>-)i_C2 时间地点 0dIJgKanGP 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
;2dhue 苏州黉论教育咨询有限公司
? `FI!3j 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
0JNG\ARC 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
&,)9cV / 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
W4>8 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
h+Dg"j<[ uE5kL{Fv 课程简介:
GueqpEd2 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
Iupk+x> )QI]b4[ 课程大纲:
uv_*E`pN~ 第一天
,HMB`vF 1. 光栅结构建模
eKStt|M' 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 N{Is2Ia 光栅的建模
/6 P()Upe 2. 光栅仿真算法比较
H3a}`3}U 薄元近似法(Thin Element Approximation)
+8BH%f}X 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
j/^0q90QO 3. 光栅严格分析实例
_Dk;U*2 闪耀光栅
2]>s@?[ 光栅与偏振
w
#1l)+ 非傍轴衍射分束器分析
lZ_i~;u4@v 4. 光栅设计与优化
?"sk"{ 倾斜光栅结构参数优化
2!" N9Adt 公差分析
Keof{>V=CA 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
UTs0=:+,t 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
]Ff&zBJ Q&A
`+*
M r IS'=%qhC` 第二天
0Y!Bb2m 1. 二维光栅结构建模
<[a9"G7 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
iY*Xm,# 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
Wb*d`hzQ} 2. 二维光栅设计优化
"&C'K 抗反射蛾眼结构设计
q"]-CGAa 公差分析
x%x[5.CT
纳米柱的严格分析
u4.-AY { 共振
光子晶格仿真
J@yy2AZnO 3. 超表面微纳结构
;o8cfD .z 超表面分光光栅设计
2V F|T'h 设计和分析超透镜
P5aHLNit 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
uMqo)J@s 4. 包含光栅的光学系统仿真
JLg_oK6 光栅衍射测量
Qiw Zk<rb 结构光
照明的显微镜系统
(mz a&WF7 微结构晶圆检测系统
vEfX'gyk 泰伯效应
tnKzg21% Q&A
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