tm5)x^7 时间地点 qe#5;# 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
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\&V 苏州黉论教育咨询有限公司
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kVB 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
3m!tb) 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
`j@1]%&z 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
ZHN'j ]? 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
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r!dWI 课程简介:
6QY;t:/< 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
L55UeP\ s$>n U 课程大纲:
,G%UU~/a 第一天
FMeBsI9pL 1. 光栅结构建模
jw=PeT| 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 xmcZN3 ){+ 光栅的建模
cbyzZ#WRb 2. 光栅仿真算法比较
ltgtD k 薄元近似法(Thin Element Approximation)
b{
x lW }S 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
y`buY+5l 3. 光栅严格分析实例
]}N01yw|s 闪耀光栅
`8W HVC$ 光栅与偏振
Ch>F11kC 非傍轴衍射分束器分析
)
yMrET
m 4. 光栅设计与优化
Y /_CPY 倾斜光栅结构参数优化
XP?jsBE 公差分析
c**&, aL 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
q/U-6A[0 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
\(P?=] - Q&A
!Yb !Au[ f;
|fS~ 第二天
{:uv}4 Z 1. 二维光栅结构建模
kaekH*m~ 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
i>YQ<A1 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
i)|jLrW~e 2. 二维光栅设计优化
\6SjJ]o> 抗反射蛾眼结构设计
Yw3'9m^ 公差分析
&R<aRE:+R
纳米柱的严格分析
K'r;#I|"J 共振
光子晶格仿真
1]2]l*&3 3. 超表面微纳结构
- /\qGI 超表面分光光栅设计
(~^fx\-S 设计和分析超透镜
4kM/`g6?,q 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
w7?fJ")
4. 包含光栅的光学系统仿真
6Kpq~o 光栅衍射测量
E@ U]k$M 结构光
照明的显微镜系统
&su'znLV 微结构晶圆检测系统
&[-(=43@ 泰伯效应
6^]| Q&A
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