lha)4d 时间地点 LGB}:;$AL 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
2u Zb2O 苏州黉论教育咨询有限公司
SMonJ;Y 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
,+~8R" 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
{>g{+Eq 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
Z-:T')#Cf 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
R#HVrzOO|T 2D UY4Ti 课程简介 V_zU?}lZ^ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
GHY+q{'#V_ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
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g| 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
G>=Fdt7Oc nr&bpA/ 课程大纲 H-\Ym}BGu 第一天
PzOnS 1. 基本干涉原理
9fm9xTL 干涉发生的条件
1_WP\@O 杨氏双缝特性
SSxp!E' 2. 典型的干涉仪系统建模
D6-R>"} 光学层析扫描在面型检测中的应用
~[%_]/#&%z 基于涡旋光的干涉测量系统
+-C.E
激光准直镜的测量
[;H-HpBaa 基础Mirau干涉仪的仿真
x
]"> Q&A
'i',M+0>jC 第二天
C#-HWoSi 1. 干涉系统的应用
Dj>eAO>
光学系统部分相干性测试
)xq=V 法布里腔干涉仪分辨
光谱 NOg/rDs'{ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
4C/G &w& 全息曝光干涉
?r0rY? 2. 多尺度系统建模仿真
Unvl~lm6 衍射
光栅干涉测量
?VlGTMaS+ 阿贝
成像理论
M287Z[ 单色仪/光谱仪系统仿真
{n|ah{_p| 用于微结构晶圆检测的光学系统
VCfHm"'E8 不同轮廓亚
波长光栅的成像
"iTjiH)Q( 结构光
照明显微镜与STED显微镜
KLvAe>#, SPR表面等离子共振效应
A
0v=7
] 3. 摩尔纹系统
fcxg6W' 摩尔纹检测系统
&Ts!#OcB, Q&A
3m= _a 
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