[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

Oy,`tG0  
时间地点 @fML.AT  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 ^9g+\W  
苏州黉论教育咨询有限公司 VXpbmg!{S  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 T{VdlgL  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 .^Z^L F  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 q!5 *)nw"  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) /J-:?./  
LZ"yMnhOf  
课程简介 +}u{{  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 G31??L:<  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 e{8j(` (;#  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 ATdK)gG  
~sd+ch*  
课程大纲 f"8!uE*;  
第一天 5,pKv  
1. 基本干涉原理 99<0xN(25  
 干涉发生的条件 ~PoBvH
i  
 杨氏双缝特性 vXio /m  
2. 典型的干涉仪系统建模 )kq3q5*_  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 b)5z
'zQu  
 基于涡旋光的干涉测量系统 ns{BU->f  
 激光准直镜的测量 *t,J4c  
 基础Mirau干涉仪的仿真 ?4]#gCks  
Q&A oZY2K3J)  
第二天 -}h+hS50F  
1. 干涉系统的应用 
N0D
)d  
 光学系统部分相干性测试 w# t[sI"IT  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 7:Jyu/*]  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） h7EKb-@  
 全息曝光干涉 c]y"5;V8  
2. 多尺度系统建模仿真 YRkp(}*!\  
 衍射光栅干涉测量 #\Q{?F!4  
 阿贝成像理论 d]v4`nc  
 单色仪/光谱仪系统仿真 J5J$qCJq  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 !+E|{Zj  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 1>doa1  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 g' xR$6t  
 SPR表面等离子共振效应 Bhy:" r%#  
3. 摩尔纹系统 #b~wIOR)Z  
 摩尔纹检测系统 ^Ms)T3dM  
Q&A