[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 9e=}PL  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 NX,m6u  
苏州黉论教育咨询有限公司 Q{
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授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 Yu\$Y0 {]  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 X2@Ef2EkM  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 C[<}eD4bV  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Ai1"UYk\\Y  
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课程简介 1oej<67PdJ  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 U?sHh2*  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 zPa2fS8  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 8Y.qP"
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课程大纲 <7VLUk}  
第一天 iRnjN  
1. 基本干涉原理 =S`h/fru  
 干涉发生的条件 D{6y^@/  
 杨氏双缝特性 Q-'j131[  
2. 典型的干涉仪系统建模 5[Vr {^)  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 (s,&,I=@  
 基于涡旋光的干涉测量系统 Jg;[k  
 激光准直镜的测量 |y U!d %  
 基础Mirau干涉仪的仿真 7b[sW|{  
Q&A {&,p<5o  
第二天 P!W%KobZ7|  
1. 干涉系统的应用 z3uR1vF'  
 光学系统部分相干性测试 #QoWne
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 法布里腔干涉仪分辨光谱 `s}L3bR]  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） ^x\VMd3*w  
 全息曝光干涉 fA
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2. 多尺度系统建模仿真 s#s">hMrI  
 衍射光栅干涉测量 p>7qyZ8  
 阿贝成像理论 *~)6
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 单色仪/光谱仪系统仿真 (Lgea  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 no3yzF3Hi  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 n?fy@R  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 YCD|lL#  
 SPR表面等离子共振效应 TRGpE9i  
3. 摩尔纹系统 v`Jt+?I  
 摩尔纹检测系统 o~~;I  
Q&A