4)A#2 时间地点 fh](K'P#^ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
9~p[ 苏州黉论教育咨询有限公司
nEJY5Bz$ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
wB!Nc Y\p 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
nQ5n-A&[" 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
a-=8xs' 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
/ro=?QYb thifRd$4 课程简介:
{]%0lf: 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
2/"u5 wVEm:/;z& 课程大纲:
xlA$:M& 第一天
%-c*C $ 1. 光栅结构建模
:9QZPsL 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 2E}*v5b, 光栅的建模
`, OG7hg 2. 光栅仿真算法比较
\y97W&AN 薄元近似法(Thin Element Approximation)
8<X#f
! 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
'~5LY!H(pT 3. 光栅严格分析实例
T1 ut"Zu 闪耀光栅
6 eLR2 光栅与偏振
\:b3~%Fz 非傍轴衍射分束器分析
dMh:ulIY> 4. 光栅设计与优化
,)0H3t 倾斜光栅结构参数优化
;Y00TGU 公差分析
sd*p/Q|4 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
h}[-'>{ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
]OM"ZG/^ Q&A
~-ia+A6GIV <CS(c|7 第二天
5 h-@|t 1. 二维光栅结构建模
2M.fLQ? 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
I3aNFa} 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
"Lzi+1 2. 二维光栅设计优化
_GV:HOBi 抗反射蛾眼结构设计
'=39+*6? 公差分析
`ZU($!(
纳米柱的严格分析
~5NXd)2+Ks 共振
光子晶格仿真
z6U\axO6 3. 超表面微纳结构
\K5DOM "# 超表面分光光栅设计
51#_Vg 设计和分析超透镜
w^Sz#_2 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
Lb!Fcf|h 4. 包含光栅的光学系统仿真
B-xGX$<z 光栅衍射测量
.k#U]M
结构光
照明的显微镜系统
'9laa=H%8 微结构晶圆检测系统
*QpMF/<? 泰伯效应
b,5~b&<h Q&A
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