Q"K >ML>0 时间地点 ZEyGqCf3 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
A*;^F]~' 苏州黉论教育咨询有限公司
~:b:_ 5" 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
w KMk|y> 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
=!P?/ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
-.Pu5et4 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
Lv5
==w} d_7Xlp@ 课程简介:
, ZP3F+XKb 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
lbuW*) IweK!,:>dN 课程大纲:
):\{n8~ 第一天
SnF[mN' 1. 光栅结构建模
674oL, 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 s$\8)V52 光栅的建模
UV8r&O 2. 光栅仿真算法比较
e}4^N1'd/ 薄元近似法(Thin Element Approximation)
0S5C7df 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
ut5!2t$c 3. 光栅严格分析实例
K,,@', 闪耀光栅
sriq(A 光栅与偏振
1 l*(8!_ 非傍轴衍射分束器分析
WT!\X["FI$ 4. 光栅设计与优化
I~]mX; 倾斜光栅结构参数优化
1o8"==n% 公差分析
K#sb"x` 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
'>mb@m 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
DMxS-hl
Q&A
Di"9 M(6vf XQY&4tK 第二天
)?IA`7X 1. 二维光栅结构建模
_5S$mc8K0 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
`8.32@rUB. 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
dQ|Ht[s= 2. 二维光栅设计优化
C<@1H>S4_ 抗反射蛾眼结构设计
tc2GI6]e' 公差分析
=bg&CZVT
纳米柱的严格分析
v*fc5"3eO 共振
光子晶格仿真
z*~PYAt 3. 超表面微纳结构
g2>u]3&W 超表面分光光栅设计
o3=S<|V 设计和分析超透镜
H_=[~mJ 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
0t[mhmSU, 4. 包含光栅的光学系统仿真
M-K@n$k 光栅衍射测量
5a|m}2IX 结构光
照明的显微镜系统
q[+:t 微结构晶圆检测系统
fQ_8{=<-&X 泰伯效应
2/4x]i
H* Q&A
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