>*]dB| 2 时间地点 F"| ; 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
?[#4WH-G 苏州黉论教育咨询有限公司
K3.z>.F'h 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
'(fzznRH 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
'Y22HVUX 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
j^)=<+Q;= 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
lKBI3oYn EL^j}P 课程简介 <0btwsv} 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
k!0vpps 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
h )% e 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
n3_|#1Qu qE*h UzA 课程大纲 U7xKu75G1 第一天
2UeK%-~W? 1. 基本干涉原理
xFA+ZjBC 干涉发生的条件
kk$D:UQX 杨氏双缝特性
qoAJcr2uN 2. 典型的干涉仪系统建模
4K0Fc^- 光学层析扫描在面型检测中的应用
UWW'[gEP1 基于涡旋光的干涉测量系统
-?L3"rxAP
激光准直镜的测量
R@
MXwP 基础Mirau干涉仪的仿真
sB=s .`9 Q&A
Zfc{}ius 第二天
MZ%S3' 1. 干涉系统的应用
lFV\Go
光学系统部分相干性测试
$VJE&b 法布里腔干涉仪分辨
光谱 xA>3]<O 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
^0(`:* 全息曝光干涉
?8ady%
.ls 2. 多尺度系统建模仿真
)&[Zw{6P 衍射
光栅干涉测量
+HF*X~},i 阿贝
成像理论
$AF,4Ir-b+ 单色仪/光谱仪系统仿真
V;(Rg=5 用于微结构晶圆检测的光学系统
I3AxKA 不同轮廓亚
波长光栅的成像
B*^8kc:)L 结构光
照明显微镜与STED显微镜
hY/i)T{ SPR表面等离子共振效应
}w5`Oig[ 3. 摩尔纹系统
yPks,7U 摩尔纹检测系统
kf1 ( Q&A
F-<c.0;6 
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