& M~`:R 时间地点 q*7zx_ o 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
_=NwQu\_F 苏州黉论教育咨询有限公司
B|4X}*@SX 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
9XRZ$j}L 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
{e[c 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
$P(v{W) 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
&/uu)v IZ=Mlu 课程简介:
/qx0TDB 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
GW$.lo1|) EvWzq%z
l 课程大纲:
YQpSlCCo
3 第一天
P#_sg0oJF 1. 光栅结构建模
gx&Tt 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 59%tXiO 光栅的建模
) :\xHR4 2. 光栅仿真算法比较
Q<KvBgmT 薄元近似法(Thin Element Approximation)
r4QxoaM 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
UQ +?\wi* 3. 光栅严格分析实例
rc/nFl6# 闪耀光栅
QR
Ei7@t 光栅与偏振
^B@Wp 非傍轴衍射分束器分析
-,+q#F 4. 光栅设计与优化
h-m\% |D 倾斜光栅结构参数优化
fuA&7gNC 公差分析
raCi 8 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
UY <e&Npo 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
V0%V5> Q&A
L
W;heO" :sP!p`dl 第二天
s7l;\XBy 1. 二维光栅结构建模
sPps q 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
13+<Q \ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
\N4
y< 2. 二维光栅设计优化
v k?skN@ 抗反射蛾眼结构设计
4lM8\Lr 公差分析
>NKe'q<)3
纳米柱的严格分析
PIWux{ 共振
光子晶格仿真
Cz W:L&t 3. 超表面微纳结构
wo3wtx 超表面分光光栅设计
VB?Ohk]< 设计和分析超透镜
%<\6TZr 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
?qX)ihe%k 4. 包含光栅的光学系统仿真
A^RR@D 光栅衍射测量
=r.mlc``W 结构光
照明的显微镜系统
`c69?/5 微结构晶圆检测系统
dTL5-@ 泰伯效应
sU!6 hk Q&A
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