E 0pF; P5 时间地点 't_=%^q 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
;09J;sf 苏州黉论教育咨询有限公司
s3kEux^ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
\T]"pE+8l 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
zB]T5] 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
y<.!TULa_ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
Iq}h}Wd 2RXGY 课程简介:
ez5`B$$ 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
'IW+"o w./EJkKI 课程大纲:
`Zi #rr|)L 第一天
Yh%wf3
UEO 1. 光栅结构建模
@Q1jH~t 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 a&ByV!%%+_ 光栅的建模
&s;%(c04A 2. 光栅仿真算法比较
EhUy7b,1_ 薄元近似法(Thin Element Approximation)
gX _BJ6 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
qL+y8* 3. 光栅严格分析实例
PrKlwhi# 闪耀光栅
8k`zMT 光栅与偏振
Y-c~"# 非傍轴衍射分束器分析
;VFr5.*x 4. 光栅设计与优化
t5Mo'*j
= 倾斜光栅结构参数优化
W=\dsdnu* 公差分析
,"VQ0Z1 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
_~(Xd@c( 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
G\p;
bUF Q&A
k51s*U6=
n1/lE) 第二天
G([vy#p 1. 二维光栅结构建模
eztk$o 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
zB$6e!fc 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
rWs5s!l, 2. 二维光栅设计优化
VfcQibm 抗反射蛾眼结构设计
_Usg`ax- 公差分析
'> Q$5R1
纳米柱的严格分析
^Q,/C8qeb 共振
光子晶格仿真
f,a %@WT 3. 超表面微纳结构
F`Y<(]+
超表面分光光栅设计
?mAw"Rb! 设计和分析超透镜
?.4l1X6Ba 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
k0IU~y% 4. 包含光栅的光学系统仿真
V$%K=[ 光栅衍射测量
,h._iO)I^ 结构光
照明的显微镜系统
Madaxx 微结构晶圆检测系统
"\[>@_p h 泰伯效应
RHbp:Mlk Q&A
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