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1lCa_ 时间地点 pkhZW8O 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
C)Mh 苏州黉论教育咨询有限公司
6MF%$K3 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
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YV 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
87y$=eZ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
9J*m!-hOY 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
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`\8z u[y>DPPx 课程简介:
yjc:+Y{5' 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
}wz )" u.R:/H<>~ 课程大纲:
3Cq17A 9 第一天
J %URg=r 1. 光栅结构建模
$}N'm 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 -_v[oqf$ 光栅的建模
F(:+[$) 2. 光栅仿真算法比较
Gb\}e}TB[ 薄元近似法(Thin Element Approximation)
Q lql(* 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
S-g`rTx 3. 光栅严格分析实例
Fod2KS;g 闪耀光栅
4>gkXfTF 光栅与偏振
<5G*#0gw 非傍轴衍射分束器分析
@zW'!Ol 4. 光栅设计与优化
=DUsQN! 倾斜光栅结构参数优化
R2-OT5Ej 公差分析
s9zdg"c' 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
JuKj 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
PKty'}KF Q&A
-(@dMY K'7i$bl% 第二天
Kmk< 1. 二维光栅结构建模
o0_RU<bWN 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
#P<v[O/rA 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
Hi|' 2. 二维光栅设计优化
;VNwx(1l` 抗反射蛾眼结构设计
79z(n[^ 公差分析
l0 rZril
纳米柱的严格分析
M n3cIGL 共振
光子晶格仿真
[-=PK\ B 3. 超表面微纳结构
_\1wLcFj 超表面分光光栅设计
LEKN%2 设计和分析超透镜
\M'b% 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
5JBenTt 4. 包含光栅的光学系统仿真
rX)PN3TD 光栅衍射测量
.YKQ6 结构光
照明的显微镜系统
`[2nxP>w` 微结构晶圆检测系统
7_?:R2]n 泰伯效应
D/"[/! Q&A
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