/T<))@$ 时间地点 1k0*WCfZ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
7h#*djef 苏州黉论教育咨询有限公司
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/T^ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
br,xw c 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
{!&^VXZIT 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
3|Y2BAd k+@,m\tE 课程简介 F*-+5nJ&@ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
{YK7';_E* 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
><xJQeW 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
j8)rz Mc~L%5 课程大纲 H7
"r^s]D 第一天
y>>)Yo&| 1. 基本干涉原理
3gv@JGt7` 干涉发生的条件
q.kDx_ 杨氏双缝特性
37b6w6{D 2. 典型的干涉仪系统建模
: G'a"%x 光学层析扫描在面型检测中的应用
5)C`W]JE 基于涡旋光的干涉测量系统
2.
q\!V}yQ
激光准直镜的测量
0at['zw 基础Mirau干涉仪的仿真
m.68ctaa Q&A
?kULR0uL+ 第二天
4I8QM&7 1. 干涉系统的应用
>rXD Lj-e
光学系统部分相干性测试
~"VM_Lz]5 法布里腔干涉仪分辨
光谱 = N^Ec[u(l 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
l5nm.i<M 全息曝光干涉
JAX`iQd 2. 多尺度系统建模仿真
Dkg^B@5Xr 衍射
光栅干涉测量
w<u@L 阿贝
成像理论
Van=dzG 单色仪/光谱仪系统仿真
[]G@l. ]W 用于微结构晶圆检测的光学系统
<+UJgB
A- 不同轮廓亚
波长光栅的成像
uD\rmO{ 结构光
照明显微镜与STED显微镜
~ycWcZi> SPR表面等离子共振效应
3el/,v|qj 3. 摩尔纹系统
3BSZz%va 摩尔纹检测系统
i9Eh1A3Y Q&A
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