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f$L 时间地点 n+qVT4o 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
vNt>ESPB 苏州黉论教育咨询有限公司
/HuYduGdP 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
}#G"!/ZA0: 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
.Sr:"S rT 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
T#n1@FgC 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
e4Ox`gLa*p F> QT| 课程简介:
%Sn 6*\z 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
;(Xe@OtW .W : 课程大纲:
9J7J/]7f 第一天
NVJ&C]H6 1. 光栅结构建模
e?| URW 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 2d2@ J{ 光栅的建模
Ww96|m 2. 光栅仿真算法比较
aGe(vQPi9 薄元近似法(Thin Element Approximation)
!wd'::C 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
],F}}pv 3. 光栅严格分析实例
k&A7alw 闪耀光栅
AM[jL'r| 光栅与偏振
%i&/$0.8 非傍轴衍射分束器分析
i.t9jN 4. 光栅设计与优化
6%kJDY. 倾斜光栅结构参数优化
'^Utbp2< 公差分析
7<:Wq=e!r 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
}@14E-N= 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
'q92E( Q&A
u\XkXS` lU$4NUwM 第二天
gr>o
E#7 1. 二维光栅结构建模
M%&A.j[ 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
+`*qlP; 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
4Oy.,MDQP 2. 二维光栅设计优化
)[^y
t0% 抗反射蛾眼结构设计
"%E-X:Il# 公差分析
{OO*iZ.O
纳米柱的严格分析
E69:bQ94u 共振
光子晶格仿真
=_RcoG/^~ 3. 超表面微纳结构
Jq$_=X& 超表面分光光栅设计
rX33s 设计和分析超透镜
FgWkcV6B 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
vm\wO._ 4. 包含光栅的光学系统仿真
DD!MGf/ 光栅衍射测量
*p&^!ct 结构光
照明的显微镜系统
f v E+.{ 微结构晶圆检测系统
8QVE_ Eu 泰伯效应
#2PrGz]
Q&A
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