[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 %XpYiW#AK  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 (Wj2%*NT  
苏州黉论教育咨询有限公司 N@oNg}D&:  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 8Wa&&YTB  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 3?}W0dZ$d  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 r]C`#  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) h`_@eax  
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课程简介 K2W$I H:.  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 L>,j*a_[  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 $IuN(#  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 ;}=4z^^5  
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课程大纲 Kb<^Wdy4T  
第一天 RWN2P6  
1. 基本干涉原理 bIX'|=  
 干涉发生的条件 M"E ]r=1  
 杨氏双缝特性 *jB
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2. 典型的干涉仪系统建模 BFCF+hU^6R  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 r N"P IH  
 基于涡旋光的干涉测量系统 Uf:G,%OYi  
 激光准直镜的测量 vPVA^UPNV  
 基础Mirau干涉仪的仿真 :sMc}k?9S  
Q&A % d%KH9u  
第二天 ?q68{!{bi  
1. 干涉系统的应用 k 5<[N2D|!  
 光学系统部分相干性测试 mXX9Aa>  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 p|W <xFk  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） j3!]wolY  
 全息曝光干涉 *ybwlLg  
2. 多尺度系统建模仿真 +2}aCoL\  
 衍射光栅干涉测量  N+<`Er  
 阿贝成像理论  J
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 单色仪/光谱仪系统仿真 DwQaj"1<%  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 [vIHYp  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 K?y!zy  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 HuX{8nla  
 SPR表面等离子共振效应 Rwy<#9R[x  
3. 摩尔纹系统 |_Y[931<  
 摩尔纹检测系统 JG2)-x;9  
Q&A