[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 ';k5?^T  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 PxX4[ P  
苏州黉论教育咨询有限公司 2F;y;l%  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 q~Hn-5H4Q  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 4IK(7  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 [>3./YH`  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) E*&vy  
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课程简介 uo:J\E  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 `%bypHeSp  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 q_lKKzA  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 t|?ez4/{z  
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课程大纲 iO$8:mxm0?  
第一天 63iUi9P  
1. 基本干涉原理 -:^U_FL8un  
 干涉发生的条件 Sz $~P9  
 杨氏双缝特性 o)|flI'vT  
2. 典型的干涉仪系统建模 W-f=]eWg  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 f^ZRT@`O  
 基于涡旋光的干涉测量系统 ,]C;sN%~}  
 激光准直镜的测量 "s-"<&>a(  
 基础Mirau干涉仪的仿真 3d8L6GJ  
Q&A ;<Sd~M4f  
第二天 Ufj`euY  
1. 干涉系统的应用 hF?1y`20  
 光学系统部分相干性测试 KM0ru  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 jwe*(k]z  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） }v;V=%N+v  
 全息曝光干涉 "9uKtQS0o  
2. 多尺度系统建模仿真 B4/
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 衍射光栅干涉测量 Mexk~zA^  
 阿贝成像理论 bRDYGuC  
 单色仪/光谱仪系统仿真 T"Y+m-<%  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 ^#-l q)  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 LrfVh-}|:Y  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 dbLZc$vPj  
 SPR表面等离子共振效应 iXkF1r]i  
3. 摩尔纹系统 ;}WeTA_-[  
 摩尔纹检测系统 LP^$AAy  
Q&A