[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 Mf *qr9*  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 ]mc,FlhU@  
苏州黉论教育咨询有限公司 P$Dr6;  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 k4@GjO1"$  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 $qvNv[  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 ^\!^#rO  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) l
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课程简介 xP*RH-<  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 qUo(hbp  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 a-W&/  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 :+6m<?R)T  
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课程大纲 6hZhD1lDG^  
第一天 /; _"A)0  
1. 基本干涉原理 emHi=[!i  
 干涉发生的条件  A=,
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 杨氏双缝特性 ^O?$}sr  
2. 典型的干涉仪系统建模 Pk,^q8;  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 N&n{R8=^"  
 基于涡旋光的干涉测量系统 0QPipuP  
 激光准直镜的测量 _V;J7Vz  
 基础Mirau干涉仪的仿真 s"'1|^od  
Q&A eI[z%j[Y*  
第二天 i"b*U5k  
1. 干涉系统的应用 X2{3I\'Ft  
 光学系统部分相干性测试 [;2v[&
Po  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 \CL`j  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） CkP!4^J qQ  
 全息曝光干涉 cz0tnF*&  
2. 多尺度系统建模仿真 G6 GXC`^+  
 衍射光栅干涉测量 *8Lym,]  
 阿贝成像理论 cx02b-
O  
 单色仪/光谱仪系统仿真 ^cY5!W.q8  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 l})uYae/  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 FrVD
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 结构光照明显微镜与STED显微镜 :\>UZ9h #  
 SPR表面等离子共振效应 Ft]sTA+
C  
3. 摩尔纹系统 {S}/LSNB  
 摩尔纹检测系统 ]6nF>C-C  
Q&A