[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 LIHf]+  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 cj/FqU"  
苏州黉论教育咨询有限公司 "A9 c]  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 _Msaub!N  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 uw@|Y{(K r  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 Yt;.Z$i ,  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) !b+Kasss9  
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课程简介： YEqWTB|w  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 (wIpq<%  
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课程大纲： DavG=kvd  
第一天 e: :H1V  
1. 光栅结构建模 g@lAk%V4  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 ?5 d3k%  
 光栅的建模 /fc@=CO  
2.  光栅仿真算法比较 ]={{$}8.  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） <kmn3w,vi  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） SSF4P&  
3. 光栅严格分析实例 izi=`;=D^  
 闪耀光栅 ),)]gw71QW  
 光栅与偏振 u-. _;  
 非傍轴衍射分束器分析 j7 D\O  
4.  光栅设计与优化 +d736lLe%  
 倾斜光栅结构参数优化 YvK8;<k@-?  
 公差分析 H;$OCDRC  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 &u_f:Pog  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 Dl%NVi+n  
Q&A gI^*O@Q4{b  
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第二天 7>J8\=  
1. 二维光栅结构建模 K_B-KK(^  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） dg1h<]T"9  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 HLU'1As65  
2. 二维光栅设计优化 \6xVIQ& 0  
 抗反射蛾眼结构设计 S:Ne g!`  
 公差分析 !285=cxz  
 纳米柱的严格分析 Dw^d!%Ala  
 共振光子晶格仿真 :WTO*M  
3. 超表面微纳结构 iVt6rX  
 超表面分光光栅设计 1G+42>?<1  
 设计和分析超透镜 m$:o+IH/  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 2, ` =i
 
4. 包含光栅的光学系统仿真 >T4.mB7+>  
 光栅衍射测量 snV,rZ  
 结构光照明的显微镜系统 VZ;ASA?;  
 微结构晶圆检测系统 ,xrXby|R"  
 泰伯效应 +)FB[/pXk  
Q&A