fm^tU0DY 时间地点 k!qOE\%B 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
'lC=k7@x 苏州黉论教育咨询有限公司
4cm~oZ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
pkIQ,W{Ke 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
8oHIXnK 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
] %7m+-h@ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
vRmzjd~ 8f?o?c| 课程简介:
#I ,c'Vj 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
"
d~M\Az K:4G(?w 课程大纲:
2DZ&g\| 第一天
:'H}b*VWx 1. 光栅结构建模
]w)uo4<^J 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 8/"uS ;yP 光栅的建模
*}r6V"pH~ 2. 光栅仿真算法比较
y#ON=8l 薄元近似法(Thin Element Approximation)
99zMdo S 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
,=ju^_^sA 3. 光栅严格分析实例
@ bvWqMa 闪耀光栅
Q Na*Y@i 光栅与偏振
`EP-Qlm 非傍轴衍射分束器分析
A?ESjMy(R 4. 光栅设计与优化
1{xkAy0 倾斜光栅结构参数优化
&@&^k$du8q 公差分析
GO#eI]>/r 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
wGz_IL.D 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
jN+2+P%OL Q&A
p{V(! v| '~6l
6wi 第二天
/{ 8 .Jcx$ 1. 二维光栅结构建模
Zg])uM]\2i 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
'#r^W2 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
C5^N)-]" 2. 二维光栅设计优化
Fw#wVs)@: 抗反射蛾眼结构设计
e+MsFXnB8 公差分析
j~ qm5}
纳米柱的严格分析
ciPaCrV 共振
光子晶格仿真
,+_gx.H2j 3. 超表面微纳结构
|R Qa.^. 超表面分光光栅设计
zt
)WX9 设计和分析超透镜
Zvz}Z8jW 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
}Oy/F 4. 包含光栅的光学系统仿真
F.R0c@&W 光栅衍射测量
na/,1iI< 结构光
照明的显微镜系统
X`}4=> 微结构晶圆检测系统
"FfP&lF/ 泰伯效应
x A ZRl Q&A
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