L~?,6 时间地点 p3,(*eZ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
)n[`Z# 苏州黉论教育咨询有限公司
7>W+Uq 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
1%]{0P0?[ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
uJ)\P 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
j:de}!wc 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
flm,r<*} nkr, 课程简介 C[J`x>-K 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
>ji}j~cH 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
Q9 x` Uy 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
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Kh,[] P}.yEta 课程大纲 ^,ZvKA"}+/ 第一天
rH}Dt@ 1. 基本干涉原理
Zo}\gg3 干涉发生的条件
Bcd0 杨氏双缝特性
Hjo:;s 2. 典型的干涉仪系统建模
=5s~$C 光学层析扫描在面型检测中的应用
U#FJ8CD&u 基于涡旋光的干涉测量系统
Q%AS;(d
激光准直镜的测量
p[k9C$@e} 基础Mirau干涉仪的仿真
JUaKj@a| Q&A
=w;xaxjL 第二天
wZ\e3H z 1. 干涉系统的应用
u6bB5(s`&
光学系统部分相干性测试
4%c7#AX[T 法布里腔干涉仪分辨
光谱 J4K|KS7
时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
*fuGVA 全息曝光干涉
46.q anh 2. 多尺度系统建模仿真
W&~iO 衍射
光栅干涉测量
zvQ^f@lq2 阿贝
成像理论
D .oS8' 单色仪/光谱仪系统仿真
S9ak ' 用于微结构晶圆检测的光学系统
/S=;DxZ,r 不同轮廓亚
波长光栅的成像
NGb!7Mu9 结构光
照明显微镜与STED显微镜
Jj^<:t5{rN SPR表面等离子共振效应
w3]0
!)t1 3. 摩尔纹系统
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8f 摩尔纹检测系统
Q+%m+ /Zq Q&A
R^Eu}?<f

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