t`1M}}. 时间地点 9^u}~e
#( 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
%4wEAi$I 苏州黉论教育咨询有限公司
0q28Ulv9 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
SBy{sbx4&F 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
gR+P!Eow 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
Y\Z6u) 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
uO>x"D5tZ: {,!!jeOO 课程简介 @HzK)%@
纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
m@Dra2Cv'@ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
6FYL},.R 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
Q'ZZQ <.#jp([W> 课程大纲 O{7rIy 第一天
Jkv!]C 1. 基本干涉原理
xM=ydRu 干涉发生的条件
GEvx<: 杨氏双缝特性
Q<NQ9lX 2. 典型的干涉仪系统建模
#zv&h`gY 光学层析扫描在面型检测中的应用
w~_ycY.e 基于涡旋光的干涉测量系统
7+88o:G9
激光准直镜的测量
k`#E#1niN 基础Mirau干涉仪的仿真
]- 6q`'?[ Q&A
yEMM@5W)8 第二天
F Uz1P 1. 干涉系统的应用
>z~_s6#CP
光学系统部分相干性测试
u -)ED 法布里腔干涉仪分辨
光谱 S}fQis 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
k.7!)jL7 全息曝光干涉
]c v/dY# 2. 多尺度系统建模仿真
cNT !}8h^ 衍射
光栅干涉测量
ZeY|JH1 阿贝
成像理论
,na}' A@a` 单色仪/光谱仪系统仿真
]#[4eaCg 用于微结构晶圆检测的光学系统
,{\Ae"{6 不同轮廓亚
波长光栅的成像
fs yVu|G 结构光
照明显微镜与STED显微镜
_ X SPR表面等离子共振效应
"Bv V89 3. 摩尔纹系统
fN@ZJ~F%j 摩尔纹检测系统
E=8GSl/Jx Q&A
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