3 2\.-v 时间地点 4$&l`yWU+ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
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CH 苏州黉论教育咨询有限公司
T(7`$<TQ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
M-"j8:en 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
+;q\7* 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
#_ |B6!D! 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
4@?0wV #,d~t 课程简介 ~U]g;u 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
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R8g[ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
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g 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
g^]Iw~T6$ SraZxuPg> 课程大纲 |qUGB.Q 第一天
2H|:/y 1. 基本干涉原理
|NfFe*q0;8 干涉发生的条件
'V:Q : 杨氏双缝特性
K.)!qkW-%S 2. 典型的干涉仪系统建模
4!Js=" 光学层析扫描在面型检测中的应用
JnBUW" 基于涡旋光的干涉测量系统
iNA3Y
激光准直镜的测量
|RiJ>/MK\ 基础Mirau干涉仪的仿真
K&|h%4O Q&A
~$HB}/ 第二天
m@2E ~m 1. 干涉系统的应用
gpV4qDXV
光学系统部分相干性测试
Uk?G1]$mL 法布里腔干涉仪分辨
光谱 K|P0nJT 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
e%\^V\L 全息曝光干涉
;28d7e} 2. 多尺度系统建模仿真
r6m^~Wq!} 衍射
光栅干涉测量
7AqgX0) 阿贝
成像理论
Y
[`+7w 单色仪/光谱仪系统仿真
&BVHQ7[ 用于微结构晶圆检测的光学系统
\H] |5fp* 不同轮廓亚
波长光栅的成像
>f]/VaMH{ 结构光
照明显微镜与STED显微镜
"Oxr}^% i SPR表面等离子共振效应
%~LY'cfPse 3. 摩尔纹系统
H5K
Fm# 摩尔纹检测系统
G]K1X"W? Q&A
Qa{5]+E 
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