JIbzh?$aD 时间地点 iWN.3|r 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Z>Kcz^a# 苏州黉论教育咨询有限公司
{`Fx~w;i 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
r< ?o}Qq 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
:Bv&)RK 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
]i,Mq 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
^W[B[Y<k :^-HVT)qF 课程简介:
snTJe[^d 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
=Mu'+,dT 9u7n/o&8v6 课程大纲:
RZ)vU'@kx 第一天
-4y)qGb*? 1. 光栅结构建模
Sp`fh7d.( 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 <7FP"YU 光栅的建模
}OP%p/eY 2. 光栅仿真算法比较
0'%+X| 薄元近似法(Thin Element Approximation)
f}lT|.)?VD 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
CdzkMVH 3. 光栅严格分析实例
Xs%R]KOwt 闪耀光栅
qD$GKN. 光栅与偏振
*<.WL"Qhl 非傍轴衍射分束器分析
N1+4bR 4. 光栅设计与优化
iUxDEt[t* 倾斜光栅结构参数优化
=Y]'5cn{ 公差分析
gB{]yA"(' 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
~E3SC@KL 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
EN-8uY. Q&A
~aqT~TL_ >G4HZE 第二天
CFkW@\] 1. 二维光栅结构建模
#.MIW*== 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
VeD+U~ d 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
/]k ,,& 2. 二维光栅设计优化
XC7Ty'#"KX 抗反射蛾眼结构设计
0$f_or9T 公差分析
`b^#quz
纳米柱的严格分析
"u Of~e" 共振
光子晶格仿真
5Aa31"43n 3. 超表面微纳结构
x
tYV" 超表面分光光栅设计
yd0=h7s 设计和分析超透镜
,Ou1!`6?t 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
<@U. 4. 包含光栅的光学系统仿真
[$1: &!(! 光栅衍射测量
e_I; y 结构光
照明的显微镜系统
>Bh)7>`3c 微结构晶圆检测系统
@Hspg^ 泰伯效应
)8x:x7? Q&A
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