[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 UW{C`^?=B  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 5 axt\  
苏州黉论教育咨询有限公司 n9V8A[QJ  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 cEK#5   
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 "71Y{WQ   
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 7s0pH+  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) }5}#QHF  
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课程简介 gj4ONm
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纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 J$S*QCo  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 _RWH$
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显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 {z@a{L:SC  
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课程大纲 %U9f`qE  
第一天 *~d<]U5h  
1. 基本干涉原理 %Ybr5$_  
 干涉发生的条件 27Vx<W  
 杨氏双缝特性 zG<>-?q~'  
2. 典型的干涉仪系统建模 m[hHaX  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 ,8stEp9~h]  
 基于涡旋光的干涉测量系统 S~^]ib0  
 激光准直镜的测量 $v=(`
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 基础Mirau干涉仪的仿真 '2SZ]   
Q&A _!%
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第二天 Q!h+1fb  
1. 干涉系统的应用 fH%C&xj'&  
 光学系统部分相干性测试 Lv *USN  
 法布里腔干涉仪分辨光谱
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 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） Z*.rv t  
 全息曝光干涉 R4S))EHg  
2. 多尺度系统建模仿真 h3Nbgxa.  
 衍射光栅干涉测量 YOtzja]~  
 阿贝成像理论 )ZpMB  
 单色仪/光谱仪系统仿真 s 4n<k]d  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 CH$*=3M  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 kE1k@h#/  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 |oR#j `  
 SPR表面等离子共振效应 Vr #o]v  
3. 摩尔纹系统 u\
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 摩尔纹检测系统 [!4V_yOb  
Q&A