5Bwr\]%$P 时间地点 IQz"FH? 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
t<8vgdD 苏州黉论教育咨询有限公司
kH;DAphk 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
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nh 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Q=B>Q 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
JSXJlau 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
8w,+Y]X<P[ "&$ [@c 课程简介:
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+ 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
+M )ep\j Hlh`d N 课程大纲:
QuB`}rfLf 第一天
5(9SIj^O 1. 光栅结构建模
_LVwjZX[ 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 kHWW\?O 光栅的建模
l]g
/rs 2. 光栅仿真算法比较
4o/}KUu(* 薄元近似法(Thin Element Approximation)
7hV9nuW 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
tO?NbW cp 3. 光栅严格分析实例
8x)&4o@ 闪耀光栅
h?Y->!' 光栅与偏振
RN,5>.w 非傍轴衍射分束器分析
4lM)ZDg 4. 光栅设计与优化
X667*L^ 倾斜光栅结构参数优化
J#1-Le8@ 公差分析
ot%^FvQ[c 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
Np2I*l6W 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
ON,sN Q&A
MWGs:tpL4 c+BD37S 第二天
OBnf5*eJ 1. 二维光栅结构建模
0f_+h %%= 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
3t4i2] 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
Xmmb^2I 2. 二维光栅设计优化
H[WsHq;T+9 抗反射蛾眼结构设计
<w,NMu" 公差分析
VtTTvP3
纳米柱的严格分析
o"kVA;5<G 共振
光子晶格仿真
Ee~<PDzB 3. 超表面微纳结构
Jn|sS(Q} 超表面分光光栅设计
[TW?sW^0 设计和分析超透镜
6%-RKQi 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
hSN{jl{L` 4. 包含光栅的光学系统仿真
Vx
Vpl@ 光栅衍射测量
}]<Ghns 结构光
照明的显微镜系统
|>Ld'\i8 微结构晶圆检测系统
B5A/Iv)2 泰伯效应
;c/|LXc\ Q&A
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