`S$sQ& 时间地点 | k}e&Q_/G 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
\Z'/+}^h 苏州黉论教育咨询有限公司
uJ8x 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
|]tZ hI"3< 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Q.E_:=*H 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
$L\@da? 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
zR/IqW.`9 bvp)r[8h 课程简介:
]5)"gL%H` 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
Y/D-V 7_%2xewV| 课程大纲:
s`1^*Dl%+ 第一天
U{HML| 1. 光栅结构建模
n.ct]+L 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 Fs) 光栅的建模
snq;:n! 2. 光栅仿真算法比较
:q;R6-|. 薄元近似法(Thin Element Approximation)
Gk 6fO 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
?Q?598MC 3. 光栅严格分析实例
xEC2@J 闪耀光栅
[S) G$JW 光栅与偏振
b!,ja? 非傍轴衍射分束器分析
J `x}{K 4. 光栅设计与优化
BUDGyl/= 倾斜光栅结构参数优化
5{>>,pP& 公差分析
}H2#H7!H 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
5W{hH\E _5 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
,2_w=<hq Q&A
2`E!| X Ck@M<(x 第二天
o?y"]RCM 1. 二维光栅结构建模
-%i#j> 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
1lsLG+Rpxi 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
3C#RjA-2[ 2. 二维光栅设计优化
MHFaSl 抗反射蛾眼结构设计
}PmTR4F!} 公差分析
fyrd`R
纳米柱的严格分析
-f 4>MG 共振
光子晶格仿真
^}@`!ON 3. 超表面微纳结构
{(!)P 超表面分光光栅设计
-$9~xX 设计和分析超透镜
y{92Lym 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
5;(0 $4I 4. 包含光栅的光学系统仿真
nzWQQra|? 光栅衍射测量
L^)qe^%3 结构光
照明的显微镜系统
7IQqN&J 微结构晶圆检测系统
)vQNiik# 泰伯效应
9cz )f\ Q&A
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