#J]u3*Tn| 时间地点 mu2r#I 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Dx =ms^oN5 苏州黉论教育咨询有限公司
A('=P}I^ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
nsqs*$ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
2JZf@x+} 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
-cCujDM#T 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
D*Y4B?, #CoJ S[t 课程简介:
I|JMkP 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
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``q pGz-5afL 课程大纲:
ow*) 1eo 第一天
w{Wz^=';
1. 光栅结构建模
716JnG> 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 D[m;rcl 光栅的建模
"jzU` 2. 光栅仿真算法比较
gk\IivPb 薄元近似法(Thin Element Approximation)
5YaTE<G 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
|jV> 3. 光栅严格分析实例
a|`Pg1j# 闪耀光栅
kJqgY| 光栅与偏振
u-3A6Q 非傍轴衍射分束器分析
Fd-PjW/E8 4. 光栅设计与优化
_rXTHo7P 倾斜光栅结构参数优化
'<~l%q 公差分析
_6&x$*O 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
z iR} 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
~`c?&YixU Q&A
xSZgQF~ R+FBCVU&TJ 第二天
;1&%Wj"d 1. 二维光栅结构建模
5BCXI8Ox9x 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
fn
)m$\2 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
nVV>;e[ 2. 二维光栅设计优化
XP<wHh 抗反射蛾眼结构设计
O emi } 公差分析
q'77BRD3
纳米柱的严格分析
eD/O)X 共振
光子晶格仿真
T>s~bIzL*e 3. 超表面微纳结构
Vo<V!G{ 超表面分光光栅设计
zE5%l`@|o 设计和分析超透镜
@dQIl# 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
* F%Wf 4. 包含光栅的光学系统仿真
V #W,}+_Sz 光栅衍射测量
l=U@j
T 结构光
照明的显微镜系统
%mPIr4$Pg 微结构晶圆检测系统
qc\]~]H]r 泰伯效应
2`I"
QU Q&A
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