N.Wdi 时间地点 "`$'tk[ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
HqnKpZ 苏州黉论教育咨询有限公司
wn A%Nh7 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
TJ%]{%F 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
C&CsI] @g 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
;ow~vO,x 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
,SE$Rh H2FFw-xW 课程简介:
_:fO)gs|1 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
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gx2 课程大纲:
*n|0\V< 第一天
vxilQp 1. 光栅结构建模
EV?47\~ 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 5w [= 光栅的建模
BJ.8OU*9]S 2. 光栅仿真算法比较
]zwqG A 薄元近似法(Thin Element Approximation)
eV{FcJha 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
h,WY2Hr 3. 光栅严格分析实例
rJc)<OZjT 闪耀光栅
fO|~Oz<S 光栅与偏振
:hhE=A>X 非傍轴衍射分束器分析
7N59B z 4. 光栅设计与优化
{i%xs#0h 倾斜光栅结构参数优化
eE.5zXU3R 公差分析
sG1]A:_<C 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
D8D!1 6_ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
Jr>S/]" Q&A
i\Q"a B"r &6^W%r 第二天
Dy{`">a 1. 二维光栅结构建模
Uh|__DUkh 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
FskJyB[ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
:rs\ydDUF 2. 二维光栅设计优化
Vg,>7?]6h 抗反射蛾眼结构设计
)D@n?qbG 公差分析
4(0t
GF
纳米柱的严格分析
Va
|9)m 共振
光子晶格仿真
Zqs-I8y 3. 超表面微纳结构
3P^gP32 超表面分光光栅设计
>pH775I= 设计和分析超透镜
,8"[ /@ 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
2eR+dT 4. 包含光栅的光学系统仿真
_hyxKrm'
6 光栅衍射测量
, w'$T) 结构光
照明的显微镜系统
&pY G 微结构晶圆检测系统
SX=0f^ 泰伯效应
,nChwEn Q&A
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