的干涉测量系统 <D a-rv8  
 激光准直镜的测量 6*Z7JiQ0  
 基础Mirau干涉仪的仿真 'WW:'[Syn'  
Q&A .I^4Fc}&4  
第二天 k!Yc_ZB:*l  
1. 干涉系统的应用 CV0id&Nv  
 光学系统部分相干性测试 \B#tB?rA  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 ^*AI19w!Ys  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） S)U*1t7[  
 全息曝光干涉 |.)LZP,  
2. 多尺度系统建模仿真 S70#_{  
 衍射光栅干涉测量 7eCjp  
 阿贝成像理论 UBwl2Di  
 单色仪/光谱仪系统仿真 >/n];fl>8  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 d2
7q,2f!  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 <D|&)/#  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 $M}"u[Qq  
 SPR表面等离子共振效应 BHr,jC  
3. 摩尔纹系统 33~MP;  
 摩尔纹检测系统 'x%gJi#  
Q&A