Iw0Q1bK( 时间地点 Q'~2,%3< 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
xN +j]LC 苏州黉论教育咨询有限公司
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qE,%cx 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
D`bH_1X 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
pv2u.qg5z 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
V@xlm
h, 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
J \@yP x]gf3Tc58 课程简介 9Xg+$/ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
S"Dw8_y7} 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
?{"_9g9 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
d +Vx:`tT tp,e:4\8Q 课程大纲 xJ|3}o:, 第一天
'Zdjd] 1. 基本干涉原理
#O<2wMb2< 干涉发生的条件
:Z@!*F 杨氏双缝特性
;MqH)M 2. 典型的干涉仪系统建模
S'jH 光学层析扫描在面型检测中的应用
4$+9Wv 基于涡旋光的干涉测量系统
,h'q}5
激光准直镜的测量
etEm#3 基础Mirau干涉仪的仿真
~
l'dpg Q&A
sz' IGy% 第二天
j#TtY|Po 1. 干涉系统的应用
.CClc(bO_/
光学系统部分相干性测试
{o?+T);Z 法布里腔干涉仪分辨
光谱 ]8|cVGMa 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
H
h4G3h0 全息曝光干涉
f*VBSg[` 2. 多尺度系统建模仿真
d85\GEF9i 衍射
光栅干涉测量
TS9=A1J# 阿贝
成像理论
A d0dg2Gw 单色仪/光谱仪系统仿真
,1"w2, = 用于微结构晶圆检测的光学系统
Mb6#97 不同轮廓亚
波长光栅的成像
D2`tWRm0 结构光
照明显微镜与STED显微镜
X`d d"8% SPR表面等离子共振效应
f3>8ZB4 3. 摩尔纹系统
KB$s7S"= 摩尔纹检测系统
L- - Q&A
o5(p&:1M 
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