F!c%&Z 时间地点 0Q]x[;!k 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
pFGdm3pV 苏州黉论教育咨询有限公司
ULjW589zb 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
\1aj!) 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
qNC.|R 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
e9k}n\t3 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
|~8iNcIS M\e%GJ0 课程简介 [<`xAh_, 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
4LUFG 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
+]`MdOu 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
p?0 a"5Q `"A\8)6- 课程大纲 "%qGcC8 第一天
[AE]0cO@ 1. 基本干涉原理
]c[80F- 干涉发生的条件
!<((@*zU 杨氏双缝特性
1wE~dpnx 2. 典型的干涉仪系统建模
uH65DI< 光学层析扫描在面型检测中的应用
+)L
'qbCSM 基于涡旋光的干涉测量系统
niqi DT/
激光准直镜的测量
WH/r$.& 基础Mirau干涉仪的仿真
@"'1"$ Q&A
-]W AB9 第二天
k2k/v[60 1. 干涉系统的应用
fo4j^,`
光学系统部分相干性测试
2[qO;js 法布里腔干涉仪分辨
光谱 5a5I+*
c 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
%CD}A%~ 全息曝光干涉
uDQ
d48> 2. 多尺度系统建模仿真
5s;HF |2x 衍射
光栅干涉测量
Co[ rhs 阿贝
成像理论
B=u@u([. 单色仪/光谱仪系统仿真
/NMd GKr 用于微结构晶圆检测的光学系统
}yx'U 3 不同轮廓亚
波长光栅的成像
Ko>pwhR} 结构光
照明显微镜与STED显微镜
JV(|7Sk SPR表面等离子共振效应
I$9t^82j 3. 摩尔纹系统
\96?OCdr 摩尔纹检测系统
6$9n_AS Q&A
GT|=Apnwr% 
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