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    [推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-18
    zarxv| }$  
    时间地点 ,Hzz:ce  
    主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 @BfJb[A#  
    苏州黉论教育咨询有限公司 s<XAH7?0  
    授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 ILU7Yhk  
    授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 F+m%PVW:  
    课程讲师:讯技光电工程师团队成员 T@4R|P&{)  
    课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) nc2=S^Fqu  
    X9-WU\?UC  
    课程简介 wqnHaWd*  
    纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 n ZbINhls  
    干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 nr{#Krkb  
    显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 ~O c:b>~  
    VL?sfG0  
    课程大纲 X7g@.Oy`  
    第一天
    I,lX;~xb  
    1. 基本干涉原理 44x+2@&1  
     干涉发生的条件 6L!/#d0  
     杨氏双缝特性 n6xJ  
    2. 典型的干涉仪系统建模 h]>QGX[kC  
     光学层析扫描在面型检测中的应用 vmj'X>Q  
     基于涡旋光的干涉测量系统 {O=PVW2S  
    激光准直镜的测量 f'oO/0lx  
     基础Mirau干涉仪的仿真 iCtDV5  
    Q&A 8)o%0#;0B  
    第二天
    z|$M,?r'  
    1. 干涉系统的应用 m4r<=o  
    光学系统部分相干性测试 +L,V_z  
     法布里腔干涉仪分辨光谱 JE *d-  
     时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) dHsI<:T#  
     全息曝光干涉 [2P6XoI#  
    2. 多尺度系统建模仿真 Mp7X+o/  
     衍射光栅干涉测量  W<@9ndvH  
     阿贝成像理论 rHa*WA;TE  
     单色仪/光谱仪系统仿真 DP8%/CV!*  
     用于微结构晶圆检测的光学系统 ;TC"n!ew  
     不同轮廓亚波长光栅的成像 <0!O'" "J  
     结构光照明显微镜与STED显微镜 z}a9%Fb  
     SPR表面等离子共振效应 (UB?UJc  
    3. 摩尔纹系统 8-PHW,1@a3  
     摩尔纹检测系统 p>l:^ -N;f  
    Q&A
    "}x%5/(  
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